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詳細

高尾英邦 (タカオ　ヒデクニ)

    　　　　
    創造工学部　創造工学科　微細構造デバイス統合研究センター　創発科学研究科　創発科学専攻　
  • 教授
Last Updated :2025/04/24

研究者情報

学位

  • 博士（工学）（豊橋技術科学大学）
  • 修士（工学）（豊橋技術科学大学）
  • 学士（工学）（豊橋技術科学大学）

J-Global ID

研究キーワード

  • 集積回路   センサ   マイクロデバイス   Integrated Circuit   Sensor   Micro Device   

研究分野

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学
  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器
  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス
  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム
  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム
  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

経歴

  • 2018年 - 現在  香川大学創造工学部教授
  • 2014年 - 現在  香川大学 微細構造デバイス統合研究センターセンター長
  • 2014年 - 2018年03月  香川大学 工学部, 教授
  • 2013年 - 2014年  香川大学 工学部, 准教授Faculty of Engineering
  • 2009年 - 2014年  香川大学 微細構造デバイス統合研究センター, 副センター長Nano-Micro Structure Device Integrated Research Center
  • 2009年 - 2013年  香川大学 微細構造デバイス統合研究センター, 准教授Nano-Micro Structure Device Integrated Research Center
  • 2005年 - 2009年  豊橋技術科学大学 インテリジェントセンシングシステムリサーチセンター, 助教授，准教授Intelligent Sensing System Research Center
  • 2009年  豊橋技術科学大学 工学部 電気・電子工学系, 准教授Faculty of Engineering, Department of Electrical and Electronic Engineering
  • 1999年 - 2005年  豊橋技術科学大学 工学部 電気・電子工学系, 助手Faculty of Engineering, Department of Electrical and Electronic Engineering
  • 1998年 - 1999年  日本学術振興会, 特別研究員（PD）

学歴

  • 1995年04月 - 1998年03月   国立豊橋技術科学大学   工学研究科   電子・情報工学専攻
  • 1993年04月 - 1995年03月   国立豊橋技術科学大学   工学研究科   電気・電子工学専攻
  • 1991年04月 - 1993年03月   国立豊橋技術科学大学   工学部   電気・電子工学課程
  • 1986年04月 - 1991年03月   国立高松工業高等専門学校   電気工学科

所属学協会

  • 電気学会   日本機械学会   

研究活動情報

論文

  • Daiki Fukai; Taro Toyoda; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 144 7 164 - 169 2024年07月
  • Yusaku Maeda; Kei Tanimoto; Kenichi Sasayama; Hidekuni Takao
    IEEE Transactions on Haptics 16 4 504 - 510 2023年10月
  • Shuntaro Mori; Takumi Ito; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    IET Nanobiotechnology 2023年01月
  • Yusaku Maeda; Masato Sagara; Hidekuni Takao
    Proceedings of IEEE Sensors 2023年
  • Satoshi Hisayasu; Takaya Ohishi; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of IEEE Sensors 2023年
  • Yusaku Maeda; Masato Sagara; Hidekuni Takao
    SENSORS 1 - 4 2023年
  • Masahito Komatsubara; Gakuto Tanaka; Satoshi Hisayasu; Takaya Ohishi; Yusaku Maeda; Hirotoshi Oikaze; Yasunori Matsui; Hidekuni Takao
    SENSORS 1 - 4 2023年
  • Satoshi Hisayasu; Takaya Ohishi; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    SENSORS 1 - 4 2023年
  • Naoto Kusunoki; Shuhei Konagaya; Mitsunori Nishida; Shigehiro Sato; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Electronics and Communications in Japan 106 1 2023年
  • Kosei Yamada; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Electronics and Communications in Japan 105 3 2022年09月
  • 山田 康誠; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 142 7 160 - 165 一般社団法人 電気学会 2022年07月 [査読有り]
  • Koki Takahashi; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Microfluidics and Nanofluidics 26 2 2022年02月 [査読有り]
  • 内視鏡環境における構造色式完全無線センサ
    前田祐作; 宅和宏樹; 中川智明; 森宏仁; 高尾英邦
    Medical Science Digest 48 3 46 - 49 2022年02月 [査読有り]
  • Suresh Nuthalapatia; Vijay Shirhattia; Vaishakh Kedambaimoolea; Veera Pandi; Hidekuni Takao; M.M.Nayak; K. Rajanna
    Sensors and Actuators A: Physical 334 113314 - 113314 2022年02月 [査読有り]
  • Masahito Komatsubara; Tsubasa Nakashima; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Yasunori Matsui; Hidekuni Takao
    2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) 2022-January 699 - 702 2022年01月 [査読有り]
  • Yuji Yano; Hisashi Iwamoto; Takuma Yoshimura; Yoshihiro Nishida; Tatsuya Mori; Kiyotaka Komoku; Hidekuni Takao; Kazutami Arimoto
    2022 International Symposium on VLSI Design, Automation and Test(VLSI-DAT) 1 - 4 2022年
  • Masahiko Harada; Hidekuni Takao; Fusao Simokawa; Kyohei Terao
    Electronics and Communications in Japan 105 1 2022年 [査読有り]
  • Suresh Nuthalapati; Vaishakh Kedambaimoole; Vijay Shirhatti; Saurabh Kumar; Hidekuni Takao; M M Nayak; K Rajanna
    Nanotechnology 32 50 505506 - 505506 2021年10月 [査読有り]
  • 淺原 佳江; 高尾 英邦
    電気学会論文誌 E（センサ・マイクロマシン部門誌） 141 9 312 - 320 2021年09月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Kazuki Watatani; Kazutami Arimoto
    2021 IEEE Hot Chips 33 Symposium (HCS),Online 2021年08月 [査読有り]
  • Akihito Masuda; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Scientific reports 11 1 7961 - 7961 2021年04月 [査読有り]
  • Hayahide Oka; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2021-January 139 - 142 2021年01月 [査読有り]
  • Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2021-January 693 - 696 2021年01月 [査読有り]
  • IN VITRO THREE-DIMENSIONAL MODEL OF CAPILLARY MICROCONSTRICTION FOR IMAGING CANCER CELL DYNAMICS
    Yoshihiro Shiraga; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    MicroTAS 2021 - 25th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 625 - 626 2021年
  • TWO-DIMENTIONAL MICROAPERTURE ARRAY FOR ON-DEMAND FORMATION OF HETEROGENEOUS GEL FIBERS
    Koki Takahashi; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    MicroTAS 2021 - 25th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 1245 - 1246 2021年
  • Fumiya Ino; Wataru Kameda; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2021-October 2021年 [査読有り]
  • Masahiko Harada; Hidekuni Takao; Fusao Simokawa; Kyohei Terao
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 141 6 173 - 178 2021年 [査読有り]
  • Fumiya Ino; Kazuma Ishida; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2020-October 2020年10月 [査読有り]
  • Capture and elongation of single chromosomal DNA molecules using optically-driven microchopsticks
    Ryo Inukai; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Biomicrofluidics Vol.14, No.4 044114  2020年08月 [査読有り]
  • (Invited) Post-CMOS Compatible Silicon MEMS Nano-Tactile Sensor for Touch Feeling Discrimination of Materials
    Hidekuni Takao
    The Electrochemical Society Transactions Vol.97, No.5 pp.79-80  2020年04月 [査読有り][招待有り]
  • A MEMS Tactile Sensor with Fingerprint-Like Array of Contactors for High Resolution Visualization of Surface Distribution of Tactile Information
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Journal of Robotics and Mechatronics Vol.32, No. 2 2 pp.305-314 - 314 2020年04月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    The 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2020), Vancouver, Canada 2020-January pp.689-692 - 692 2020年01月 [査読有り]
  • Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Kazutami Arimoto; Hidekuni Takao
    The 33rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2020), Vancouver, Canada 2020-January pp.984-987 - 987 2020年01月 [査読有り]
  • Kanako Ando; Takashi Yamamoto; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Masao Fujiwara; Hidekuni Takao
    International Electron Devices Meeting(IEDM) 2019, San Francisco, USA 2019-December pp.IEDM19-422-IEDM19-425  2019年12月 [査読有り]
  • Time Series Classification Using Information of Multiple Dimensions
    Tomoya Takata; Yoko Uwate; Hidekuni Takao; Yoshifumi Nishio
    Nonlinear Maps and their applications 2019 (NOMA 2019), Palma, Spain pp.38-39  2019年10月 [査読有り]
  • Stainless Microfluidic Probe with 2D-Array Microappertures
    Shogo Kamiya; Koki Takahashi; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei; Terao
    The 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS2019, Basel, Swizerland pp.1088-1089 - 1089 2019年10月 [査読有り]
  • Highly sensitive, scalable reduced graphene oxide with palladium nano-composite as strain sensor
    Suresh Nuthalapati; Vijay Shirhatti; Vaishakh Kedambaimoole; Nagarjuna Neella; M M Nayak; K Rajanna; Hidekuni Takao
    Nanotechnology Vol.31, No.3 035501  2019年10月 [査読有り]
  • Hiroki Shikata; Kazuma Ishida; Akihito Ono; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2019, Montreal, Canada 2019-October 2019年10月 [査読有り]
  • Kazuma Ishida; Hiroki Shikata; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2019, Montreal, Canada 2019-October 2019年10月 [査読有り]
  • Yuki Sakakihara; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of IEEE Sensors 2019, Montreal, Canada 2019-October PAPER ID 1686  2019年10月 [査読有り]
  • Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Japanese Journal of Applied Physics 58 9 pp.097002-1-097002-9  2019年08月 [査読有り]
  • A highly sensitive MEMS silicon-hair device reproducing the function of hair follicle
    Kohki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Electronics Communication in Japan pp.50-56  2019年08月 [査読有り]
  • 濱本 晃輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    電気学会論文誌E 139 7 pp.180-185  2019年07月 [査読有り]
  • Kohki Hamamoto; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, Berlin, Germany pp.1874-1877 - 1877 2019年06月 [査読有り]
  • Tsubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, Berlin, Germany pp.1807-1810 - 1810 2019年06月 [査読有り]
  • Kohki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Seoul, South Korea 2019-January pp.198-201 - 201 2019年01月 [査読有り]
  • Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Seoul, South Korea 2019-January pp.182-185 - 185 2019年01月 [査読有り]
  • Spatial dissection of biosamples using Si blade array device
    Taro Shiomi; Mamoru Hirafuji; Hiroki Ishiduka; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences(MicroTAS) 2018, Kaohsiung, Taiwan 3 pp.1335-1338 - 1338 2018年11月 [査読有り]
  • Kiyotaka Komoku; Takuya Emi; Tomoyuki Yokogawa; Hitoshi Yamauchi; Yoichiro Sato; Kazutami Arimoto; Hidekuni Takao
    ICIIBMS 2017 - 2nd International Conference on Intelligent Informatics and Biomedical Sciences 2018- 163 - 164 2018年11月 [査読有り]
  • Microscale sap dynamic sensor using heat pulse method
    Naoki Hara; Yuki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018), Sapporo, Japan 16P-11-85  2018年11月 [査読有り]
  • Microscale xylem sap flow sensor facilitating the simultaneous measurement of flow velocity and direction
    Yuki Hara; Naoki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the EUROSENSORS 2018 conference (EUROSENSORS 2018), Graz, Austria 141 - ID7169 2018年09月 [査読有り]
  • Wang-Hoon Lee; Young-Tae Lee; Jong-Wan Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    2007 70th ARFTG Microwave Measurement Conference: High Power RF Measurement Techniques, ARFTG 2007 1 - 4 2018年06月
  • Measurement of Touch Feeling on Hair Surface Using High Resolution Two-Axis MEMS Tactile Sensor
    Kota Nakamitsu; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018), Hong Kong, 2 pages  2018年06月 [査読有り]
  • Extraction of “Real Friction Coefficient” Depending on Micro Surface Roughness Using High Resolution MEMS Tactile Sensor
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018), Hong Kong, 2pages  2018年06月 [査読有り]
  • Yuya Yano; Akihito Ono; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Japanese Journal of Applied Physics Vol.57, No.6 6 067001 - 067001 2018年06月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Hirohito Mori; Tomoaki Nakagawa; Hidekuni Takao
    Japanese Journal of Applied Physics 57 4 pp.04FC05-1-04FC05-5  2018年04月 [査読有り]
  • Fabrication of Xylem Sap Flow Sensor Microneedles for Extending its Applications
    T. Takahashi; Y. Hara; A. Ono; H. Ishizuka; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa
    Proceedings of the 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2018) PS2 - 235 2018年04月 [査読有り]
  • Akihito Ono; Akihito Yoneda; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Naoshi Takahashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    IEEE Sensors Journal 18 4 1739 - 1746 2018年02月 [査読有り]
  • Tsubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018) 2018-January 870 - 873 2018年01月 [査読有り]
  • 超低侵襲実装を志向する「細胞化センサ」デバイス
    高尾英邦; 森宏仁; 前田祐作; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 前田光平; 香西亮吾
    電子情報通信学会論文誌 C Vol. J101-C No. 1 9 - 17 2018年01月 [査読有り]
  • 電気刺激と静電刺激を用いた触覚ディスプレイの製作
    廣津 卓磨; 加藤 邦拓; 下川 房男; 高尾 英邦; 寺尾 京平; 梶本 裕之; 石塚 裕己
    第18回計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会(CD-ROM) 18th 317 - 320 2017年12月
  • Evaluation of Multi-Electrode Effects on Electrovibration Tactile Stimulation
    Hiroki Ishizuka; Katsuyori Suzuki; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Hiroyuki Kajimoto
    Transactions of The Japan Institute of Electronics Packaging 10 E17-004-1  2017年12月 [査読有り]
  • Laser-Manipulated Microtool with Enzyme-Functionalized Surface for On Site Molecular Processing
    Akihito Masuda; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Proceedings of 21th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2017) 433 - 434 2017年11月 [査読有り]
  • Ryousuke Izumi; Akitito Ono; Hiroki Ishizuka; K. Terao; Hidekuni Takao; Tsujoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the 30th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2017) 2017-December 1 - 3 2017年10月 [査読有り]
  • The Fully Wireless Pressure Sensor Based on Endoscopic Image
    Yusaku Maeda; Hirohito Mori; Tomoaki Nakagawa; Hidekuni Takao
    Proc. of 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017) 371 - 372 2017年09月 [査読有り]
  • H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; H. Kajimoto
    2017 IEEE World Haptics Conference, WHC 2017 659 - 664 2017年07月 [査読有り]
  • H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa
    2017 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2017 484 - 486 2017年06月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Satoshi Takemasa; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa
    TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 1364 - 1367 2017年06月 [査読有り]
  • Highly Pure Phloem-Sap-Extraction Sensor Device for Direct Component Analysis of Nutrition in Plant Shoots
    Akitito Ono; Ryousuke Izumi; Hiroki Ishizuka; K. Terao; Hidekuni Takao; Tsujoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; F. Shimokawa
    Digest of Technical Papers of The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (IEEE Transducers 2017) pp1604 - 1607 2017年06月 [査読有り]
  • 田尾祐一; 福田健太; 高尾英邦; 下川房男; 寺尾京平
    電気学会論文誌（E） 137 5 128 - 133 2017年05月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kohei Maeda; Hideki Kobara; Hirohito Mori; Hidekuni Takao
    Japanese Journal of Applied Physics 56 4S 04CF09-1-6  Institute of Physics 2017年03月 [査読有り]
  • 綿谷一輝; 香西亮吾; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    Proceedings of 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2017) 223 - 226 2017年01月 [査読有り]
  • Ryo Inukai; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    Proceedings of 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2017) 585 - 588 2017年01月 [査読有り]
  • D. Kagawa; M. Kusumoto; Y. Takemura; H. Takao; F. Shimokawa; K. Terao
    Proceedings of 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2017) 577 - 580 2017年01月 [査読有り]
  • Microscale phloem sap dynamics measurement sensor device for monitoring the transport of nutritive substances in plants
    Akihito Ono; Yuya Yano; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Riji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the 29th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2016) 2016年11月 [査読有り]
  • Akihito Ono; Akihito Yoneda; Yuichi Tao; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Ryuji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    2016 IEEE SENSORS 4pages  2016年10月 [査読有り]
  • Kiyotaka Komoku; Kazutami Arimoto; Tomoyuki Yokogawa; Hitoshi Yamauchi; Yoichiro Sato; Hidekuni Takao
    13th International SoC Design Conference (ISOCC 2016) 202 - 203 2016年10月 [査読有り]
  • Kazuki Watatani; Ryogo Kozai; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the 29th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2016) 616 - 618 2016年10月 [査読有り]
  • Atsuya Iima; Yusaku Oka; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the 29th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2016) 1168 - 1170 2016年10月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kohei Maeda; Hideki Kobara; Hirohito Mori; Hidekuni Takao
    IEEE Sensors2016 1114 - 1116 2016年10月 [査読有り]
  • Fabrication and Packaging of an Integrated Pressure and Temperature Sensor with High Immunity Against External Disturbance Under Flexible Endoscopic Operation
    Yusaku Maeda; Kohei Maeda; Hideki Kobara; Hirohito Mori; Hidekuni Takao
    Proc. of 2016 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016) 391 - 392 2016年09月 [査読有り]
  • Ueno Hidetaka; Komai Shoji; Terao Kyohei; Takao Hidekuni; Shimokawa Fusao; Kotera Hidetoshi; Suzuki Takaaki
    MECHANICAL ENGINEERING JOURNAL 3 4 15-00570 - 15-00570 2016年08月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao
    IMFEDK 2016 - 2016 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2016年07月 [査読有り]
  • Junya Suzuki; Yoshiyuki Onishi; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hayato Miyagawa; Takahiro Namazu; Takaaki Suzuki
    Japanese Journal of Applied Physics 55 6S1 06GP01 - 06GP01 2016年06月 [査読有り]
  • Embedded Sensor Packaging on Endoscopy Hood for Real Time Monitoring During Natural Orfice Translumenal Endoscopic Surgery
    中川智明; 前田祐作; 前田光平; 綿谷一輝; 小原英幹; 森宏仁; 高尾英邦
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 259 - 260 2016年06月 [査読有り]
  • Measurement of Surface Texture on Cloth Samples Using a Highly Sensitive Two-Axis Tactile Sensor
    綿谷一輝; 香西亮吾; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 61 - 62 2016年06月 [査読有り]
  • Kyohei Terao; Chihiro Masuda; Ryo Inukai; Murat Gel; Hidehiro Oana; Masao Washizu; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    IET Nanobiotechnology 10 3 124 - 128 2016年06月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55 4S 04EF11-1 - 04EF11-6 2016年03月 [査読有り]
  • 古谷 尚輝; 島上 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 秋光 和也; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016 E-2-3  一般社団法人 日本機械学会 2016年
  • Takaaki Suzuki; Junya Suzuki; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hayato Miyagawa
    International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics 52 3-4 1585 - 1590 2016年01月 [査読有り]
  • 越智誠; 矢野裕也; 寺尾京平; 鈴木孝明; 高尾英邦; 小林剛; 片岡郁雄; 下川房男
    日本生態学会 66 2 465 - 475 2016年 [査読有り]
  • Y. Yamamoto; R. Shinozaki; I. Asahi; H. Ninomiya; F. Shimokawa; H. Takao
    Proceedings of the 28th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2015) 1988 - 1991 2015年11月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kohei Maeda; Hideki Kobara; Hirohito Mori; Hidekuni Takao
    Proceedings of the 28th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2015) 779 - 782 2015年11月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the 28th IEEE Sensors Conference (IEEE Sensors 2015) 267 - 270 2015年11月 [査読有り]
  • 鈴木 淳也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明
    日本AEM学会誌 23 2 407 - 413 The Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics 2015年09月
  • Design and Characteristics of a MEMS Human Body Hardness Sensor Aimed to Diagnosis of Lesion Size
    Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2015) 164 - 165 2015年09月 [査読有り]
  • Y. Yamamoto; R. Shinozaki; Y. Oka; I. Asahi; H. Ninomiya; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Takao
    Digest of Tech. Papers of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) 208 - 211 2015年06月 [査読有り]
  • Takuya Ihara; Hidetaka Yamasaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Digest of Tech. Papers of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) 1838 - 1841 2015年06月 [査読有り]
  • Ryogo Kozai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Digest of Tech. Papers of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015) 1191 - 1194 2015年06月 [査読有り]
  • Kyohei Terao; Shin-ichi Hiramatsu; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    ANALYTICAL METHODS 7 16 6483 - 6488 2015年 [査読有り]
  • Hirohito Mori; Hidekuni Takao; Hideki Kobara; Noriko Nishiyama; Shintaro Fujihara; Tae Matsunaga; Maki Ayaki; Tsutomu Masaki
    Surgical Endoscopy -And Other Interventional Techniques 29 1 212 - 219 2015年01月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2015) 253 - 256 2015年01月 [査読有り]
  • Ryogo Kozai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2015) 245 - 248 2015年01月 [査読有り]
  • 植田 勇作; 中原 佐; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明
    日本AEM学会誌 22 2 202 - 207 The Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics 2014年10月
  • Silicon Integrated Tactile Sensor Arrays Based On Cmos Compatible Mems Fabrication Technology
    高尾英邦
    Proceedings of Seventh ISSS International Conference on Smart Materials Structures and Systems ISSS 2014 Invited4A (7pages in USB)  2014年07月 [査読有り]
  • Microscale Phloem Flow Sensor Fabricated Using MEMS Technology For Measuring Biological Information of Plant Branches
    矢野裕也; 越智誠; 寺尾京平; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄
    NANOSciTech2014 & IC-NET2014 2014年03月 [査読有り]
  • Xiuchun Hao; Sinya Tanaka; Atsuhiko Masuda; Jun Nakamura; Koichi Sudoh; Kazusuke Maenaka; Hidekuni Takao; Kohei Higuchi
    IEEE SENSORS JOURNAL 14 3 808 - 815 2014年03月 [査読有り]
  • Patternable Atmospheric-Pressure Plasma Jet Array Generated by an Integrated Microfluidic Device
    高尾英邦
    6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014) 2pages in CD-ROM  2014年03月 [査読有り]
  • Dual-axis hybrid-MEMS mirror having Si and polymer hinges for large-area 2D raster scan
    Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics(OMN) 167 - 168 2014年 [査読有り]
  • Xiuchun Hao; Kazusuke Maenaka; Hidekuni Takao; Kohei Higuchi
    SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 205 92 - 102 2014年01月 [査読有り]
  • Yusaku Oka; Ryosuke Shinozaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    Proceedings of 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2014) 433 - 436 2014年01月 [査読有り]
  • Integrated Silicon MEMS Technology and Novel Functional Sensor Devices
    高尾英邦
    Proceedings of 26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013) pp. 8B-8-1 (2pages)  2013年11月 [査読有り]
  • 朝日一平; 杉本幸代; 二宮英樹; 下川房男; 高尾英邦; 大平文和
    電気学会論文誌(E) 133 9 260 - 266 2013年09月 [査読有り]
  • Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    Proceedings of IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference (OMN2013) 69 - 70 2013年08月 [査読有り]
  • Junya Suzuki; Takuya Miura; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Takahiro Namazu; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 101 - 102 2013年08月 [査読有り]
  • Micro Sap Flow Sensor Using MEMS Technology for Application to Biological Information Measurement of Plants
    越智誠; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄
    Third International Conference on Plant Vascular Biology 2013年07月 [査読有り]
  • マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ［1］ -超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作-
    伊藤将寛; 武田知也; 鈴木孝明; 高尾英邦; 大平文和; 下川房男
    電気学会論文誌(E) 133 6 237 - 242 2013年06月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Japanese Journal of Applied Physics 52 6S pp. 06GL18-06GL18-5  2013年06月 [査読有り]
  • 鈴木孝明; 寺尾京平; 鈴木博之; 新田祐幹; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 平丸大介; 小寺秀俊
    電気学会論文誌（E） 133 5 139 - 146 一般社団法人 電気学会 2013年05月 [査読有り]
  • 赤松幹夫; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 鈴木孝明
    電気学会論文誌（E） 133 5 170 - 176 一般社団法人 電気学会 2013年05月 [査読有り]
  • Takao Hidekuni; Maenaka Kazusuke; Higuchi Kohei; Nizhnik Oleg; Vinluan Olinver; Maksudi Ucu; Bartley Travis
    生体医工学 51 M - 157-M-157 Japanese Society for Medical and Biological Engineering 2013年 [査読有り]
  • Nii Manabu; Tanaka Tomoya; Matsumoto Yuki; Bartley Travis; Maksudi Ucu; Nizhnik Oleg; Sonoda Koji; Hidekuni Takao; Maenaka Kazusuke; Kohei Higuchi
    生体医工学 51 M - 159-M-159 Japanese Society for Medical and Biological Engineering 2013年 [査読有り]
  • Masahiro Ito; Tomoya Takeda; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira; Fusao Shimokawa; Yasuyuki Tsutsui; Hiroki Hayashi; Takashi Konno; Ippei Asahi; Sachiyo Sugimoto; Hideki Ninomiya
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 133 6 9 - 242 2013年 [査読有り]
  • Takaaki Suzuki; Kyohei Terao; Hiroyuki Suzuki; Yuki Nitta; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Daisuke Hiramaru; Hidetoshi Kotera
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 133 5 3 - 146 2013年 [査読有り]
  • Mikio Akamatsu; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Simokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 133 5 7 - 176 2013年 [査読有り]
  • Hidetaka Yamasaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 205 - 208 2013年01月 [査読有り]
  • Xiuchun Hao; Atsuhiko Masuda; Kohei Higuchi; Hidekuni Takao; Sinya Tanaka; Kazusuke. Maenaka; Jun Nakamura; K. Sudoh
    Proceedings of IEEE Sensors 1 - 4 2012年12月
  • Noriko Nagase; Kyohei Terao; Nobumitsu Miyanishi; Kazunori Tamai; Noboru Uchiyama; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    Analyst 137 21 5034 - 5040 2012年11月 [査読有り]
  • Large Area 3D Microfabrication Technique by Multidirectional Photolithography for A Chromosome Extension Chip
    Yuki Nitta; Hiroyuki Suzuki; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    Proceedings of The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012) 1822 - 1824 2012年11月 [査読有り]
  • DNA Fiber Preparation Technique on a Chip for Clinical Diagnosis
    Takaaki Suzuki; Kyohei Terao; Hiroyuki Suzuki; Yuki Nitta; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Daisuke Hiramaru; Hidetoshi Kotera
    Proceedings of The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012) 272 - 274 2012年11月 [査読有り]
  • Development of a Universal Integrated Micro Cell Culture System
    Masatoshi Inoue; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki; Atsuhito Okonogi; Hidetoshi Kotera
    The 6th International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering (IEEE NANOMED2012) 70 - 73 2012年11月 [査読有り]
  • Fast whole blood testing for detecting biomarkers by size-exclusion SPR sensing
    Kyohei Terao; Shinichi Hiramatsu; Kazunori Shimizu; Nobumitsu Miyanishi; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012 186 - 188 2012年10月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012) 40 - 43 2012年10月 [査読有り]
  • A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device
    Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012) 2012年10月 [査読有り]
  • Optically-Driven Microstructures for Manipulating Single DNA Molecule under Fluorescence Microscop
    Chihiro Masuda; Kyohei Terao; Hidehiro Oana; Masao Washizu; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    Proceedings of 38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012) P409-355(2pages in CD-ROM)  2012年09月 [査読有り]
  • Wanghoon Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology 2 9 1501 - 1509 2012年09月 [査読有り]
  • M. Inoue; A. Okonogi; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Kotera; T. Suzuki
    MICRO & NANO LETTERS 7 8 725 - 728 2012年08月 [査読有り]
  • Ryosuke Shinozaki; Fumikazu Oohira; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of 2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 107 - 108 2012年08月 [査読有り]
  • Kentaro Oda; Hidekuni Takao; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Ichirou Ishimaru; Fumikazu Oohira
    Sensors and Actuators, A: Physical 181 61 - 69 2012年07月 [査読有り]
  • Evaluation of Highly Sensitive C/V Converter with an Inverter for CMOS/MEMS Integration
    Hidekuni Takao; Ryo Kodama; Hajime Miyao; Makoto Ishida
    Proceedings of World Automation Congress 2012 (WAC2012) 1 - 4 2012年06月 [査読有り]
  • Xiuchun Hao; Yonggang Jiang; Hidekuni Takao; Kazusuke Maenaka; Kohei Higuchi
    SENSORS 12 6 8026 - 8038 2012年06月 [査読有り]
  • Kyohei Terao; Kazunori Shimizu; Nobumitsu Miyanishi; Seiko Shimamoto; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira
    Analyst 137 9 2192 - 2198 2012年05月 [査読有り]
  • Masatoshi Inoue; Atsuhito Okonogi; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS2012) 7 8 W4A-3 - 725 2012年03月 [査読有り]
  • A Magnetic-Driven Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite without Alignment Process
    T. Nakahara; Y. Hosokawa; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Miyagawa; T. Namazu; H. Kotera; T. Suzuki
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [IEEE NEMS2012] W1B-4  2012年03月 [査読有り]
  • Improvement of Coating Uniformity for Thick Photoresist Using a Partial Spray Coat
    Mikio Akamatsu; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [IEEE NEMS2012] W3P-33  2012年03月 [査読有り]
  • Self-Aligned Fabrication Process for Active Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite
    Tasuku Nakahara; Yuuki Hosokawa; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takahiro Namazu; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki
    Proceedings of 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012) 1181 - 1184 2012年02月 [査読有り]
  • Masataka Arai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    Proceedings of 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012) 148 - 151 2012年02月 [査読有り]
  • Hiroyuki Hamada; Kensuke Kanda; Hidekuni Takao; Takayuki Fujita; Kohei Higuchi; Kazusuke Maenaka
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 132 9 318 - 319 2012年01月
  • Kyohei Terao; Chihiro Kakita; Noriko Nagase; Nobumitsu Miyanishi; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira
    Analytical Sciences 28 3 291 - 294 2012年 [査読有り]
  • Improvement of Processing Reproducibility for a Magnetic-Driven Microstructure Made of Photosensitive Nanocomposite
    Tasuku Nakahara; Junya Suzuki; Yuki Hosokawa; Yusaku Ueda; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hayato Miyagawa; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki
    Proceedings of 2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 204 - 205 2012年 [査読有り]
  • 生体適合性を有するフレキシブルひずみセンサの開発
    濱田浩幸; 神田健介; 高尾英邦; 藤田孝之; 樋口行平; 前中一介
    電気学会論文誌E センサ・マイクロマシン部門誌 132 9 318-319  2012年 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Hiroki Okada; Makoto Ishida; Takaaki Suzuki; Fumikazu Oohira
    Proceedings of IEEE Sensors2011 Conference 663 - 666 2011年10月 [査読有り]
  • A Venturi-type Micro Mist Generator fabricated by MEMS Technology and its Application to Local Surface Cooling of Target Objects
    Masataka Arai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    Proceedings of 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2011) 2pages in CD-ROM, 25B-2-3  2011年10月 [査読有り]
  • In-pixel type small-scale integrated C-V converter with chopper stabilized CMOS inverter
    Ryo Kodama; Hajime Miyao; Makoto Ishida; Hidekuni Takao
    Proceedings of 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011) 1039 - 1040 2011年09月 [査読有り]
  • Fabrication and evaluation of polymer MEMS mirror based on the mechanical characteristic of polymer containing magnetic particles
    Takuya Miura; Takaaki Suzuki; Kyouhei Terao; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira; Yoshinori Kaibara; Takahiro Namazu
    Proceedings of 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (optical-MEMS2011) 2pages in CD-ROM, PO8-10011780  2011年08月 [査読有り]
  • Design and Fabrication of polymer MEMS mirror based on the mechanical characteristic evaluation of polyimide materials
    Osamu Sasaki; Kyouhei Terao; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira; Yoshinori Kaibara; Takahiro Namazu
    Proceedings of 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (optical-MEMS2011) 2pages in CD-ROM, P012-10016921  2011年08月 [査読有り]
  • Xiuchun Hao; Yonggang Jiang; Hidekuni Takao; Kazusuke Maenaka; Takayuki Fujita; Kohei Higuchi
    Digest of Technical papers of the 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (IEEE Transducers’ 11) 116 - 119 2011年06月 [査読有り]
  • 皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャー
    高尾英邦
    電子情報通信学会誌 94 06 470-474 - 474 一般社団法人電子情報通信学会 2011年06月 [査読有り]
  • Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite
    Yuki Hosokawa; Tasuku Nakahara; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    Proceedings of the 6th International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology [MMB2011] 74 - 75 2011年05月 [査読有り]
  • Crystalline Anisotropic Dry Etching for Single Crystal Silicon
    Toshiyuki Mishima; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    Proceedings of The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011) 221 - 224 2011年01月 [査読有り]
  • Micro Fluidic Circuit Design with “SPICE Simulation
    高尾英邦; M. Sugiura; 石田誠; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 大平文和
    The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011) 1154 - 1157 2011年01月 [査読有り]
  • Wang-Hoon Lee; Bon-Ju Gu; Yoshio Nishida; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Microelectronics Journal 41 12 815 - 819 2010年12月 [査読有り]
  • Kentaro Oda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Ichiro Ishimaru; Fumikazu Oohira
    Proceedings of 2010 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 5 - 6 2010年08月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Takehiko Ichikawa; Tooru Nakata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Journal of Microelectromechanical Systems 19 4 919 - 926 2010年08月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A-Physical 160 1-2 69 - 77 2010年05月 [査読有り]
  • A Membrane Tyep Si-MEMS Tactile Imager with Fingerprint Structure for Realization of Slip Sensing Capability
    Hiroki Okada; Masaki Yawata; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao
    Proceedings of The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2010) 608 - 611 2010年01月 [査読有り]
  • Osamu Sasaki; Takaaki Suzuki; Kyouhei Terao; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira
    Proceedings of 2010 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 29 - 30 2010年 [査読有り]
  • A High-Throughput FISH Microchip for Clinical Genetics
    Hiroyuki Suzuki; Daisuke Hiramaru; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fumikazu Oohira; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki
    Proceedings of The 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences[MicroTAS2010] 702 - 704 2010年 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Hiroyuki Okada; Makoto Ishida; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fumikazu Oohira
    IEEE Sensors 2010 Conference 2079 - 2082 2010年 [査読有り]
  • Tomoyuki Yamazaki; Takaaki Ikeda; Yoshiko Kano; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Japanese Journal of Applied Physics 49 4 04DL11  2010年 [査読有り]
  • Fabrication of Smart Electrochemical Sensor with CMOS Integrated Circuits
    Tomoyuki Yamazaki; Takaaki Ikeda; Yoshiko Kano; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2009) P-11-11  2009年10月
  • Toshihiko Noda; Young Shik Shin; Nozomu Hirokubo; Kazuhiro Miyamura; Koichi Matsumoto; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 129 8 229 - 233 2009年08月 [査読有り]
  • 電気伝導度センサと温度センサを含んだマルチモーダルセンサの製作
    二川雅登; 岩崎太一; 石田三佳; 釜戸敬太; 高尾英邦; 石田誠; 澤田和明
    電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料 BMS-09 8-24 17 - 20 2009年07月
  • Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida; Hiroki Okada
    Digest of Technical papers of the 15th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers’09) 2186 - 2189 2009年06月 [査読有り]
  • Shoko Takenaga; Seung-Ro Lee; M. M. Rahman; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Digest of Technical papers of the 15th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers’09) 975 - 978 2009年06月 [査読有り]
  • Kazuya Atsumi; Yoshitomo Masaki; Toshihiro Noda; Toshiaki Hattori; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Digest of Technical papers of the 15th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers’09) 916 - 919 2009年06月 [査読有り]
  • Masato Futagawa; Taichi Iwasaki; Toshihiko Noda; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Japanese Journal of Applied Physics 48 4 04C184  2009年04月 [査読有り]
  • High-Performance and Multifunctional Tactile Image Sensors Realized by Silicon CMOS/MEMS Technology
    Hidekuni Takao
    Proceedings of International Conference on MEMS 2009 (ICMEMS2009) 6pages in CD-ROM  2009年01月 [査読有り][招待有り]
  • Non-Linear Fluidic Integrated Circuits Realized by Pneumatic-Field Effect Transistors with Controllable Output Resistance
    Hidekuni Takao; N. Tanaka; Masakatu Sugiura; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2009) 503 - 506 2009年01月 [査読有り]
  • Fabrication of a Multi-Modal Sensor with PH, EC and Temperature Sensing Areas for Agriculture Application
    Masato Futagawa; Taichi Iwasaki; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    2009 IEEE SENSORS, VOLS 1-3 2013 - 2016 2009年 [査読有り]
  • Seung-Ro Lee; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Biosensors and Bioelectronics 24 4 650 - 656 2008年12月 [査読有り]
  • Seung-Ro Lee; Young-Tae Lee; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Biosensors and Bioelectronics 24 3 410 - 414 2008年11月 [査読有り]
  • Multipurpose microchip system for photometric chemical analysis integrated with temperature controlled solution mixer
    Toshihiro Noda; Nozomu Hirokubo; Young Shik Shin; Kazuhiro Miyamura; Koichi Matsumoto; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2008) 1057 - 1059 2008年10月 [査読有り]
  • Minoru Sudou; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A-Physical 145 343 - 348 2008年07月 [査読有り]
  • Fabrication of Al/Si Schottky Diode in Standard CMOS Process for Microwave Detectors Used in Integrated Wireless Sensor Network
    Radhakrishna Vatedka; HidekuniTakao; Kazuaki.sawada; MakotoIshida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • Improvement in Filter-Less Fluorescence Sensor Capability by Optimization of Potential Distribution
    H. Ishii; Yuki Maruyama; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • 32×32 CMOS DNA Sensor Array Using Charge Transfer Technique
    Yuki Maruyama; S. Terao; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • “Source-Follower Amplicier Array with Vapor-Liquid-Solid Grown Silicon Microprobe Electrodes on Silicon (111) Substrate
    Kotaro Mayumi; Kuniharu Takei; Takahiro Kawashima; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Ka zuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • “Nano-Vacuum Device in Local Micro-Vacuum Package for Vacuum-CMOS Fused LSI
    Y. Nishijo; M. Hatakeyama; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • Smart Microfluidic Devices with Micro Bridge Heater Fabricated by CMOS Compatible Process
    A. Kono; Y. Miyake; Y. Maruyama; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2008) 4pages in CD-ROM  2008年06月 [査読有り]
  • Evaluation of Antenna-Integrated 315MHz Transmitter for Smart Microsensors
    Jong-Wan Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of International Networked Sensing Systems 2008 (INSS2008) 74 - 79 2008年06月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Radhakrishna Vatedka; Yoshiaki Ito; Fumihito Komakine; Kolelas Serge; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 3 3 274 - 280 2008年05月 [査読有り]
  • Kuniharu Takei; Takahiro Kawashima; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Journal of Micromechanics and Microengineering 18 3 035033  2008年03月 [査読有り]
  • High performance acetylcholine biosensor using charge transfer technique
    Seung-Ro Lee; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Hee Don Seo
    12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences - The Proceedings of MicroTAS 2008 Conference 459 - 461 2008年
  • Multimodal pH and light imaging devices for dynamic chemical reaction observation
    J. Matsuo; K. Sawada; H. Takao; M. Ishida
    12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences - The Proceedings of MicroTAS 2008 Conference 326 - 328 2008年
  • Wang Hoon Lee; Jong-Wa Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; MakotO Ishida
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 128 1 7 - 11 2008年01月 [査読有り]
  • Silicon MEMS Tactile Imager Using Flexible Deformation of Integrated Pixel Array
    Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Ryo Kodama; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of World Automation Congress 2008 (WAC2008) 131 - 136 2008年 [査読有り]
  • Silicon smart microchips for intelligent sensing
    M. Ishida; T. Kawano; H. Takao; K. Sawada
    Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology (Symposium on VLSI Technology) 5 - 8 2008年 [査読有り]
  • Post-CMOS integration technology of thick-film SOI MEMS devices using micro bridge interconnections
    Hidekuni Takao; Takehiko Ichikawa; Tooru Nakata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2008 ) 359 - 362 2008年01月 [査読有り]
  • Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics 47 1 173 - 178 2008年01月 [査読有り]
  • Wang Hoon Lee; Young Tae Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishidai
    Japanese Journal of Applied Physics Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers 46 11 7232 - 7236 2007年11月 [査読有り]
  • Radhakrishna Vatedka; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A: Physical 140 1 89 - 93 2007年10月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Ryo Kodama; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of the Custom Integrated Circuits Conference 131 - 134 2007年09月 [査読有り]
  • Minoru Sudou; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies 30 3 457 - 463 2007年09月 [査読有り]
  • Integrated inductors for RF transmitters in CMOS/MEMS smart microsensor systems
    Jong-Wan Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors 7 8 1387 - 1398 2007年08月 [査読有り]
  • A robust and sensitive silicon-MEMS tactile-imager with scratch resistant surface and over-range protection
    Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 1465 - 1468 2007年06月 [査読有り]
  • RF-powered silicon-MEMS microsensors for distributed and embedded sensing applications
    Hidekuni Takao; Syunsuke Kizuna; Kazuaki Sawada; Minoru Sudou; Makoto Ishida
    Proceedings of International Networked Sensing Systems 2007 (INSS2007) 35 - 42 2007年06月 [査読有り]
  • High performance blood glucose sensor using charge transfer technique
    Seung-Ro Lee; Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 855 - 858 2007年06月 [査読有り]
  • Si micro probe and SIO2 micro tube array integrated with NMOSFETS
    Kuniharu Takei; Takahiro Kawashima; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 1971 - 1974 2007年06月 [査読有り]
  • Charge transfer type pH sensor with super high sensitivity
    J. Matsuo; Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 1881 - 1884 2007年06月 [査読有り]
  • 32 x 32 pH image sensors for real time observation of biochemical phenomena
    Takeshi Hizawa; J. Matsuo; T. Ishida; Hidekuni Takao; H. Abe; Kazuaki Sawada; Makoto. Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 1311 - 1314 2007年06月 [査読有り]
  • Toshihiko Noda; Nozomu Hirokubo; Hidekuni Takao; Kazuhiro Miyamura; Narihiro Oku; Koichi Matsumoto; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 2143 - 2146 2007年06月 [査読有り]
  • On-chip multi wavelength detection sensor for real time monitoring of fluorescence and opacity
    Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 1971 - 1974 2007年06月 [査読有り]
  • Minoru Sudou; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 14th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’07) 907 - 910 2007年06月 [査読有り]
  • Kazuaki Sawada; Chigusa Oda; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers 46 5A 3135 - 3138 2007年05月 [査読有り]
  • 32 x 32 SOICMOS image sensor with pinned photodiode on handle wafer
    Yong-Soo Cho; H. Takao; K. Sawada; M. Ishida; Sie-Young Choi
    OPTICAL REVIEW 14 3 125 - 130 2007年05月 [査読有り]
  • Jong-Wan Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2 3 365 - 371 2007年05月 [査読有り]
  • High performance penicillin sensor using charge transfer technique
    Seung-Ro Lee; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of the 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, uTAS 2007 1255 - 1257 2007年
  • Low-noise operation of charge-transfer-type ph sensor using charge accumulation technique
    E. Watanabe; T. Hizawa; S. Mimura; T. Ishida; H. Takao; K. Sawada; M. Ishida
    Proceedings of the 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, uTAS 2007 479 - 481 2007年
  • Yong-Soo Cho; H. Takao; K. Sawada; M. Ishida; Sie-Young Choi
    Microelectronics Journal (Microelectron J) 38 1 102 - 107 2007年01月 [査読有り]
  • Pneumatic MEMS in-channel microvalves with in-plane control ports for micro fluidic systems integrated on a chip surface
    Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Materials 19 1 19 - 34 2007年01月 [査読有り]
  • Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers 45 12 9259 - 9263 2006年12月 [査読有り]
  • Toshihiko Noda; Hidekuni Takao; Kazunori Yoshioka; Narihiro Oku; Mitsuaki Ashiki; Kazuaki Sawada; Koichi Matsumoto; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators B: Chemical 119 1 245 - 250 2006年11月 [査読有り]
  • Silicon MEMS Sensors and Devices Harmonized with LSI Technology
    Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    International Workshop on Micro/Nano Science and Engineering for the 21st Century 49 - 52 2006年10月 [査読有り]
  • Evaluation of monolithically integrated antennas and RF transmitters for silicon smart micro sensors with wireless-communication ability
    Jong-Wan Kim; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 5th IEEE Conference on Sensors (IEEE Sensors 2006) 34 - 36 2006年10月 [査読有り]
  • Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators B: Chemical 117 2 509 - 515 2006年10月 [査読有り]
  • Low voltage SOICMOS image sensor with pinned photodiode on handle wafer
    Yong-Soo Cho; Sie Young Choi; H. Takao; K. Sawada; M. Ishida
    International Journal of Modern Physics B 20 25-27 4207 - 4212 2006年10月 [査読有り]
  • Piezoresistive gas flow sensors by deep RIE technology
    Young-Tae Lee; Kang-Ho Ahn; Yong-Taek Kwon; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    2006 5th IEEE Conference on Sensors, VOLS 1-3 1115 - 1118 2006年10月 [査読有り]
  • Sensing characteristics of charge transfer type pH sensor by accumulative operation
    Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of 2006 5th IEEE Conference on Sensors, VOLS 1-3 144 - 147 2006年10月 [査読有り]
  • Thermal characteristics in motion sensor for high temperature environments
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Hee Don Seo; Makoto Ishida
    2006 5th IEEE Conference on Sensors, VOLS 1-3 1191 - 1194 2006年10月 [査読有り]
  • A Self-Compensated Fully Differential SOI-CMOS Operational Amplifier for Wide Temperature Operation of Silicon Smart Sensors up to 275ºC
    Hidekuni Takao; Toshiaki Douzaka; K. Sakurano; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 146 & 4pages (CD-ROM)  2006年06月 [査読有り]
  • Effect of High Drain Bias on Stress Sensitivity in MOSFETs
    Radhakrishna Vatedka; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 145 & 4pages (CD-ROM)  2006年06月 [査読有り]
  • A Wide Dynamic Range Photogate type Image Sensor Based on Self Suppression Principle
    Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 153 & 4pages (CD-ROM)  2006年06月 [査読有り]
  • A Fabrication of P-N Junction Using Si-Micro-Probe Array by In-Situ Doping VLS Growth
    Md. Shofiqul Islam; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 132 & 4pages (CD-ROM)  2006年06月 [査読有り]
  • Micro SiO2 Tube Array on Si(111) Substrates for Intelligent Devices Using Vapor-Liquid-Solid Method and Selective Si Etching by XeF2 Gas
    Kuniharu Takei; Takahiro Kawashima; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 272 & 4pages (CD-ROM)  2006年06月 [査読有り]
  • H Takao; K Sawada; M Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2006) 53 5 1250 - 1259 2006年05月 [査読有り]
  • Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Electron Devices 53 3 553 - 558 2006年03月 [査読有り]
  • Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A: Physical 128 1 66 - 70 2006年03月 [査読有り]
  • Smart Micro Sensors with RF Transmitter for Intelligent Human Sensing System
    Jong-Wan Kim; Takehiko Ichikawa; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of the IEEE Sensors Applications Symposium (SAS) 78 - 81 2006年02月 [査読有り]
  • Two-dimensional silicon smart tactile image-sensor with single sensing diaphragm actuated by vibrating pressure for simultaneous detection of force and object hardness distributions
    Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2006) 602 - 605 2006年01月 [査読有り]
  • Y Kato; H Takao; K Sawada; M Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics 45 4 L108 - L110 2006年01月 [査読有り]
  • Fabrication of ultrasonic transducers using epitaxial Pb(Zr,Ti)O-3 thin films on epitaxial gamma-Al2O3/Si-substrates for smart sensors
    Daisuke Akai; Yasuhiro Oba; Nagaya Okada; Mikinori Ito; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Materials 18 3 161 - 169 2006年01月 [査読有り]
  • Novel filter less fluorescence detection sensor array for DNA micro chip
    Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of 8th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 297 491 - 493 2005年09月 [査読有り]
  • Ultimate 1/f noise reduction in JFET-based Operational Amplifiers for High-Performance CMOS Integrated Smart Microsensors
    Hidekuni Takao; Yusuke Edo; Yoshiaki Ito; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Conference Proceedings of The International Conference on Electrical Engineering 2005 (ICEE2005) DM1-10, ICEE-F0144  2005年07月 [査読有り]
  • Fabrication of Temperature Controlled Precise Three-Axis Accelerometer with Stabilized Temperature Characteristics over a Wide Temperature Range
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Hee Don Seo; Makoto Ishida
    Conference Proceedings of The International Conference on Electrical Engineering 2005 (ICEE2005) PS2-46, ICEE-F0411  2005年07月 [査読有り]
  • Radhakrishna Vatedka; Yoshiko Kato; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 1 871 - 874 2005年06月 [査読有り]
  • Smart microfuluidic electrochemical DNA sensors integrated signal processing circuits
    Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 279 - 282 2005年06月 [査読有り]
  • The fabrication of filter-less fluorescence detection sensor array using CMOS image sensor technique
    Yuki Maruyama; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 1026 - 1029 2005年06月 [査読有り]
  • Multifunctional smart tactile-image sensor with integrated arrays of strain and temperature sensors on single air-pressurized silicon diaphragm
    Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 45 - 48 2005年06月 [査読有り]
  • Neural recording with low-invasive Si microprobe array
    Takeshi Kawano; Akito Ishihara; Tetsuhiro Harimoto; Takahiro Kawashima; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Shiro Usui; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 1222 - 1225 2005年06月 [査読有り]
  • Wafer-level integration technology of surface mount devices using automatic parts alignment technology with vibration
    Minoru Sudou; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 1322 - 1325 2005年06月 [査読有り]
  • Fabrication of two-dimensional pH CMOS image sensors and real time imaging of chemical reaction
    Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 1138 - 1141 2005年06月 [査読有り]
  • Highly sensitive electron-emission-type infrared sensor using a single crystalline LiNbO3
    Daisuke Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 581 - 584 2005年06月 [査読有り]
  • Improvement of thermal response in temperature controlled precise three-axis accelerometer with stabilized characteristics over a wide temperature range
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Hee.Don.Seo; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 800 - 803 2005年06月 [査読有り]
  • Toshihiko Noda; Hidekuni Takao; Kazunori Yoshioka; Narihiro Oku; Mitsuaki Ashiki; Kazuaki Sawada; Koichi Matsumoto; Makoto Ishida
    Digest of Technical papers of the 13th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers’05) 2 2007 - 2010 2005年06月 [査読有り]
  • Kazuaki Sawada; Takahiro Ohshina; Takeshi Hizawa; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators B: Chemical 106 2 614 - 618 2005年05月
  • Hidekuni Takao; Kazuhiro Miyamura; Hiroyuki Ebi; Mitsuaki Ashiki; Kazuaki Sawada
    Sensors and Actuators A Physical 119 2 468 - 475 2005年04月
  • Md. Shofiqul Islam; Hiroshi Ishino; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 44 4 B 2161 - 2165 2005年04月 [査読有り]
  • MEMS based high dose radiation resistant SOI pressure sensor for aerospace applications
    KI Lee; MM Nayak; H Takao; K Sawada; M Ishida; K Rajanna
    Sensors and Materials 17 5 237 - 247 2005年01月 [査読有り]
  • Fabrication of high-temperature silicon pressure sensor using SDB-SOI technology
    Young-Tae Lee; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Sensors and Materials 17 5 269 - 276 2005年01月 [査読有り]
  • Three-dimensional multichannel Si microprobe electrode array chip for analysis of the nervous system
    Takeshi Kawano; Akito Ishihara; Tetsuhiro Harimoto; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Shiro Usui; M. Ishida
    Technical Digest,2004 International Electron Device Meeting (IEEE IEDM2004) 1013 - 1016 2004年12月 [査読有り]
  • Yoshiko Kato; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics 43 10 6848 - 6853 2004年10月 [査読有り]
  • Realization of n-type and p-type Si-Microprobe Array Using In-Situ Doping with Selective Vapor-Liquid-Solid (VLS) Growth Method
    ISLAM Md. Shofiqul; ISHINO Hiroshi; KAWANO Takeshi; TAKAO Hidekuni; SAWADA Kazuaki; ISHIDA Makoto
    Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2004 176 - 177 2004年09月 [査読有り]
  • Fabrication of pH CMOS image sensor for chemical reaction imaging
    Takeshi Hizawa; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of 8th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 297 440 - 442 2004年09月 [査読有り]
  • Neural recording chip with penetrating Si microprobe electrode array by selective vapor-solid growth method
    Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of the 26th Annual International Conference of the IEEE Eng. Med. Biological Society (IEEE EMBS) 1-7 26 2066 - 2069 2004年09月 [査読有り]
  • D Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A Physical 114 2-3 230 - 235 2004年09月
  • Low-Noise Fully Differential Amplifiers for High Resolution Smart Sensors Using JFET-CMOS Technology
    Hidekuni Takao; Yoshiaki Ito; Kolelas Serge; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT MNT 2004) 20 - 25 2004年07月 [査読有り]
  • Device Characteristics of MOSFETs for Smart Sensor Systems on Si(111)
    Yoshiko Kato; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT MNT 2004) 112 - 116 2004年07月 [査読有り]
  • Thermal Response Analysis of a Temperature Controlled Three-axis Accelerometer for High Temperatures with Integrated Microheaters and Temperature Sensors
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Hee Don Seo; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT MNT 2004) 449 - 452 2004年07月 [査読有り]
  • Fabrication of the High Temperature Silicon Pressure Sensor
    Young-Tae Lee; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT MNT 2004) 749 - 752 2004年07月 [査読有り]
  • MEMS Based High Dose Radiation Resistant SOI Pressure Sensor
    Kyung Il Lee; M. Muralidhar Nayak; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT MNT 2004) 1317 - 1321 2004年07月 [査読有り]
  • Daisuke Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Journal of Vacuum Science & Technology B 22 3 1396 - 1401 2004年06月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Fumie Ina; Toshiaki Douzaka; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A Physical 112 2-3 388 - 394 2004年05月
  • Toshihiko Noda; Hidekuni Takao; Mitsuaki Ashiki; Hiroyuki Ebi; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 43 4 B 2392 - 2396 2004年04月 [査読有り]
  • K Sawada; T Shimada; T Ohshina; H Takao; M Ishida
    Sensors and Actuators B-Chemical 98 1 69 - 72 2004年03月
  • Takeshi Kawano; Yoshiko Kato; Ryoji Tani; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Electron Devices 51 3 415 - 420 2004年03月 [査読有り]
  • Neural recording chip with penetrating Si microprobe electrode array by selective vapor-liquid-solid growth method
    Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology - Proceedings 26 2066 - 2069 2004年
  • 石田 誠; 高尾 英邦
    表面技術 55 1 10 - 16 The Surface Finishing Society of Japan 2004年 [査読有り]
  • Yoshiko Kato; Takashi Hashimoto; Liew Yoke Ching; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEICE Electronics Express 1 9 243 - 247 2004年 [査読有り]
  • Analysis and experimental verification of thermal drift in a constant temperature control type three-axis accelerometer for high temperatures with a novel composition of wheatstone bridge
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2004) 241 - 244 2004年01月 [査読有り]
  • Silicon Smart Tactile Image Sensor with Pneumatically Swollen Single Diaphragm Structure
    Hidkeuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of The 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2004) 846 - 849 2004年01月 [査読有り]
  • Integrated electrochemical DNA sensors with microfluidic channel reactor
    Chie Oda; Kazuaki Sawada; TomonobuTsuchiya; HidekuniTakao; Makoto Ishida
    Proc. 7th Int. Conf. Miniaturized Chemical and Biochemical Analysis Systems (m-TAS2003) 1 371 - 374 2003年10月 [査読有り]
  • 低雑音センサインターフェース回路に向けたJFET混載CMOS技術
    責任著者; 高尾英邦; 共著者; 浅岡力弥; 澤田和明; 川人祥二; 石田誠
    電気学会論文誌E, センサ・マイクロマシン準部門誌 123 10 422 - 428 2003年10月
  • A High Resolution Hemoglobin Measurement Cell Integrated with Signal Processing Circuit
    Toshihiko Noda; Hidekuni Takao; Mitsuaki Ashiki; Hiroyuki Ebi; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Extended abstracts of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2003), Tokyo, Japan, Sep. 16-18 694 - 695 2003年09月 [査読有り]
  • Back-Irradiation Type Photo-Detector Arrays Using Field Emitter Device
    Takashi Ono; Kazuaki Sawada; Young-Chul Jung; Yoshitake Moriyasu; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    IEICE Transactions on Electronics E86C 9 1805 - 1809 2003年09月 [査読有り]
  • Daisuke Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers 42 9A 5741 - 5746 2003年09月
  • Yoshiko Kato; Takeshi Kawano; Yoshiaki Ito; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 123 9 363 - 367 2003年09月 [査読有り]
  • Makoto Ishida; Takeshi Kawano; Masato Futagawa; Yuji Arai; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada
    Superlattices and Microstructures 34 3-6 567 - 575 2003年09月 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Journal of Microelectromechanical Systems 12 4 497 - 505 2003年08月
  • Electron Emission Characteristics from a Single Crystalline Ferroelectric Material by An Infrared Light Irradiation
    Daisuke Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Technical Digest of The 16th International Vacuum Microelectronics Conference (IVMC2003) 69 - 70 2003年07月 [査読有り]
  • Novel Fused Sensor For Photo and Ion Sensing
    Kazuaki Sawada; Takahiro Ohshina; Takeshi Hizawa; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 1023 - 1026 2003年06月 [査読有り]
  • A Thermo-Pneumatic In-Channel Microvalve with PDMS Diaphragm for Integrated Blood Examination System on Silicon
    H Takao; K Miyamura; H Ebi; M Ashiki; K Sawada; M Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 139 - 142 2003年06月 [査読有り]
  • A precision SOI-CMOS front-end amplifier for smart microsensors applicable to severe operation environment with large temperature variation
    Hidekuni Takao; Fume Ina; Toshiaki Douzaka; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 448 - 451 2003年06月 [査読有り]
  • Neuron size Si probe array fabricated on integrated circuits for multichannel electrode
    Takeshi Kawano; Yoshiko Kato; Ryoji Tani; Hiroshi Ishino; Hidekuni,Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 1679 - 1682 2003年06月 [査読有り]
  • “CMOS Signal Processing Circuits on Si (111) for Neural Activity Image-Recording with Epitaxially Grown Micro-Si Probes
    Yoshiko Kato; Takeshi Kawano; Yoshiaki Ito; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid - State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 1687 - 1690 2003年06月 [査読有り]
  • Improvement of infrared lights sensitivity on PZT emitter
    Daisuke Takamuro; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers '03) 1622 - 1625 2003年06月 [査読有り]
  • Fabrication of Avalanche Multiplication type CMOS Imager using a-Si:H photodiode film
    Masahiro Akiyama; Masaki Hanada; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Extended Abstracts of the 2003 IEEE Workshop on Charge-Coupled Devices and Advanced Image Sensors 49 - 53 2003年05月 [査読有り]
  • Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics 42 part 1 4B 2473 - 2477 2003年04月 [査読有り]
  • Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A-Physical 104 1 53 - 60 2003年03月
  • Fabrication and Analysis of Thermal Drift of a Constant Temperature Control Type Three-Axis Accelerometer for High Temperatures
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of International Sensor Conference 2003 79 - 80 2003年01月 [査読有り]
  • 石田 誠; 高尾 英邦
    電気学会論文誌 センサ・マイクロマシン準部門誌 123 2 31 - 36 2003年 [査読有り]
  • Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 123 12 583 - 587 2003年 [査読有り]
  • Hidekuni Takao; Rikiya Asaoka; Kazuaki Sawada; Shoji Kawahito; Makoto Ishida
    IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 123 10 422 - 428 2003年01月 [査読有り]
  • Analysis and Experimental Verification of Micro Fluidic Integrated Circuits Using Analogous Relationship between Pneumatic Microvalve and MOSFET
    Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Proceedings of IEEE The 16th Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2003) 185 - 188 2003年01月 [査読有り]
  • A Three-Axis Accelerometer for High Temperatures with Low Temperature Dependence Using a Constant Temperature Control of SOI Piezoresistors
    Kyung Il Lee; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of IEEE The 16th Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2003) 478 - 481 2003年01月 [査読有り]
  • Field electron emission device using silicon nano-wires
    Kazuaki Sawada; Masato Futagawa; Yuji Arai; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    I2002 International Electron Device Meeting (IEEE IEDM 2002) 401 - 404 2002年12月 [査読有り]
  • Smart Chip with Selective Micro-Probes on Si(111) IC Chips for Detecting Nerve Potential
    Makoto Ishida; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada
    Proceedings of International Conference on Smart Materials Structures and Systems (ISSS-SPIE2002) 302 - 309 2002年12月 [査読有り][招待有り]
  • Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 11 5 421 - 426 2002年10月 [査読有り]
  • Clock feedthrough reduction of CMOS autozeroed operational amplifiers by two-stage self-compensation
    Hidekuni Takao; Fumie Ina; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    IEICE Transactions on Electronics E85C 7 1499 - 1505 2002年07月 [査読有り]
  • Masahiro Akiyama; Masaki Hanada; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 41 4B 2552 - 2555 2002年04月 [査読有り]
  • Takeshi Kawano; Yoshiko Kato; Masato Futagawa; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators, A: Physical 97-98 709 - 715 2002年04月 [査読有り]
  • A sensor for blood cell counter using MEMS technology
    Daisuke Satake; Hiroyuki Ebi; Narihiro Oku; Koichiro Matsuda; Hidekuni Takao; Mitsuaki Ashiki; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators B Chemical 83 1-3 77 - 81 2002年03月 [査読有り]
  • A Silicon Microchip for Blood Hemoglobin Measurement Using Multireflection Structure
    TAKAO H.
    Proceedings of The Fifth International Conference on Miniaturized Chemicaland Biochemical Analysis Systems (μ-TAS 2001), Monterey CA, USA, Oct. 21-25 363 - 364 2001年10月 [査読有り]
  • A CMOS integrated three-axis accelerometer fabricated with commercial submicrometer CMOS technology and bulk-micromachining
    Hidekuni Takao; Hirofumi Fukumoto; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Electron Devices 48 9 1961 - 1968 2001年09月 [査読有り]
  • Properties of CMOS on Si(111) for nerve-potential smart sensor with Si probe array
    Makoto Ishida; F. Komakine; Hidekuni Takao; M. Futagawa; Takeshi Kawano; Kazuaki Sawada
    Proceedings of The International Conference on Electrical Engineering 2001 (ICEE2001) 1580 - 1583 2001年08月 [査読有り]
  • A durable sensor for blood cell counter using mems technology
    Daisuke Satake; Hiroyuki Ebi; Narihiro Oku; Koichiro Matsuda; Hidekuni Takao; Mitsuaki Ashiki; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 11th International Conference on Solid - State Sensors and Actuators (Transducers '01), VOLS 1 AND 2 1198 - 1201 2001年06月 [査読有り]
  • Fabrication and properties of ultra small Si wire arrays by vapor-liquid-solid growth with circuits
    Takeshi Kawano; Yoshiko Kato; Masato Futagawa; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 11th International Conference on Solid - State Sensors and Actuators (Transducers '01) 1066 - 1069 2001年06月 [査読有り]
  • A pneumatically-actuated silicon microvalve and its application to functional fluidic integrated circuits
    Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    Digest of Technical Papers of The 11th International Conference on Solid - State Sensors and Actuators (Transducers '01), VOLS 1 AND 2 946 - 949 2001年06月
  • Hidekuni Takao; Chuck-Chen Yong; Konadur Rajanna; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A-Physical 86 1-2 115 - 121 2000年10月
  • A Concept and Design of Integrated Temperature Control System in SOI Sensors for Precision Operation over a Wide Temperature Range
    Hidekuni Takao; Fumie Ina; Chuck-Chen Yong; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of International Conference on Electrical Engineering 2000 (ICEE2k) 259 - 262 2000年07月 [査読有り]
  • Kazuaki Sawada; Masahiro Akiyama; Hidekuni Takao; Makoto Ishida
    Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers 39 4B 2364 - 2368 2000年04月
  • Fabrication of A Three-Axis Accelerometer Integrated with Commercial 0.8-μm CMOS Circuits
    TAKAO H.
    Porceedings of IEEE MEMS2000, Miyazaki, Japan, Jan. 23-27 781 - 786 2000年01月
  • Design of a Precision Chopper Amplifier for High Temperature Applications Using a Leakage Current Compensation Technique
    Hidekuni Takao; Fumie Ina; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida
    Proceedings of XIV Design of Circuits and Integrated Systems Conference (DCIS ‘99) 155 - 160 1999年11月
  • Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Makoto Ishida
    IEEE Transactions on Electron Devices 46 1 109 - 116 1999年01月
  • Stress-sensitive differential amplifiers using piezoresistive effects of MOSFETs and their application to three-axial accelerometers
    Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Makoto Ishida
    Sensors and Actuators A-Physical 65 1 61 - 68 1998年02月
  • A monolithically integrated three axial accelerometer using stress sensitive CMOS differential amplifiers
    Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Makoto Ishida
    Digest of Technical Papers of The 9th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '97), VOLS 1 AND 2 1173 - 1176 1997年
  • Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Heedon Seo; Makoto Ishida; Tetsuro Nakamura
    Sensors and Actuators A-Physical 55 2-3 91 - 97 1996年07月
  • Three-dimensional vector accelerometer using SOI structure for high-temperature use
    H Takao; Y Matsumoto; M Ishida; T Nakamura; H Tanaka; HD Seo
    ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS IN JAPAN PART II-ELECTRONICS 79 3 61 - 72 1996年03月
  • ＳＯＩ構造を用いた高温用三次元加速度ベクトルセンサ
    高尾 英邦; 松本 佳宣; 田中 秀一; 徐 煕敦; 石田 誠; 中村 哲郎
    電子情報通信学会論文誌 J78, C-2 10 495 - 505 1995年10月 [査読有り]
  • Device Characteristics of Three-Dimensional Vector Accelerometer Using SOI Structure for Wide Temperature Range
    Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Hee Don Seo; Makoto Ishida; Tetsuro Nakamura
    Proceedings of the 6th Conference on Sensor Technology9) 517 - 524 1995年10月 [査読有り]
  • Three-Dimensional Vector Accelerometer Using SOI Structure for High Temperature
    Hidekuni Takao; Yoshinori Matsumoto; Hee Don Seo; Hidekazu Tanaka; Makoto Ishida; Tetsuro Nakamura
    Digest of Technical Papers of The 8th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '95) 683 - 686 1995年06月 [査読有り]
  • Three-Dimensional Vector Accelerometer Using SOI Structure for High Temperature
    The Transactions of IEICE C-II J78 10 495  1995年

書籍

  • センサ医工学 -最新医療センシングの研究開発-,第９章MEMS内視鏡センサ（超低侵襲内視鏡医療技術）
    シーエムシー出版 2022年05月 ISBN: 9784781316703
  • 狙いどおりの触覚・触感をつくる技術： 第4章第3節[3] 柔軟な素材表面を高精度で測定するMEMS 触覚センサ
    サイエンス＆テクノロジー株式会社 2017年11月 ISBN: 9784864281621
  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 -MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合-第13章集積化MEMSセンサ実現のための回路設計
    シーエムシー出版 2012年11月 ISBN: 9784781306223
  • 国際会議報告：The 10th Annual IEEE Conference on Sensors (IEEE Sensors2011)電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）132号
    高尾 英邦 一般社団法人 電気学会 2012年
  • 電気工学ハンドブック（第七版）10編第3章8節「集積化システムの製作プロセス」
    電気学会 2012年
  • Electronic Journal Archives No. 186 センサ・CMOS集積化技術★徹底解説
    株式会社 電子ジャーナル 2011年
  • Sensors, Focus on Tactile, Force and Stress Sensors
    I-Tech Publications 2009年
  • 薄膜ハンドブック
    日本学術振興会 薄膜第131委員会編 2008年
  • 次世代センサハンドブック
    培風館 2008年
  • MEMS/NEMS Handbook: Techniques and Applications
    Springer Publishers Inc. 2006年
  • プロフェッショナル英和辞典「SPED TERRA 物質・工学編」
    2004年
  • SOI Sensors-Sensors Update
    WILEY-VCH Verlag GmbH 2000年

講演・口頭発表等

  • 高分解能触覚センサを用いたウレタン樹脂の手触り感の定量評価  [通常講演]
    井木 祐輔; 中島 雄次; 宮澤 篤史; 高尾 英邦
    第17回日本感性工学会春季大会, Online 2022年03月
  • 高分解能 MEMS触覚センサを用いた不織布構造体の「滑らかさ」の定量評価  [通常講演]
    井木 祐輔; 久安 悟史; 谷本 圭; 笹山 賢一; 高尾 英邦
    第17回日本感性工学会春季大会, Online 2022年03月
  • Development of a Minimally Invasive High-Resolution Tactile Sensor For Acquiring Delicate Haptic Changes in Hair  [通常講演]
    Masahito Komatsubara; Tsubasa Nakashima; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Yasunori Matsui; Hidekuni Takao
    The 35th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2022) 2022年01月
  • 指先が持つ繊細な感覚を可視化するマルチフィジクス・ナノ触覚センサ  [通常講演]
    高尾英邦; 三瀬奈智; 久安 悟史; 神田 脩太
    SEMICON JAPAN 2022 2022年12月 口頭発表（一般） 東京ビッグサイト SEMIジャパン
  • 髪の毛の手触り感を数量化可能なハンディ型毛髪スキャナー  [通常講演]
    小松原 雅仁; 松井 康訓; 高尾 英邦
    電気学会 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 口頭発表（一般） アスティとくしま（徳島県立産業観光交流センター） 電気学会センサ・マイクロマシン部門
  • 肌表面の質感を高分解能で計測可能な防塵防滴構造を有するナノ触覚スキャナー  [通常講演]
    久安 悟史; 榊原 佑樹; 寺尾 京平; 下川 房男; 清水 裕子; 高尾 英邦
    電気学会 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 口頭発表（一般） アスティとくしま（徳島県立産業観光交流センター） 電気学会センサ・マイクロマシン部門
  • 「温もり」を含めた素材の触質感を弁別可能な冷温覚集積型ナノ触覚センサ  [通常講演]
    三瀬 奈智; 小笹 光希; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    電気学会 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022年11月 口頭発表（一般） アスティとくしま（徳島県立産業観光交流センター） 電気学会センサ・マイクロマシン部門
  • 指先の繊細な感覚を再現する高解像度触覚センサとライフサイエンスへの応用  [招待講演]
    高尾英邦
    大阪商工会議所 次世代医療システム産業化フォーラム 2022年10月 口頭発表（招待・特別） オンライン 大商MDF事務局
  • 髪の毛の手触り感を数量化可能なハンディ型毛髪スキャナーの製作  [通常講演]
    小松原 雅仁; 寺尾 京平; 下川 房男; 松井 康訓; 高尾 英邦
    2022年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会 2022年07月 口頭発表（一般） 香川大学教育学部 応用物理学会 中国四国支部 日本物理学会 中国支部 四国支部 日本物理教育学会 中国四国支部 日本光学会 中国・四国支部
  • 微細構造センサを用いた異分野融合研究の展開  [招待講演]
    高尾英邦
    第 6 回日本臨床薬理学会中国・四国地方会、第 6 回黒潮カンファレンス合同学会 ―創発研究のススメー 2022年07月 口頭発表（招待・特別） 香川大学 幸町キャンパス イノベーションデザイン研究所 第 6 回黒潮カンファレンス合同学会
  • シリコン製ナノ触覚センサ  [招待講演]
    高尾 英邦
    日本学術振興会 R025 先進薄膜界面機能創成委員会 第9回研究会 2022年06月 口頭発表（招待・特別） オンライン 独立行政法人日本学術振興会
  • Ultra-Sensitive Tactile Texture Sensors for Touch ML/Compilers and Distributed Training Co-design Datacenter Recycling  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    Vail Computer Elements Workshop 2022年06月 口頭発表（一般） オンライン VCEW
  • 毛髪の繊細な手触り感変化を取得する低侵襲型高分解能触覚センサの開発  [通常講演]
    小松原 雅仁; 中島 翼; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第38 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Online 2021年11月
  • 心疾患等における病理学的変化を捉えるペン型脈波計測システム  [通常講演]
    山田 康誠; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Online 2021年11月
  • “Mems-Based “Touch Feeling Scanner” for Quantitative Evaluation of Fingertip Sensation [MEMS Conference]  [招待講演]
    Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Kazutami Arimoto; Hidekuni Takao
    第21回「関西コロキアム電子デバイスワークショップ」, Online 2021年09月
  • 繊細な指先の感覚を可視化する集積化ナノ触覚センサ  [招待講演]
    高尾 英邦
    第82回応用物理学会秋季学術講演会, Online 2021年09月
  • New Value Creation by Nano-Tactile Sensor Chip Exceeding our Fingertip Discrimination Ability  [通常講演]
    Hidekuni Takao; Kazuki Watatani; Kazutami Arimoto
    IEEE Hot Chips 33 Symposium, Online 2021年08月
  • Reproducing Our Sense of Touch Realized by Fingertip-like High Resolution MEMS Tactile Sensors  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The International Conference on Nano Research and Development (ICNRD-2021) Online 2021年03月
  • An Antenna-Shaped MEMS Tactile Sensor with Angle Detection Capability  [通常講演]
    Hayahide Oka; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    The 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021), Online 2021年01月
  • MEMS-Based “Multi-Tactile Scanner” with 100µm Spatial Resolution of Hardness  [通常講演]
    Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    The 34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021), Online 2021年01月
  • Time Series Classification of Vibration Data Using Attractors Made from Multidimensional Space by Convolutional Neural Network  [通常講演]
    Tomoya Takata; Yoko Uwate; Hidekuni Takao; Yoshifumi Nishio
    The 6th International Forum on Advanced Technologies 2020 (IFAT2020) 2020年03月
  • 60μNの摩擦力感度と0.5µmの空間分解能を有するナノ領 域触覚センサの製作と評価  [通常講演]
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第11回集積化MEMSシンポジウム 2019年11月
  • 内視鏡手術における把持状態の無線計測に向けた構造色変 化を用いた力覚センサの開発  [通常講演]
    前田 祐作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第11回集積化MEMSシンポジウム 2019年11月
  • 計測表面の保護を目指した高分解能MEMS触覚センサ上へ のパリレン蒸着  [通常講演]
    榊原 佑樹; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第11回集積化MEMSシンポジウム 2019年11月
  • 微細凹凸感・摩擦感・硬軟感の同時取得を可能にする指腹 曲面型MEMS触覚アレイセンサ  [通常講演]
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2019年11月
  • 繊細な触感の客観的評価を可能とする「手触り感スキャ ナー」の開発  [通常講演]
    西田 吉広; 中光 孝太; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 有本 和民; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2019年11月
  • Reproducing our Fingertip Sensation by Super High Resolution Tactile Sensing  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    International Conference & Exhibition on Biosensors & Bioelectronics 2019 2019年10月
  • Reproducing our Fingertip Sensation by Super High Resolution Tactile Sensing  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    29th Assembly of Advanced Material Congress 2019年10月
  • 畳み込みニューラルネットワークによる再構成アトラクタの画像を用いた時系列分析  [通常講演]
    高田知弥; 上手洋子; 高尾英邦; 西尾芳文
    電子情報通信学会 非線形問題研究会 2019年09月
  • Time Series Analysis Using Attractors Made from Multidimensional Space with Convolutional Neural Network  [通常講演]
    Tomoya Takata; Yoko Uwate; Hidekuni Takao; Yoshifumi Nishio
    令和元年度電気関係学会四国支部連合大会 2019年09月
  • パリレンＣコーティングによるシリコンカンチレバーの機械特性変化の評価  [通常講演]
    榊原 佑樹; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2019年07月
  • アレイ型高分解能２軸触覚センサを 用いた触覚分布情報の計測と評価  [通常講演]
    綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第10回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2019年07月
  • 数値・情報解析はどんな未来につながるのか：センサーの例  [招待講演]
    高尾英邦
    かがわ創生講座 2019年05月
  • 触覚センサによる手触り感数値化の実現に向けた触覚情報処理基盤技術  [招待講演]
    高尾英邦
    技術情報協会 2019年04月
  • Touch Feeling Measurement with Novel High Resolution MEMS Tactile Sensors  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The BIT’s 5th Annual World Congress of Smart Materials(WCSM2019) 2019年03月
  • High density tactile information obtained by integrated MEMS tactile sensor array and its processing to discriminate surface textures  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    2019 International Conference for Leading and Young Computer Scientists(IC-LYCS 2019) 2019年02月
  • 繊細な手触り感を取得するナノ触覚センシング技術  [招待講演]
    高尾英邦
    EIIRISプロジェクト研究成果報告会 2018年度 2019年02月
  • 高分解能MEMS触覚センサによる毛髪表面の手触り感計測と評価  [通常講演]
    中光 孝太; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第 10 回「集積化MEMSシンポジウム」2018 2018年11月
  • 余剰受容体の直接定量解析に向けた単一細胞薬剤刺激デバイスの開発  [通常講演]
    松井 祐樹; MuhammadThaqifIqbalBinMokhtar; 平野 勝也; 高尾 英邦; 下川 房男; 石塚 裕己; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • ツールストック型トラップデバイスを利用したDNA1分子加工システムの開発  [通常講演]
    増田 晃士; 石塚 裕己; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 軟性内視鏡手術における送気圧・温度の同時モニタリングに向けた完全無線型光学式センサの温度特性評価  [通常講演]
    前田 祐作; 森 宏仁; 大平 文和; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月
  • 高精細な触覚情報の空間分布計測を可能にするアレイ型MEMS指紋触覚センサ  [通常講演]
    綿谷一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月
  • 超高分解能触覚センサによるサブミクロン領域の手触り感判別  [通常講演]
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月
  • 毛包細胞の機能を模した高感度MEMSシリコン毛デバイス  [通常講演]
    濱本 晃輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月
  • Ultra-high resolution MEMS tactile sensors for nano-technology  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    European Advanced Materials Congress(EAMC2018) 2018年08月
  • シリコン集積化 MEMS 技術による高解像度触覚センシング  [招待講演]
    高尾英邦
    第65回応用物理学会春季学術講演会 2018年03月
  • 触覚センサの計測時における微細凹凸表面形状と摩擦力の関係  [通常講演]
    綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • 打撃による材料の硬さ情報取得を目指したMEMSアクティブ触覚センサ  [通常講演]
    宮澤賢樹; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • 高分解能MEMS触覚センサを用いた毛髪表面の手触り感計測  [通常講演]
    中光孝太; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • 高分解能触覚センサと深層学習を用いた接触対象の精密判別  [通常講演]
    上田剣政; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • 針状接触子を有する2軸触覚センサによるサブミクロン領域の手触り感計測  [通常講演]
    中島 翼; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • 光学式センサによる軟性内視鏡手術下での腹腔内圧力モニタリングに向けた動物実験  [通常講演]
    前田祐作; 森 宏仁; 中川智明; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • モーメント検出能を有する高分解能MEMS触覚センサ  [通常講演]
    濱本晃輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成30年電気学会全国大会 2018年03月
  • Ultra-High Resolution Tactile Sensing with MEMS Technology  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The 1st JAIST World Conference 2018年02月
  • DRIEを用いたナノ触覚センサの開発と手触り計測技術の実現  [招待講演]
    高尾英邦
    MEMS用シリコン深堀り(DRIE）装置活用セミナー 2018年01月
  • Novel High Resolution MEMS Tactile Sensors For Measurement of Fingertip Feelings  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    International Workshop on Physics of Semiconductor Devices: IWPSD 2017 2017年12月
  • マイクロ流体デバイスによる敗血症に伴う腎微小環境変化の解析  [通常講演]
    田尾 祐一; 高尾 英邦; 下川 房男; 中野 大介; 寺尾 京平
    生命科学系学会合同年次大会 2017年12月 生命科学系学会合同年次大会運営事務局
  • High Resolution Tactile Sensing with Silicon MEMS Sensors for Measurement of Fingertip Sensation  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    14th International SoC Design Conference (ISOCC 2017) 2017年11月
  • 酵素機能を融合した光駆動分子加工ツールの開発  [通常講演]
    増田 晃士; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 自己組織化DNAナノワイヤの直径と配列の制御に向けたプロセス検討  [通常講演]
    神谷 昌吾; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 臓器解析の実現に向けた貫通孔型Siブレードアレイデバイスの開発  [通常講演]
    塩見 太朗; 香川 大地; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 微細な表面形状と摩擦を用いたザラザラ感定量化モデル  [通常講演]
    大西智博; 綿谷一輝; 佐藤敬子; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 ポスター発表
  • 指紋・指腹の表面質感検知能を集積したマルチスケール型MEMS触覚センサ  [通常講演]
    綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第9回「集積化MEMSシンポジウム」 2017年10月
  • 触覚MEMSセンサを用いた画像処理による物質表面形状検査モデルの作成の検討  [通常講演]
    江見拓哉; 小椋清孝; 横川智教; 佐藤洋一郎; 山内仁; 高尾英邦; 有本和民
    第9回「集積化MEMSシンポジウム」 2017年10月 ポスター発表
  • 医療での皮膚感覚計測応用を目指した「細胞化センサ」技術  [招待講演]
    高尾英邦
    第2回黒潮カンファレンス 2017年10月
  • 触り心地の定量評価と測定・解析技術  [招待講演]
    高尾英邦
    技術情報協会 2017年10月
  • 表面質感の取得を目指した高感度触覚センサ  [通常講演]
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第22回日本バーチャルリアリティ学会 2017年09月
  • 微細な表面形状と摩擦の波動に基づくザラザラ感定量化の研究  [通常講演]
    大西 智博; 綿谷 一輝; 佐藤 敬子; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    第22回日本バーチャルリアリティ学会 2017年09月 ポスター発表
  • 触素材に対するテクスチャ知覚の研究ー2軸触覚センサによる物理的計測を用いてー  [通常講演]
    佐藤敬子; 四宮成克; 綿谷一輝; 大西智博; 高尾英邦
    日本心理学会第81回大会 2017年09月 ポスター発表
  • Development of high resolution MEMS tactile sensor device and its application  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The Collaborative Conference on Intelligent Systems and Materials 2017 2017年09月
  • 人間の感覚計測に向けたセンシングデバイス  [招待講演]
    高尾英邦
    電気学会 電子情報システム部門大会 2017年09月
  • 指先の手触り感評価に向けた高精細触覚センサと化学繊維開発への応用  [招待講演]
    高尾英邦
    第66回中国四国産学連携化学フォーラム 2017年08月
  • High Resolution MEMS Tactile Sensors for Realization of Artificial Sense of Fingertip  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    ISACIT2017 2017年08月
  • 微細な表面形状と摩擦を用いたザラザラ感定量化モデル  [通常講演]
    大西智博; 綿谷一輝; 佐藤敬子; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2017年07月 ポスター発表
  • 高分解能２軸触覚センサにおける対象表面と微細接触子間の接触解析  [通常講演]
    綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2017年07月 ポスター発表
  • 超高解像型 MEMS 触覚センサにおける接触子破損に関する考察  [通常講演]
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾英邦
    第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2017年07月 ポスター発表
  • 集積回路プロセスによる機能集積型MEMSマイクロセンサの開発  [招待講演]
    高尾英邦
    Cat-CVD研究会 2017年07月
  • 超高解像度触覚センサによる手触り感計測技術への展開  [招待講演]
    高尾英邦
    技術情報協会 2017年04月
  • 軟性内視鏡手術での腹腔内モニタリングに向けた光学式圧力センサ  [通常講演]
    中川 智明; 前田 祐作; ムハマド ザフリ; 小原英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦
    第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年03月
  • NOTESでの腹腔内モニタリングのための集積化圧力・温度センサの動物体内での長期安定性検証  [通常講演]
    前田 祐作; 前田 光平; 小原 英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦
    第64回応用物理学会春季学術講演会 2017年03月
  • ナノ接触センシングﾞ技術の開発とソフトマテリアルへの期待  [招待講演]
    高尾英邦
    日本化学会中国四国大会 2016年11月
  • 微細領域の質感取得を目指した高分解能2軸MEMS触覚センサ (第8回 集積化MEMSシンポジウム)  [通常講演]
    綿谷 一輝; 香西 亮吾; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2016年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 大面積電極の垂直実装による高感度MEMS静電気センサの実現  [通常講演]
    飯間 敦矢; 岡 勇作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2016年10月
  • 差分論理表現に基づく時間ペトリネットの有界モデル検査の高速化  [通常講演]
    江見拓哉; 横川智教; 佐藤洋一郎; 有本和民; 小椋清孝; 山内仁; 高尾英邦
    平成28年度 (第67回) 電気・情報関連学会中国支部連合大会 2016年10月
  • センシングの新分野を指向する「細胞化センサ」の開発  [招待講演]
    高尾英邦
    2016年電子情報通信学会ソサイエティ大会 2016年09月
  • 高分解能２軸触覚センサを用いた布表面手触りの識別  [通常講演]
    綿谷一輝; 香西亮吾; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第7回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2016年07月 ポスター発表
  • 大面積垂直電極を有する高感度静電気センサの製作と評価  [通常講演]
    飯間敦矢; 岡勇作; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第7回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2016年07月 ポスター発表
  • 基準面構造を持つ生体硬さセンサにおける荷重依存性低減の理論的検証  [通常講演]
    前田祐作; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    第7回集積化MEMS技術研究ワークショップ 2016年07月 ポスター発表
  • High Resolution Silicon MEMS Tactile Sensors for Measurement of Fingertip Sensation  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The 2016 International Meeting for Future of Electron Devices 2016年06月
  • 高温微細加工を目指したマイクロフレームアレイデバイス  [通常講演]
    井原拓也; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成28年電気学会全国大会 2016年03月
  • 制御性と耐圧性を高めた組立式MEMSマイクロバルブの製作  [通常講演]
    武政智史; 相田泰志; 高尾英邦
    平成28年電気学会全国大会 2016年03月
  • 大面積電極の垂直実装を用いた高感度静電気センサの開発  [通常講演]
    飯間敦矢; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    平成28年電気学会全国大会 2016年03月
  • 生体内でMEMSセンサを使用するための実装法  [通常講演]
    中川智明; 前田光平; 綿谷一輝; 前田祐作; 小原英幹; 森 宏仁; 高尾英邦
    平成28年電気学会全国大会 2016年03月
  • NOTES での生体内圧力センサにおける照度および温度変動への対策の検討  [通常講演]
    前田祐作; 前田光平; 綿谷一輝; 中川智明; 小原英幹; 森 宏仁; 高尾英邦
    平成28年電気学会全国大会 2016年03月
  • E-2-4 神経細胞ネットワーク解析に向けた局所光刺激・多点電位計測デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)  [通常講演]
    上野 秀貴; 駒井 章治; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016年03月 一般社団法人日本機械学会
     
    In brain science and psychology, one of the most important purposes of recent studies about neural network, biological circuit in brain, is to establish a method of treatment for the central nervous system disease, such as Alzheimer. Neurons in a neural network is stimulated and controlled by visible lights by Optogenetics methods. In thie paper, we propose a microchip integrated micro electrodes, micro lenses, and pinholes. The proposed microchip is capable of stimulating a neural network with two focused lights which have different affection to the neuron, and measuring the electrical reaction of the neural network.
  • E-2-3 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)  [通常講演]
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 秋光 和也; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016年03月 一般社団法人日本機械学会
     
    In recent years, the various studies of trapping and operating single cells by using a microfluidic have been proceeded. Many conventional methods requires a fluid operating unit outside the device. Therefore, it is difficult to carry the device during operation. In this study, We integrate a small cell trapping device with miniature peristaltic pumps and a chip made by multidirectional photolithography method. The cells on the highly portable device are easily stored in an incubator and observed under the microscope.
  • 繊細な触覚を検知できるナノ触覚デバイスの開発と前立腺癌骨転移への応用の可能性  [招待講演]
    高尾英邦
    第15回KMU泌尿器科セミナー 2016年02月
  • シリコンで創る指先皮膚感覚：集積化シリコン触覚センサの開発と応用  [招待講演]
    高尾英邦
    電子情報技術産業協会第13回知的センシング技術分科会 2016年01月
  • 低侵襲内視鏡手術での腹腔内モニタリングシステムに向けた圧力・温度センサデバイスの開発  [通常講演]
    前田 祐作; 前田 光平; 綿谷 一輝; 小原 英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2015年10月
  • 面内変位型触覚センサを用いた手触り感の定量化のための新たな触覚評価方法  [通常講演]
    香西亮吾; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2015年10月
  • 低侵襲内視鏡手術への適応に向けた動物体内でのMEMSセンサ埋め込み型フードの有効性検証  [通常講演]
    綿谷 一輝; 前田 光平; 前田; 小原 英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2015年10月
  • マイクロ光学式マルチガスセンサの実現を目指したシリコン上の光学セルフアライメント技術  [通常講演]
    山本 善哉; 篠崎 亮輔; 朝日 一平; 二宮 英樹; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2015年10月 ポスター発表
  • Si/polymer/glassチップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 2015年10月
  • 人間のように変化を感じるマイクロセンサ技術の最前線 ：日常生活に染み込むセンサー技術の将来を予測  [招待講演]
    高尾英邦
    Embedded Technology West2015 組込み総合技術展 関西 テクニカルセッション 2015年06月
  • 低侵襲内視鏡手術への適応に向けたMEMSセンサ埋め込み型内視鏡フードの研究  [通常講演]
    前田光平; 前田祐作; 森 宏仁; 高尾英邦
    平成27年電気学会全国大会 2015年03月
  • MEMS硬さセンサにおける基準面構造による押し当て荷重依存性低減効果の検証  [通常講演]
    前田 祐作; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    平成27年電気学会全国大会 2015年03月
  • Digitizing Our Sense of Touch with Semiconductor Micro Integrated Sensors  [招待講演]
    Hidekuni Takao
    The 3rd Taiwan-Japan Smart Tourism Workshop 2015年
  • シリコン微細加工技術を用いた320umピッチの流路を有する大気圧プラズマジェットアレイの製作と評価  [通常講演]
    武政 智史; 山崎 秀貴; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月
  • 基準面構造を有する高感度MEMS硬さセンサによる柔軟材料の評価  [通常講演]
    前田 祐作; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月
  • 凹凸と摩擦力の相関を取得可能なMEMS横型触覚センサ  [通常講演]
    香西 亮吾; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房雄; 高尾 英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月
  • マイクロフレームジェットデバスの実現を目指した消炎距離の測定  [通常講演]
    井原 拓也; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 ポスター発表
  • SiOBへの 適応を目指した光学自動アライメント技術の開発  [通常講演]
    山本 善哉, 篠崎 亮輔, 朝日 一平, 下川 房男, 二宮 英樹, 高尾 英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 ポスター発表
  • 材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ  [通常講演]
    大杉亮太; 高木優佑; 前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2014年10月 ポスター発表
  • 材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ  [通常講演]
    大杉亮太; 高木優佑; 前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014年09月
  • 小型分光器の実現に向けた面内回転型MEMS分光デバイス  [通常講演]
    岡 勇作; 篠崎亮輔; 下川房男; 大平文和; 高尾英邦
    2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014年09月
  • 最新マイクロセンサー技術の応用と展望：～人間の感覚に迫る多様なセンサー技術と有用性を探る～  [通常講演]
    Embedded Technology West2014 組込み総合技術展 関西 テクニカルセッション 2014年06月
  • 神経細胞ネットワーク解析のための局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014年03月
  • 電位計測アレイを集積化した細胞組織内局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 2014年
  • 最新マイクロセンサー技術：～人間の感覚に迫る多様なセンサー技術で何ができ、どんな可能性が開けるのか～  [通常講演]
    Embedded Technology West2013 組込み総合技術展 関西 テクニカルセッション 2013年06月
  • 材料判別能にむけた複合センサを集積するメッシュ状シリコン触覚イメージセンサ  [通常講演]
    高木優佑; 前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    平成25年電気学会全国大会 2013年03月
  • 可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術  [通常講演]
    岡 勇作; 篠﨑亮輔; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    平成25年電気学会全国大会 2013年03月
  • 集積化シリコンMEMS技術による新機能デバイスの創出（キーノートスピーチ）
    高尾 英邦
    精密工学会学術講演会講演論文集 2013 2013年
  • Patternable Atmospheric-Pressure Plasma Jets with Gas Discharge in Microfluidic Channel Array  [通常講演]
    Hidetaka Yamasaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Hidekuni Takao
    The 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2013) 2013年01月
  • A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device  [通常講演]
    Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao
    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012) 2012年11月
  • シリコン光学ベンチへの一体化を目指した回転型 MEMS ミラーの製作と評価  [通常講演]
    篠崎 亮輔; 大平 文和; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第29回「センサ・ マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年10月
  • 混合噴射機能を持つマルチジェット型ベンチュリ噴霧器と力覚・冷覚複合提示ディスプレイへの応用  [通常講演]
    荒井 將崇; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 大平 文和; 高尾 英邦
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年10月
  • 微小流路内放電を用いるMEMS大気圧プラズマアレイデバイス  [通常講演]
    山崎 秀貴; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年10月
  • 基準面を用いて物体表面から摩擦力および硬さ情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイ  [通常講演]
    前田 祐作; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 高尾 英邦
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年10月
  • A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure  [通常講演]
    Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    IEEE Sensors2012 Conference 2012年10月
  • 新機能創出にむけた集積化シリコンMEMS技術とその応用  [通常講演]
    高尾英邦
    第30回レーザセンシングシンポジウム 2012年09月
  • Design and Fabrication of Electrostatically Driven In-Plane MEMS Rotational Mirror with Electrostatic Rotary Encoder  [通常講演]
    R. Shinozaki; F. Oohira; K. Terao; T. Suzuki; F. Simokawa; H. Takao
    2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 2012年08月 ポスター発表
  • Evaluation of Highly Sensitive C/V Converter with an Inverter for CMOS/MEMS Integration  [通常講演]
    Hidekuni Takao; Ryo Kodama; Hajime Miyao; Makoto Ishida
    World Automation Congress 2012 (WAC2012) 2012年06月
  • 角度センシング機能を有する回転型静電MEMSミラーの設計と製作  [通常講演]
    篠崎亮輔; 大平文和; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    平成24年 電気学会全国大会 2012年03月
  • MEMS技術を用いた微細大気圧プラズマアレイデバイスの製作  [通常講演]
    山崎秀貴; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    平成24年 電気学会全国大会 2012年03月
  • 接触面から複数の触覚情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイの設計と製作  [通常講演]
    前田祐作; 高木優祐; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    2012年春期 第59回応用物理学関係連合講演会 2012年03月
  • AIR-FLOW BASED MULTIFUNCTIONAL TACTILE DISPLAY DEVICE WITH MULTI-JET INTEGRATED MICRO VENTURI NOZZLE ARRAY  [通常講演]
    Masataka Arai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2012) 2012年02月
  • 回折格子型定量化バンドパスプレートによる分光吸収率画像のバックグラウンド補正方法  [通常講演]
    佐藤 駿; 詫間 崇史; 乾 明日香; 堤 良介; 杠 武彦; 小島 大輔; 高尾 英邦; 西山 成; 石丸 伊知郎
    精密工学会学術講演会講演論文集 2012年 公益社団法人 精密工学会
     
    生体組織内部構造から生じる微弱散乱光の暗視野分光イメージングによる，グルコースなどの生体成分定量化を目指している．分光吸収率から高精度に成分定量計測を行うには，光源光量変動や位相シフター移動精度の補正が重要になる．そこで，窓材の一部に設けた回折格子から生じる一次回折光の内，対物レンズ内に入射する波長帯を狭帯域参照光とし，干渉強度変化の振幅から光源変動，位相から位相シフターの揺らぎを同時に補正する．
  • MEMS/CMOS集積化技術の過去・現在・未来 ～ デバイス技術と設計技術の変遷 ～  [招待講演]
    高尾英邦
    デザインガイア2011 -VLSI設計の新しい大地— 2011年11月
  • Micro Fluidic Circuit Design with “SPICE Simulation  [通常講演]
    H. Takao; M. Sugiura; M. Ishida; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; F. Oohira
    The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011) 2011年11月 ポスター発表
  • A Venturi-type Micro Mist Generator fabricated by MEMS Technology and its Application to Local Surface Cooling of Target Objects  [通常講演]
    M. Arai; K. Terao; F. Shimokawa; T. Suzuki; F. Oohira; H. Takao
    24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011) 2011年10月
  • Flexible Silicon Triaxial Tactile Imager with Integrated 800ｵm-Pitch Sensor Pixel Structures on a Diaphragm  [通常講演]
    H. Takao; H. Okada; M. Ishida; T. Suzuki; F. Oohira
    IEEE Sensors2011 Conference 2011年10月
  • In-pixel type small-scale integrated C-V converter with chopper stabilized CMOS inverter  [通常講演]
    Ryo Kodama; Hajime Miyao; Makoto Ishida; Hidekuni Takao
    2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2011) 2011年09月
  • ベンチュリ構造によるマイクロミスト生成機構と冷感集積化複合触覚提示デバイスへの応用  [通常講演]
    荒井將崇; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 大平文和; 高尾英邦
    第28回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2011年09月
  • CMOS 集積化に向けたMEMS デバイスのスケーリング効果  [通常講演]
    平井紳太郎; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 下川 房男; 大平文和; 高尾 英邦
    第28回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2011年09月
  • Zero Temperature Coefficient Gas-Sealed Pressure Sensor Using Mechanical Temperature Compensation  [通常講演]
    X.c. Hao; YG. Liang; H. Takao; K. Maenaka; T. Fujita; K. Higuchil
    The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2011年06月 ポスター発表
  • ナノ時代におけるCMOS集積化MEMS技術の現状と展望  [通常講演]
    次世代ナノ技術に関する研究専門委員会主催第2回研究会「異種要素の集積化技術」 2011年01月
  • 集積化センサ技術とその実用例～そのポテンシャルを活かす回路と集積化の勘所～  [通常講演]
    NEアカデミー 2011年
  • センサ・CMOS集積化技術★徹底解説  [通常講演]
    Electronic Journal Technical Seminar 2011年
  • A Robust and Sensitive Silicon Tactile Imager with Individually Formed SU-8 Protective Layers on Piezoresistor Pixels  [通常講演]
    H. Takao; H. Okada; M. Ishida; K. Terao; T. Suzuki; F. Oohira
    IEEE Sensors 2010 Conference 2010年11月
  • 異種機能集積化におけるMEMS/CMOS設計技術  [通常講演]
    高尾英邦
    第71回応用物理学会学術講演会シンポジウム 2010年09月
  • T1601-1-3 ガラス基板とポリマー材料を用いて製作したPolymer-MEMSミラーの駆動特性評価([T1601-1]マイクロナノメカトロニクス(1))日本機械学会年次大会講演論文集 2010
    佐々木 修; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 大平 文和
    日本機械学会年次大会講演論文集2010 2010年09月
  • 皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャーの開発  [通常講演]
    高尾英邦
    2010年電子情報通信学会総合大会チュートリアルセッション「「五感」情報処理： アプリケーションの展望」 2010年03月
  • 社会の安全・安心にむけたユビキタス集積化マイクロセンサ技術  [通常講演]
    高尾英邦; 石田 誠; 澤田和明; Jong-Wan Kim; Wan-Hoon Lee
    2010年電子情報通信学会総合大会チュートリアルセッション「安全・安心な生活のために：情報通信ネットワーク・回路・システム技術の挑戦」 2010年03月
  • B-5 遠心力によるマイクロ構造上での染色体形状の操作(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)  [通常講演]
    鈴木 博之; 平丸 大介; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 大平 文和; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2010年03月 一般社団法人日本機械学会
     
    In this study, we propose a concentrically arrayed micro-mesh structure for high resolution gene analysis using fiber DNA. The micro-mesh structures composed of tapered micro-wires were fabricated by a rotated / inclined exposure method with a single step of the lithography. DNA fibers are constructed over micro-mesh structure array by centrifugal stretching, and can achieve high throughput Fluorescent In Situ Hybridization.
  • 集積化センサ技術～そのポテンシャルを活かす回路と集積化の勘所～  [通常講演]
    NEアカデミー 2010年
  • CMOS/MEMS技術の可能性と機能集積化触覚センサへの応用  [通常講演]
    第7回マイクロシステム応用研究会 2010年
  • A Membrane Tyep Si-MEMS Tactile Imager with Fingerprint Structure for Realization of Slip Sensing Capability  [通常講演]
    Hiroki Okada; Masaki Yawata; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada; Hidekuni Takao
    The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2010) 2010年01月 ポスター発表
  • Fabrication of a multi-modal sensor with pH, EC and temperature sensing areas for agriculture application  [通常講演]
    Masato Futagawa; Taichi Iwasaki; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    IEEE Sensors 2009 Conference 2009年10月
  • Fabrication of Smart Electrochemical Sensor with CMOS Integrated Circuits  [通常講演]
    Tomoyuki Yamazaki; Takaaki Ikeda; Yoshiko Kano; Hidekuni Takao; Makoto Ishida; Kazuaki Sawada
    2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2009) 2009年10月
  • Three Dimensional Surface-Shape Tactile Imager with Fingertip-Size Silicon Integrated Sensor-Membran  [通常講演]
    Hidekuni Takao; Masaki Yawata; Kazuaki Sawada; Makoto Ishida; Hiroki Okada
    the 15th International Conference on Sensors, Actuators, and Microsystems (IEEE Transducers’09) 2009年06月
  • 光・pH融合イメージセンサの提案と製作・評価(深い感性の喚起と情報センシング,高精細撮像,高感度及び一般)
    中澤 寛一; 松尾 純一; 飛澤 健; 高尾 英邦; 石田 誠; 澤田 和明
    映像情報メディア学会技術報告 2008年11月
  • 423 高密度集積化に適した表面加工型マイクロ流体集積回路の形成と評価(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
    高尾 英邦; 田中 信裕; 杉浦 正典; 澤田 和明; 石田 誠
    日本機械学会年次大会講演論文集 2008 2008年08月
  • 3321 埋め込み応用を目指したシリコンMEMS変形計測センサ(J26-4 マイクロメカトロニクス(4),J26 マイクロメカトロニクス)
    高尾 英邦; 木綱 俊輔; 早坂 慶一; 澤田 和明; 石田 誠
    日本機械学会年次大会講演論文集2007 2007年07月
  • 22-6 フィルタレス蛍光検出センサへの電荷蓄積技術の適用(第22部門 イメージセンサI)
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2005 2005年
  • 20-8 フィルタを使用しない蛍光検出センサの提案と試作(第20部門 特殊撮像・新機能新原理のイメージセンサ)
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2004 2004年
  • 20-9 CMOS pHイメージセンサの製作(第20部門 特殊撮像・新機能新原理のイメージセンサ)
    飛沢 健; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2004 2004年
  • 焦電体を用いた電界放出型赤外線センシングデバイス
    高室 大介; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2003年02月
  • a-Siアバランシェ増幅型光電変換膜積層型イメージセンサのCMOS読み出し回路の検討(映像入出力および一般)
    花田 昌樹; 秋山 正弘; 足木 光昭; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2002年11月
  • CMOSとの集積化に適したJFET素子と低雑音増幅回路の形成(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
    高尾 英邦; 浅岡 力也; 伊藤 芳晃; 澤田 和明; 川人 祥二; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2002年09月
  • 光・化学融合イメージセンサの提案と試作(高機能イメージセンサ)
    澤田 和明; 大科 孝博; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2002年06月
  • n型多結晶シリコン膜上へのアモルファスシリコン系pinフォトダイオードの製作
    秋山 正弘; 花田 昌樹; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2001年11月
  • Autozero技術を用いた高温環境用SOI-CMOS演算増幅回路
    高尾 英邦; 伊奈 史恵; 堂坂 利彰; 澤田 和明; 石田 誠
    映像情報メディア学会技術報告 2001年09月
  • 24-3 ポリシリコン膜上へのアモルファスシリコン系pinフォトダイオードの製作
    秋山 正弘; 花田 昌樹; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2001年08月
  • 24-2 PZT薄板からの電界放出電子の画像化の検討
    高室 大介; 冨田 勝彦; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2001年08月
  • アモルファスシリコンpin光電変換膜の過剰雑音特性  [通常講演]
    秋山 正弘; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠
    映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 2000 2000年

作品等

  • 超小型赤外分光イメージング用MEMSミラーの開発
    2011年
  • 「静電容量型圧力センサ」の開発
    2009年 -2010年

MISC

  • iPS細胞胚様体の局所刺激を目指したマイクロデバイスの開発—Microfluidic Device for Differentiation Induction of iPS Cells-derived Embryoid Bodies with Local Chemical Stimulation
    楠 直人; 小長谷 周平; 西田 光徳; 佐藤 成弘; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 142 (12) 310 -315 2022年12月
  • 構造物ヘルスモニタリングに向けた構造色式荷重センサの製作工程の確立—Fabrication process of structural color-based force sensor for structural health monitoring
    佐柄 雅聡; 前田 祐作; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 39 4p 2022年11月
  • 血中がん細胞解析に向けた3次元毛細血管狭窄部モデルの開発
    白神 吉洋; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 4p 2020年10月
  • 抗体修飾光駆動構造体とマイクロ流体デバイスを用いた1細胞組立プラットフォームの開発
    森 駿太郎; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 4p 2020年10月
  • 医療応用に向けた高解像度MEMS触覚センサの防水・防塵パッケージ技術開発 (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 3p 2020年10月
  • MEMSシリコン毛デバイスを用いたスポット接触による局所触覚情報の取得 (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    植村 周; 濱本 晃輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 3p 2020年10月
  • 対象表面の角度検知が可能な傾斜センサ集積型MEMS触覚アンテナ (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    岡 早秀; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 5p 2020年10月
  • SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発—Development of optically-driven nanoneedles using SU-8 nanofabrication
    原田 雅彦; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 6p 2020年10月
  • 微細凹凸感・摩擦感・硬軟感の同時取得を可能にする指腹曲面型MEMS触覚アレイセンサ
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 繊細な触感の客観的評価を可能とする「手触り感スキャナー」の開発
    西田 吉広; 中光 孝太; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 有本 和民; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 敗血症感染腎微小環境の解析を目指したマイクロ流体デバイスの開発
    小山 哲哉; 中野 大介; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 60μNの摩擦力感度と0.5μmの空間分解能を有するナノ領域触覚センサの制作と評価 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 内視鏡手術における把持状態の無線計測に向けた構造色変化を用いた力覚センサの開発 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)
    前田 祐作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 3p 2019年11月
  • 吸引吐出開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
    神谷昌吾; 石塚裕己; 高尾英邦; 下川房男; 寺尾京平 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 35th 2018年
  • マイクロ流体デバイスによる敗血症に伴う腎微小環境変化の解析
    田尾 祐一; 高尾 英邦; 下川 房男; 中野 大介; 寺尾 京平 生命科学系学会合同年次大会 2017年度 [1P -0599] 2017年12月
  • 触覚MEMSセンサを用いた画像処理による物質表面形状検査モデルの作成
    江見拓哉; 小椋清孝; 横川智教; 佐藤洋一郎; 山内仁; 有本和民; 高尾英邦 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 34th 2017年
  • E-2-3 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 秋光 和也; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016 "E -2-3-1"-"E-2-3-3" 2016年03月
  • 触覚MEMSセンサを用いた画像処理による物質表面形状検査モデル作成の検討
    江見拓哉; 横川智教; 佐藤洋一郎; 有本和民; 小椋清孝; 山内仁; 高尾英邦 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD-ROM) 67th 2016年
  • 細胞接着技術を用いた細胞配列マイクロアレイ
    鈴木孝明; 鈴木孝明; 寺村裕治; 北濱若奈; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 上野秀貴 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料 BMS-16 (1-8) 2016年
  • 結晶異方性プラズマエッチング法によるSP共鳴波長変調アクチュエータの作製
    香川 大地; 鏡原 照正; 下川 房男; 高尾 英邦; 寺尾 京平; 山口 堅三; 鈴木 孝明 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 面内変位型触覚センサを用いた手触り感の定量化のための新たな触覚評価方法
    香西 亮吾; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 植物細胞向けμEPチップにおける印加電圧の最適化
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 下川 房男; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 秋光 和也; 鈴木 孝明 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 光駆動微小構造体を用いた巨大DNA分子液中配線技術の提案
    犬飼 亮; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -6 2015年10月
  • 低侵襲内視鏡手術への適応に向けた動物体内でのMEMSセンサ埋め込み型フードの有効性検証
    綿谷 一輝; 前田 光平; 前田 祐作; 小原 英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 低侵襲内視鏡手術での腹腔内モニタリングシステムに向けた圧力・温度センサデバイスの開発
    前田 祐作; 前田 光平; 綿谷 一輝; 小原 英幹; 森 宏仁; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 界面動電効果を利用したクレッチマン型SPRセンシング法の提案
    近藤 翔平; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -5 2015年10月
  • 30am2-PN-24 周波数変調された可動板を用いたマイクロ流体制御技術
    河合 駿; 山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 山田 功; 下川 房男; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2015 (7) "30am2 -PN-24-1"-"30am2-PN-24-2" 2015年10月
  • 30pm1-A-4 回転傾斜露光法とPDMSモールディングを用いたDNAファイバ解析チップの作製
    北野 広大; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2015 (7) "30pm1 -A-4-1"-"30pm1-A-4-2" 2015年10月
  • MoP-25 DEVELOPMENT OF A LOCAL LIGHT STIMULATION DEVICE INTEGRATED WITH MICRO ELECTRODE ARRAY
    UENO Hidetaka; KOMAI Shoji; TERAO Kyohei; TAKAO Hidekuni; SHIMOKAWA Fusao; KOTERA Hidetoshi; SUZUKI Takaaki Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE 2015 "MoP -25-1"-"MoP-25-3" 2015年06月
  • 21am2-E7 マイクロスリット構造を有したSPRセンサチップによる生体試料分離・検出
    寺尾 京平; 平松 真一; 清水 一範; 宮西 伸光; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2014 (6) "21am2 -E7-1"-"21am2-E7-2" 2014年10月
  • J2230202 低粘度厚膜フォトレジストを用いた高精度スプレー塗布法の開発([J223-02]マイクロナノメカトロニクス(2),マイクロ・ナノ工学部門一般セッション)
    藤原 清; 赤松 幹夫; 幸田 尚子; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2014 "J2230202 -1"-"J2230202-4" 2014年09月
  • E-2-5 ECRプラズマエッチングに対する真空UVキュアレジストのプラズマ耐性の評価
    濱 治慶; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -2-5-1"-"E-2-5-3" 2014年03月
  • E-1-2 オリフィス構造を有するマイクロ流体デバイスにおける細胞固定効率の改善
    石井 敬洋; 西崎 隼人; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -1-2-1"-"E-1-2-2" 2014年03月
  • E-1-3 遠心力を用いた高速DNAファイバ解析デバイスの染色体伸張特性
    北野 広大; 新田 祐幹; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -1-3-1"-"E-1-3-3" 2014年03月
  • 5PM1-C-1 回転傾斜露光法により作製した細胞固定デバイスの固定効率の評価(5PM1-C 細胞工学とマイクロ流体デバイス)
    西崎 隼人; 福田 泰佑; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013 (5) 25 -26 2013年11月
  • J161022 集積化PDMS製マイクロ流体システムにおける位置ズレの低減([J161-02]マイクロナノメカトロニクス(2))
    玉井 秀隆; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161022 -1"-"J161022-4" 2013年09月
  • J161012 真空UVキュア法による保護膜選択比の改善とその応用([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    藤村 仁也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161012 -1"-"J161012-4" 2013年09月
  • J161021 角度センサを集積したポリマーMEMSミラーの駆動評価([J161-02]マイクロナノメカトロニクス(2))
    山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161021 -1"-"J161021-4" 2013年09月
  • J161015 遺伝子解析チップの微細構造による染色体伸張特性に関する評価([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    新田 祐幹; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161015 -1"-"J161015-4" 2013年09月
  • J161011 吸引駆動型ポリマーMEMSミラーの駆動特性に関する有限要素解析([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    鈴木 淳也; 三浦 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 生津 資大; 森角 寿之; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161011 -1"-"J161011-4" 2013年09月
  • E-1-1 感光性ナノコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロポンプの開発(マイクロナノメカトロニクス(1),口頭発表)
    植田 勇作; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 28 -30 2013年03月
  • E-1-2 ソフトリングラフィにおけるPDMSの転写精度評価(マイクロナノメカトロニクス(1),口頭発表)
    玉井 秀隆; 高尾 英邦; 大平 文和; 寺尾 京平; 下川 房男; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 31 -33 2013年03月
  • E-2-4 Polymer-MEMSミラーへのセンサ集積化に関する研究(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 52 -54 2013年03月
  • J161045 単一マスク傾斜露光法により作製したメッシュ型細胞固定チップの開発
    西崎 隼人; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2012 "J161045 -1"-"J161045-4" 2012年09月
  • J161023 真空UVキュア法によるSi/レジスト保護膜選択比の改善
    藤村 仁也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2012 "J161023 -1"-"J161023-4" 2012年09月
  • 感光性ナノコンポジットを用いたマイクロポンプ用磁気駆動膜の作製
    中原 佐; 細川 祐揮; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 宮川 勇人; 生津 資大; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2012 (8) 45 -48 2012年06月
  • 回転傾斜露光法の加工面積の評価と遺伝子解析チップへの応用
    新田 祐幹; 鈴木 博之; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2012 (8) 41 -44 2012年06月
  • MP-48 磁性ナノ粒子含有レジストを用いたマイクロ駆動素子の流路内作製方法(ポスターセッション)
    細川 祐揮; 中原 佐; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2011 (3) 163 -164 2011年09月
  • J161014 マイクロ空間が細胞の増殖性に与える影響([J16101]マイクロナノメカト口ニクス(1))
    井上 雅俊; 小此木 孝仁; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2011 "J161014 -1"-"J161014-3" 2011年09月
  • P-1-6 回転傾斜露光法を用いた三次元マイクロ鋳型の製作とエレクトロポレーションデバイスへの応用(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    福田 泰佑; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 171 -174 2011年03月
  • D-2-2 スプレー塗布による厚膜レジストの膜厚制御性に関する研究(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    赤松 幹夫; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 30 -33 2011年03月
  • P-1-8 単一細胞操作デバイスにおける流路幅の影響に関する研究(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    高崎 翔一; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 181 -183 2011年03月
  • P-1-4 インプリント技術による微細構造形成SPRチップの製作と評価(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    守分 仁成; 渡邉 英応; 清水 一範; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 161 -164 2011年03月
  • P-5 単眼受光素子を用いた三次元形状測定器(ポスター要旨講演)
    三浦 洋昇; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 谷口 朝信; 浦 治男; 大平 文和 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2010 122 -126 2010年03月
  • P-4 サブミクロンギャップのマイクロピラーアレイを有する液体クロマトグラフィーチップの作製(ポスター要旨講演)
    垣田 千洋; 寺尾 京平; 宮西 伸光; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 大平 文和; 真島 英司 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2010 118 -121 2010年03月
  • B-5 遠心力によるマイクロ構造上での染色体形状の操作(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    鈴木 博之; 平丸 大介; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 大平 文和; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2010 75 -79 2010年03月
  • AT-1-1 社会の安全・安心にむけたユビキタス集積化マイクロセンサ技術(AT-1.安全・安心な生活のために:情報通信ネットワーク・回路・システム技術の挑戦,パネルセッションチュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
    高尾 英邦; 石田 誠; 澤田 和明; Lee Wan-Hoon; Kim Jong-Wan 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2010 "SS -11"-"SS-13" 2010年03月
  • C-12-48 滑り覚検知能を実現するシリコンMEMS触覚イメージャー(C-12.集積回路,一般セッション)
    岡田 浩希; 矢和田 将貴; 澤田 和明; 石田 誠; 高尾 英邦 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2010 (2) 125 -125 2010年03月
  • C-12-72 SPICEを用いた流体集積回路の解析・設計技術(C-12.集積回路,一般セッション)
    杉浦 正典; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2010 (2) 149 -149 2010年03月
  • C-12-47 微小容量型センサアレイに向けた画素内集積型CV変換回路(C-12.集積回路,一般セッション)
    宮尾 肇; 小玉 亮; 澤田 和明; 石田 誠; 高尾 英邦 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2010 (2) 124 -124 2010年03月
  • CDT-1-5 皮膚感覚の超越をめざすシリコン集積化触覚イメージャーの開発(CDT-1.「五感」情報処理 : アプリケーションの展望,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
    高尾 英邦 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2010 (2) "SS -15"-"SS-18" 2010年03月
  • CT-1-6 LSIとMEMSセンサの集積化技術と展望(チュートリアルセッション,CT-1.More than Mooreを実現するMEMS融合LSI技術,ソサイエティ企画)
    高尾 英邦 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2009 (2) "SS -16"-"SS-19" 2009年09月
  • LSI技術を用いた農業用ECセンサに関する研究
    二川 雅登; 岩崎 太一; 高尾 英邦; 石田 誠; 澤田 和明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2009 (1) 21 -24 2009年02月
  • 溶液前処理機構を集積化したインテリジェント吸光測定チップの開発
    野田 俊彦; SHIN Young-Shik; 高尾 英邦; 宮村 和宏; 松本 浩一; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2009 (1) 29 -33 2009年02月
  • Technology and Applications of LSI-Integrated Microsensors
    TAKAO Hidekuni; SAWADA Kazuaki; ISHIDA Makoto 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2008 (26) 1 -5 2008年12月
  • LSI技術とセンサ技術の融合によるインテリジェントスマートマイクロチップ
    澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. MW, マイクロ波 108 (118) 81 -84 2008年06月
  • 2120 流体アナログ集積回路の能動素子として機能する垂直加工型シリコンマイクロバルブの形成(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
    田中 信裕; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2008 265 -268 2008年03月
  • 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    橋口 原; 土屋 智由; 高尾 英邦 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 128 (3) 108 -113 2008年03月
  • 化学情報をノンラベルで可視化できる電荷転送型pHイメージセンサ
    澤田 和明; 松尾 純一; 飛沢 健; 高尾 英邦; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2007 (32) 27 -30 2007年09月
  • 無線駆動型Si-MEMSマイクロセンサに向けたCMOS安定化電源回路
    遠藤 大樹; 高尾 英邦; 木綱 俊輔; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 107 (194) 95 -100 2007年08月
  • 13-9 ポテンシャル分布改善によるフィルタレス蛍光検出センサの波長分別特性向上(第13部門 情報センシング2)
    石井 広康; 丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会年次大会講演予稿集 (2007) "13 -9-1"-"13-9-2" 2007年08月
  • 生体情報センシングを目指した体着型マルチモーダルセンサの試作
    牧 徳宝; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2007 (7) 93 -96 2007年07月
  • 微小流路型スマートDNAチップのためのCMOSスイープ信号発生回路の設計
    加納 佳子; 石田 誠; 高尾 英邦; 澤田 和明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2007 (7) 33 -36 2007年07月
  • 雑音除去機構および温度調節機構を集積化した吸光度測定スマートセンサチップの製作と基礎特性の評価
    野田 俊彦; 広久保 望; 高尾 英邦; 宮村 和宏; 松本 浩一; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2007 (7) 81 -86 2007年07月
  • Fabrication of temperature sensor using thermopile based on silicon on insulator (SOI) structure (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
    Lee Wang-Hoon; Lee Young-Tae; Takao Hidekuni; SAWADA Kazuaki; ISHIDA Makoto 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 107 (110) 303 -306 2007年06月
  • Development of an integrated inductor for impedance matching on the fully integrated silicon smart microsensors (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
    Kim Jong-Wan; Takao Hidekuni; Sawada Kazuaki; ISHIDA Makoto 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 107 (110) 293 -296 2007年06月
  • 1116 自動位置決めによる表面実装素子のウェハレベル搭載技術と無線駆動マイクロセンサデバイスへの適用(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    高尾 英邦; 木綱 俊輔; 遠藤 大樹; 澤田 和明; 須藤 稔; 石田 誠 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2007 52 -55 2007年03月
  • フィルタレス蛍光検出センサによるリアルタイム蛍光測定
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 30 (59) 5 -8 2006年11月
  • 極微細マイクロチューブアレイの形成と溶液注入実験
    竹井 邦晴; 川島 貴弘; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2006 (1) 1 -4 2006年05月
  • 電荷転送型pHセンサの累積読み出しによる高感度測定
    飛沢 健; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2006 (1) 37 -40 2006年05月
  • 温度調節機構を集積化したC反応性タンパク測定用マイクロチップの設計と製作
    野田 俊彦; 広久保 望; 高尾 英邦; 吉岡 和憲; 宮村 和宏; 澤田 和明; 奥 成博; 松本 浩一; 石田 誠 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2006 (1) 5 -10 2006年05月
  • 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製
    野田 俊彦; 広久保 望; 高尾 英邦; 奥 成博; 松本 浩一; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 106 (45) 119 -124 2006年05月
  • A very-fine Si microprobe array aimed for in-vivo recording of neuronal activities
    Takahiro Kawashima; Takeshi Kawano; Hidekuni Takao; Kazuaki Sawada; Hidekazu Kaneko; Makoto Ishida NEUROSCIENCE RESEARCH 55 S157 -S157 2006年
  • 非線形読み出し型フォトゲート型光センサの提案
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 29 (61) 17 -20 2005年10月
  • 光学フィルタを必要としない蛍光検出フォトセンサの試作・評価
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 105 (185) 63 -68 2005年07月
  • JFET-CMOS混載技術によるセンサインターフェース用演算増幅器の低雑音化
    江戸 勇介; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 105 (185) 7 -12 2005年07月
  • MEMS-CMOS集積化技術によるシリコンスマートマイクロセンサ
    高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 105 (185) 39 -44 2005年07月
  • 集積回路との一体化を目指したマルチチャンネルSiマイクロプローブ神経電位センサ
    船ヶ山 直樹; 河野 剛士; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 105 (184) 83 -87 2005年07月
  • MEMS-CMOS集積化技術によるシリコンスマートマイクロセンサ
    高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 29 (41) 39 -44 2005年07月
  • 光学フィルタを必要としない蛍光検出フォトセンサの試作・評価
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦 映像情報メディア学会技術報告 29 (41) 63 -68 2005年07月
  • JFET-CMOS混載技術によるセンサインターフェース用演算増幅器の低雑音化
    江戸 勇介; 高尾 英邦; 澤田 和明 映像情報メディア学会技術報告 29 (41) 7 -12 2005年07月
  • 集積回路との一体化を目指したマルチチャンネルSiマイクロプローブ神経電位センサ
    船ヶ山 直樹; 河野 剛士; 高尾 英邦 映像情報メディア学会技術報告 29 (40) 83 -87 2005年07月
  • 光学フィルタを必要としない蛍光検出フォトセンサの提案と製作(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 105 (89) 33 -37 2005年05月
  • C-12-25 JFET混載CMOS技術による演算増幅器の1/f雑音除去(C-12. 集積回路C(アナログ), エレクトロニクス2)
    江戸 勇介; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2005 (2) 88 -88 2005年03月
  • 強誘電体を用いた電子放出型焦電赤外線センシングデバイスの高感度化
    高室 大介; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 29 (10) 57 -63 2005年02月
  • スマートクラスルーム-インテリジェント ヒューマン センシング技術による-
    青野雅樹; 中内 茂樹; 澤田 和明; 北崎 充晃; 若原 昭浩; 市川 周一; 高尾 英邦; 桂田 浩一; 新田 恒雄; 石田 誠 電気情報通信学会2005年総合大会講演論文集 "S -25"-"S-26" 2005年
  • 分光機能を有するイメージセンサの提案 : フィルタレス蛍光検出センサの試作・評価
    丸山 結城; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 28 (59) 21 -24 2004年10月
  • 微小電子源を用いた背面入射型フォトカソｰドの製作と高性能化
    丹田 喜雄; 小野 貴史; 澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 28 (53) 1 -4 2004年09月
  • Fabrication of Microfluidic Channel Type Smart Electrochemical DNA Sensors with Operational Amplifiers
    SAWADA Kazuaki; ODA Chigusa; TAKAO Hidekuni; ISHIDA Makoto Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2004 376 -377 2004年09月
  • シリコン光検出系を一体化した高分解能吸光光度測定チップ
    野田 俊彦; 高尾 英邦; 足木 光昭; 澤田 和明; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 28 (37) 11 -16 2004年07月
  • シリコン光検出系を一体化した高分解能吸光光度測定チップ
    野田 俊彦; 高尾 英邦; 足木 光昭; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 104 (174) 11 -16 2004年07月
  • C-12-23 JFET混載CMOS技術を用いた演算増幅器の低雑音化手法(C-12.集積回路C(アナログ))
    高尾 英邦; 伊藤 芳晃; Serge Kolelas; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2004 (2) 125 -125 2004年03月
  • SC-11-1 Si(111)CMOSにおけるMOSFET特性の改善(SC-11.新概念VLSI : 先進アーキテクチャ,新回路,デバイス技術)
    加藤 陶子; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2004 (2) "S -53"-"S-54" 2004年03月
  • 信号処理回路を集積化したヘモグロビン量測定マイクロチップ
    野田 俊彦; 高尾 英邦; 足木 光昭; 衣斐 寛之; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2003 (13) 31 -35 2003年11月
  • 微小Siプローブとの一体化に向けたSi(111)CMOS信号検出回路
    加藤 陶子; 河野 剛士; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 27 (48) 1 -6 2003年09月
  • 微小 Si プローブとの一体化に向けた Si(111)CMOS 信号検出回路
    加藤 陶子; 河野 剛士; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 103 (298) 1 -6 2003年09月
  • APS 構造を用いたアモルファスシリコン系アバランシェ増倍型光電変換膜の蓄積動作特性
    秋山 正弘; 花田 昌樹; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 映像情報メディア学会技術報告 27 (36) 17 -20 2003年06月
  • マイクロチップ上への Si プローブアレイ結晶成長と細胞電位測定応用
    河野 剛士; 加藤 陶子; 石野 寛; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料 103 (49) 73 -78 2003年05月
  • C-12-24 JFET 混載 CMOS 技術を用いたセンサ用低雑音増幅回路
    伊藤 芳晃; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2003 (2) 93 -93 2003年03月
  • C-12-23 高温環境用 SOI-CMOS Autozero 増幅器における温度ドリフトの改善
    堂坂 利彰; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2003 (2) 92 -92 2003年03月
  • 強誘電体を用いた電界放出型赤外線検出素子
    高室 大介; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 102 (502) 57 -62 2002年12月
  • 定温度制御を用いた高温用三軸加速度センサの温度特性解析
    李 〓逸; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (16) 5 -9 2002年11月
  • 光多重反射を用いたシリコン集積化ヘモグロビン量センサの諸特性
    高尾 英邦; 野田 俊彦; 足木 光明; 宮村 和宏; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (7) 11 -16 2002年09月
  • センサインターフェースに適したJFET-CMOS混載型低雑音増幅器の形成
    高尾 英邦; 浅岡 力也; 澤田 和明; 川人 祥二; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (1) 29 -34 2002年09月
  • CMOSとの集積化に適したJFET素子と低雑音増幅回路の形成
    高尾 英邦; 浅岡 力也; 伊藤 芳晃; 澤田 和明; 川人 祥二; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 102 (339) 1 -6 2002年09月
  • 応用編 血球計数用平面状センサへの応用 (特集1 MEMSの最新技術動向と応用展開)
    衣斐 寛之; 佐竹 大輔; 高尾 英邦 電子材料 41 (5) 40 -43 2002年05月
  • C-12-49 高温環境に適するSOI-CMOS自動補償増幅回路の温度特性
    堂坂 利彰; 高尾 英邦; 伊奈 史恵; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会総合大会講演論文集 2002 (2) 131 -131 2002年03月
  • p-MOS検出機構を用いたCMOSスマート3軸加速度センサのCMOS微細化による特性改善
    高尾 英邦; 福本 博文; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (18) 25 -30 2001年12月
  • 耐高温環境センサにむけた高精度CMOS演算増幅回路の形成と評価
    高尾 英邦; 伊奈 史恵; 堂坂 利彰; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (1) 59 -64 2001年11月
  • n型多結晶シリコン膜上へのアモルファスシリコン系 pin フォトダイオードの製作
    秋山 正弘; 花田 昌樹; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. EID, 電子ディスプレイ 101 (404) 7 -12 2001年11月
  • Excess Noise Characteristics of a-Si:H p-i-n Photodiode Films
    AKIYAMA Masahiro; HANADA Masaki; TAKAO Hidekuni; SAWADA Kazuaki; ISHIDA Makoto Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2001 600 -601 2001年09月
  • Autozero 技術を用いた高温環境用SOI-CMOS演算増幅回路
    高尾 英邦; 伊奈 史恵; 堂坂 利彰; 澤田 和明; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 101 (281) 15 -22 2001年08月
  • 電荷転送技術を用いた高感度化学ポテンシャルセンサデバイス
    澤田 和明; 高尾 英邦; 石田 誠 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 101 (79) 57 -61 2001年05月
  • クロックフィードスルノイズの影響を低減したCMOSチョッパ形演算増幅器の設計
    高尾英邦; 伊奈 史恵; 澤田 和明; 石田 誠 2000年信学総大, March 2 142 -142 2000年
  • 高温環境に適する高精度チョッパー型増幅回路の設計
    伊奈史恵; 高尾 英邦; 澤田 和明; 石田 誠 2000年信学総大, March 2 143 -143 2000年
  • CMOS形成後に適した異方性エッチングマスク材料の検討
    高尾 英邦; 楊 竹駿; 澤田 和明; 石田 誠 電気学会研究会資料. SMP, センサ材料・プロセス技術研究会 1999 (13) 39 -44 1999年11月
  • Excess Noise Characteristics of a-Si:H Avalanche Photodiode Films Using Functionally Graded Structure
    SAWADA Kazuaki; AKIYAMA Masahiro; TAKAO Hidekuni; ISHIDA Makoto Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 1999 296 -297 1999年09月
  • 応力感応差動増幅器の耐環境型物理量センサへの適用
    高尾 英邦; 北山 康夫; 曽川 和昭; 松本 佳宣; 石田 誠 電気学会研究会資料. PS, 物理センサ研究会 1997 (20) 1 -6 1997年11月
  • p型反転層のピエゾ抵抗効果を用いたCMOS集積化3軸加速度センサ
    高尾 英邦; 松本 佳宣; 石田 誠 電気学会研究会資料. PS, 物理センサ研究会 1996 (6) 71 -80 1996年11月

産業財産権

  • 特許3848684:触覚センサ  
    高尾英邦  国立大学法人 香川大学
  • 特許第7081814号:触覚センサ    2022年06月07日
    高尾英邦
  • 特許第7061784号:触覚センサ, 触覚測定装置, 学習済みモデル, および識別装置    2022年05月02日
    高尾英邦
  • 特許第6989093号:内視鏡  
    高尾英邦, 森 宏仁
  • 特許6419156:触覚センサおよび手触り感の評価方法    2018年11月14日
    高尾英邦
  • 特許第6230049号:内視鏡フード、内視鏡および内視鏡用圧力センサ    2017年11月15日
    高尾英邦
  • 特許第6048947号:触覚センサ    2016年12月21日
    高尾 英邦
  • 電波発電回路
    登録番号:特許第4611093号
  • シリコン基板を有する電子回路装置
    登録番号:特許第4628008号
  • 加速度センサ
    登録番号:特許第4633982号
  • Power Generation Circuit using Electromagnetic Wave
    登録番号:韓国特許10-1117888号
  • Electronic Circuit Device Having Silicon Substrate
    登録番号:韓国特許10-1124891
  • Power Generation Circuit using Electromagnetic Wave
    登録番号:韓国特許10-1168554
  • 半導体素子および半導体センサ
    登録番号:特許第４５１５５４９号
  • 差動増幅回路および高温用増幅回路
    登録番号:特許第４４９８５０７号

受賞

  • 2024年11月 材料科学技術振興財団 第24回山崎貞一賞
     
    受賞者: 高尾英邦
  • 2023年10月 CEATEC AWARD 2023審査委員会 CEATEC AWARD 2023 デバイス部門 グランプリ
     
    受賞者: 国立大学法人香川大学 JST-CREST
  • 2023年04月 文部科学省 科学技術賞（研究部門）：令和5年度科学技術分野の文部科学大臣表彰
     
    受賞者: 高尾英邦
  • 2023年01月 IEEE MEMS2023 Outstanding Student Oral Presentation Award Finalist
     
    受賞者: Genki Yamada;Yuto Morita;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
  • 2023年01月 IEEE MEMS2023 Outstanding Student Poster Presentation Award Winner
     
    受賞者: Nachi Mise, Mitsuki Kozasa, Kyohei Terao, Fusao Shimokawa, and Hidekuni Takao
  • 2022年01月 IEEE MEMS2022 Outstanding Student Paper Award Finalist
     
    受賞者: Masahito Komatsubara;Tsubasa Nakashima;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
  • 2021年12月 Journal of Robotics and Mechatronics The Best Paper Award 2021
     
    受賞者: Kazuki Watatani;Kyohei Terao;Fusao Shimokawa;Hidekuni Takao
  • 2021年03月 公益財団法人エレキテル尾崎財団 第28回源内大賞
     
    受賞者: 高尾英邦
  • 2021年03月 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 優秀論文賞
  • 2021年01月 IEEE MEMS2021 Outstanding Student Paper Award Finalist
  • 2020年03月 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第十回集積化MEMS技術研究ワークショップ 優秀ポスター賞
  • 2019年01月 IEEE MEMS2019 Outstanding Student Paper Award Finalist
  • 2018年 第八回集積化MEMS技術研究会ワークショップ 優秀ポスター賞
     JPN
  • 2016年 STARC 感謝状
     JPN 
    受賞者: 高尾英邦
  • 2013年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門 部門大会 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
     JPN
  • 2009年05月 電子情報通信学会 集積回路研究専門委員会 ICD最優秀ポスターアワード
  • 2008年04月 第10回LSI IPデザイン・アワード 開発奨励賞
  • 2008年04月 文部科学省 若手科学者賞：平成20年度科学技術分野の文部科学大臣表彰
     
    受賞者: 高尾英邦
  • 2008年03月 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門賞・優秀講演論文賞
  • 2007年04月 第9回LSI IPデザイン・アワード IP賞
  • 2006年11月 IEEEシステムLSIデザイン賞, IEEE Solid-Stage Circuit Society Japan
  • 2002年03月 電気学会優秀論文発表賞
  • 1997年06月 電気学会センサマイクロマシン部門 第一回五十嵐賞

共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 微小・狭窄領域へアクセス可能な集積化シリコン感覚毛による質感の知覚と認識
    日本学術振興会：科学研究費補助事業 基盤研究（A）
    研究期間 : 2022年04月 -2027年03月 
    代表者 : 高尾 英邦
  • 触覚の価値を創造する深化型マルチフィジックスセンシングシステム
    科学技術振興機構：戦略的創造研究推進事業CREST
    研究期間 : 2020年12月 -2026年03月 
    代表者 : 高尾英邦
  • 人肌心地よさ感測定によるリラクゼーション効果評価システムの開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2020年04月 -2024年03月 
    代表者 : 清水 裕子; 高尾 英邦; 石丸 伊知郎; 峠 哲男
     
    令和2年11月までに、事前準備、被験者調整を行い、令和3年3月までに、皮膚面水分量測定の実施、脳波測定の実施、デモデータの中間評価を行う予定であったが、所属機関の新型コロナウイルス対策による研究活動制限のため、実施困難となった。 そこで、当初計画を修正し、そこで、再開後すぐに測定が開始できるよう、希少デバイスの開発、赤外線測定器材の準備、脳波測定の機器整備、イメージ測定表の準備を行い、測定に備えた。また、令和3年4月に被験者調整を行い、6月に倫理委員会の申請を行った。順調であれば7月から測定開始のところ、倫理委員会が混雑していたため、8月の審査となり、9月上旬に承認を得た。倫理委員会承認番号2021-089。倫理委員会の求めにより、「臨床研究実施計画・研究概要公開システム」への登録を行い、研究計画を公表した。登録番号ｊRCT1060210045。 倫理承認後間もなく、9月上旬から清拭後皮膚水分量の赤外線測定（分担研究者石丸教授）、希少デバイスによる皮膚面凹凸測定（分担研究者高尾教授）、脳波測定（分担研究者峠客員研究員）、研究代表者清水による皮膚面温度湿度、主観的イメージ測定を行い、9月末までに測定を終了した。測定にあたり、清拭の介入手技の統制を図るため、実験補助者らによる清拭訓練会を行い、手技の安定を図った。 その後、各測定部門ごとに解析作業に入り、令和4年1月から赤外線、希少デバイスと温度湿度、イメージ測定との相互関連のミーティングを開始した。赤外線測定は、近赤外線を用いたが、中赤外線との比較検討を行う必要があり、現在、近赤外線と中赤外線の双方の比較実験を行っている。温度や凹凸測定においては、温度の蓄積効果が影響している可能性が示唆されたため、温度湿度は、データの標準化を行って分担者の分析に供された。次年度も解析が行われ、各部門ごとの学会発表の準備を行う予定で、順調である。
  • 先進内視鏡手術における執刀医のニーズに応えた「内視鏡知覚センシング技術」の開発
    日本学術振興会：科学研究費補助事業 基盤研究（A)
    研究期間 : 2017年04月 -2021年03月 
    代表者 : 高尾英邦
  • 繊細な触覚を定量的に検知する「ナノ触覚神経網」の開発と各種手触り感計測技術へ応用
    科学技術振興機構：戦略的基礎研究推進事業ＣＲＥＳＴ
    研究期間 : 2015年 -2021年 
    代表者 : 高尾英邦
  • Development of “Nano-scale Tactile Sensing Nerve Network” for quantification of human tactile sense and its application to instrumental measurement of hand feeling
    JST Basic Research Programs (Core Research for Evolutional Science and Technology :CREST)
    研究期間 : 2015年 -2021年
  • 植物内の水分・栄養物質動態をin-situモニタリング可能な超小型維管束センサ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2015年04月 -2018年03月 
    代表者 : 下川 房男; 高尾 英邦; 小林 剛
     
    本研究では，MEMS技術をベ－スに，水分・栄養物質動態をin-situで観察可能な超小型維管束（道管流／師管流）センサを新規に提案し，擬似植物実験系やモデル植物を用いて，その基本動作検証に成功した．道管流センサでは，（１）微小流速測定，（２）高速応答性，（３）非破壊測定，（４）測定再現性等のセンサ性能に関する知見を取得し，提案したセンサの有用性を実証した．師管流センサでは，流れの向き（師管特有の転流現象に対応）や流速測定の実現性を確認するとともに，維管束（道管／師管）の位置判別機能によって師管位置を特定し，その情報をもとに，高純度な師管液の採取が可能なことを明らかにした．
  • 微小流路と電極対の高密度集積によるアレイ型多機能放電ジェットデバイスの実現
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2014年04月 -2017年03月 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    本研究では，複数の微小流路にガスや液体を流して放電を独立制御し，複数種類のガスプラズマや液体の噴流（ジェット）を微小空間で同時かつ任意の組み合わせで生成可能なアレイ型多機能放電ジェットデバイスの実現を目指した基礎研究を推進した。高密度・多種類の放電ジェットを独立制御することで，ジェットアレイ全体の形状，相対位置，構成ガスの分布や照射の時系列関係を自在に変化させることが可能である。当該期間においては，本技術の実現可能性と有効性の検証を目指し，微小流路構造，ならびに放電電極アレイの製作技術からデバイス実装手段の検討，噴流発生原理の検討と検証までを行った。
  • 多元的触情報の時間相関性に着目した超触覚センシングデバイス
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2013年04月 -2016年03月 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    本研究では，半導体表面に高密度なセンサ回路構造を高密度に集積した後，MEMS技術で半導体シリコンを柔軟に変形可能な構造として，指先の皮膚に近い機能と柔軟性を両立させる高度な検知能を備えた人工皮膚型触覚センサの実現を目指して研究を行った。触感の定量化にむけて，人間の皮膚感覚による対象物表面の評価を模倣し，様々な物理量から各因子を抽出して総合的に評価することを目指して研究を実施した。半導体集積回路技術とMEMS技術の融合により，人間の指先が有する様々な触覚・触感に関する検知能を備えた人工皮膚型触覚センサを実現し，その応用展開に向けたデバイス技術開発と触感の定量化にむけたシステム化研究を行った。
  • グラニエ法をべ－スにした植物生体情報計測用マイクロ水分動態センサに関する研究
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2012年04月 -2015年03月 
    代表者 : 下川 房男; 高尾 英邦; 小林 剛
     
    本研究では，グラニエセンサに着目し,それをベ－スに超小型化(従来比:1/10)・1チップ上への機能集積化(5mm角のSiチップ上に,マイクロプロ－ブ，温度センサ，薄膜ヒ－タ等の主要構成要素を一体形成)した超小型の植物水分動態センサを提案するとともに,MEMS技術を駆使して,センサのプロトタイプの製作に成功した.また,製作したセンサを用いて,微少流量（流速:０～１５０μm/s）の測定が可能なことを明らかにするとともに,実際の植物体としてレタスを用いて,流速の一日の変化を調べ、植物で一般的に観測される蒸散量の日変化の傾向と良く一致する結果が得られる等，センサの実用性を示唆する学術デ－タを取得した．
  • 機能集積化微小気流アレイによる「本物志向の触感覚提示」への挑戦
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2012年04月 -2014年03月 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    本研究では，「触覚」と「触感」を同時に複数提示する高次元の触感覚提示技術の実現を目指し，新原理に基づく冷覚提示を含めた各種提示機能を集積化した触感覚再現デバイスの開発に挑戦した。１．マルチジェット型ベンチュリを用いた冷覚提示機構の開発，２．振動覚提示に向けた圧力回路用バルブ，３．振動覚発生用流体圧力回路の設計と製作，４．高次元触感覚提示デバイスの実現，５．触感覚再現に向けた提示データの体系的取得を目指して研究を推進し，本技術の確立に向けて重要な基盤となる研究成果を得ることができた。本研究を通じて，「触覚」と「触感」を同時提示可能な新しいデバイスの実現に有益な指針を得ることができた。
  • シリコン結晶異方性プラズマエッチング技術の開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2011年 -2012年 
    代表者 : 鈴木 孝明; 大平 文和; 下川 房男; 高尾 英邦
     
    本論文では、結晶異方性プラズマエッチングを用いた複雑3次元シリコン構造の提案として、カンチレバーと微細針を作製した。提案する方法は、従来法に比べて少ない工数・装置数で簡便に製作でき、カンチレバー製作においては、従来法とほぼ同一の歩留りで、製作時間を5分の1に短縮でき、提案する加工法の有用性を示した。また、単一のドライエッチング装置での複雑3次元シリコン構造製作の可能性を示した。今後、単一装置での新たな3次元シリコン構造の提案を行うと共に、結晶異方性プラズマエッチングのメカニズム解明を進め、より制御性の高い加工技術へと展開をする。
  • 集積化 MEMS 技術による局所高精細触覚イメージング
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2009年 -2012年 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    本研究では,集積化 MEMS 技術を用いて複合的なセンシング機能を統合した触覚イメージセンサを実現し,微小エリアを高精細で検知可能な触覚イメージング技術を開発した。人間の皮膚と類似の触覚機能や感度を実現する新しいセンサデバイスを実現し,3軸力覚の 2 次元イメージングや,手触り感を取得するための表面粗さと柔軟性のセンシング,並びに,そのデバイスを用いたリアルタイムイメージングシステムを実現することに成功した。
  • 神経細胞記録・刺激・治療用生体内埋込みマイクロプローブ・チューブアレイチップ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2008年 -2012年 
    代表者 : 石田 誠; 澤田 和明; 川島 貴弘; 河野 剛士; 高尾 英邦
     
    本研究課題では、"選択Vapor-liquid-solid(VLS)結晶成長法"というユニークな手法を用いて神経細胞記録・刺激・治療用生体内埋込みマイクロプローブ・チューブアレイチップを実現を目指した。本研究期間では、代表的な実績として特に1) 記録・刺激用の低侵襲マイクロプローブと薬剤投与用チューブ混在アレイ、2) 3次元空間用として高さの異なるプローブ構造、3) デバイス高機能化を可能とするCMOSエレクトロニクス集積化プロセスを実現した。これらの研究成果は本研究課題に関する重要な知見であると共に、提案するデバイスの脳・神経科学と先端医療分野での今後の貢献を示唆するものであった。
  • Development and Applications of Multifunctional Integrated Microsensors for Advanced Medical Applications
    研究期間 : 2012年
  • フィルタレススペクトルイメージセンサの開発とバイオチップ応用
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2006年 -2008年 
    代表者 : 澤田 和明; 石田 誠; 高尾 英邦
     
    光学的フィルタを必要とせず, CMOSプロセスにより製作できるフィルタレススペクトルイメージセンサを製作し, バイオチップへの応用をおこなった. フィルタレススペクトルの分解能を向上させるためにデバイス構造の最適化を行った結果, バイオチップで広く用いられているFITCを63nMまで検出でき, さらにDNAのハイブリダイゼーションを16nMまで検出できることを確かめた.
  • 柔軟性と高分解能を両立する多機能集積型シリコン触覚イメージセンサ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2005年 -2007年 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    1.シリコン触覚センサにおける素子実装技術の開発 実際の使用環境下においては,触覚センサの検出表面が対象物表面に最初に接触する必要があり,チップから取り出すリード配線も邪魔になってはならない。本年度においては,接触面となるLSI裏面が最前面となる新しい触覚センサのパッケージ構造を設計し,それをPCB作製装置によって製作した。新規のパッケージ構造により,ロボットフィンガへの実装を想定した測定実験を行うことができるようになった。その結果,高い空間分解能と検出感度を有しながらも,実際の触動作実験に耐えるロバスト性を両立することのできる新しいシリコン触覚センサの基本構造を完成することができた。 2.能動知覚(アクティブセンシング)特性の評価 触覚情報は空間内で局在的なものであり,三次元物体の表面形状を知覚するには,ロボットハンドやフィンガの移動と組み合わせた能動知覚が重要となる。本年度に開発した新しい素子実装方法を用いることで,能動触動作による物体表面の三次元計測を行なうことが可能となった。実際に,開発した触覚センサを用いて,アルミニウム板上の点字を直接接触しながら,正確にその三次元表面形状を読み取る実験に初めて成功することができた。従来からある点字凹凸の時間波形検知ではなく,本センサにおいては,二次元センサアレイによる点字表面形状の3次元画像化ができたことで,ヒ卜の指先機能を目指した触覚センサの機能・性能を大幅に向上させることに成功したといえる。
  • 三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2005年 -2007年 
    代表者 : 石田 誠; 澤田 和明; 高尾 英邦; 川島 貴弘
     
    神経細胞活動計測において、生体組織内の空間的な電位分布を多点で同時に計測するための電極開発が必要とされている。本研究では、選択シリコン(Si)vapor-liquid-solid(VLS)成長を用いた神経電極を提案してきている。この技術により、Siプローブのサイズ、長さ、位置の制御、微細プローブ電極としてのアレイ化が可能となり、また標準的なCMOSプロセスを用いた同一基板上信号処理回路の一体化が可能となる。本研究期間では、VLS成長を用いた神経電極技術の実現に向けて、以下に示す知見を得た。 ・Si(111)基板上に製作したMOSFETのMOS界面特性に着目し、フッ素注入処理及び長時間の水素雰囲気での熱処理を用いることで、Si(100)基板上に製作したMOSFETと同等の電気的特性を確認した。 ・In-situドーピングVLS成長法の提案。Siガス(Si_2H_6)にPH_3ガスを混入し、成長温度700℃以下で10^19/cm^3の低抵抗Siプローブを実現。また、B_2H_6ガスを用いることで、10^17/cm^3のP型Siプローブを実現した。 ・バッファアンプとしてOn-chipインピーダンス変換回路を搭載。チップ被覆、実装までを行い生体同様の生理溶液中での電気的特性を検討した。増幅率の確認と細胞外電位100μV以下の電位取得を確認した。 ・ワイヤレスの基礎技術として、Si基板上にコイルなどを形成したワイヤレス信号伝搬システムの構築を行った。本結果より、300MHzでの信号の送受信が可能であることを確認している。 ・長さの異なる3次元プローブを既存のICプロセスにより配線チップ上に形成、またプローブの電気特性、機械的特性を評価し、実際の生理実験で試用できることを示した。 ・組織内薬液投与を目的とし、これまでの電極チップに薬液投与用のマイクロチューブアレイをICプロセスで集積化した。チューブ薬液吐出特性、機械的特性を考察し、実際の生理実験で使用できることを示した。 このように本研究期間で得られた研究成果は非常に多く、また本提案電極デバイスのみでなく、多くの課題を残す神経電極の分野への貢献も多いと考える。このような神経電極デバイスは、脳内の解析、細胞レベルの電極ツール、更に近年ではブレインマシン・インタフェース(BMI)研究用の電極デバイスとして期待が大きい。
  • 真空ナノテクノロジーによる超高感度・不可視光画像化デバイス
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2003年 -2005年 
    代表者 : 澤田 和明; 石田 誠; 高尾 英邦
     
    本研究では,従来まで不可能であった2ミクロン以上の赤外光に感度を持ち,および可視光に対してはこれまでの素子の3倍以上の80%以上の1次量子効率を持つ光電子放出デバイスを実現することを目標として研究を開始した.これまでに強誘電体からの電子放出現象を利用して中・遠赤外光に感度を持つ赤外線光検出素子の製作をおこなってきた. 本プロジェクトにおいて,100μm厚のPZT強誘電体薄板を用いて赤外光に対する光電子放出デバイスの基礎的な原理確認実験を行い,原理確認に成功した.その高感度化と高速応答性を目指して,単結晶材料の強誘電体材料を検討した.SrTiO3単結晶材料をPZTの代わりに検討したところ,電子放出面に電子供給用の電極を設けることにより,連続的な電子放出が確認できた.さらに,その応答性に関しても約3倍程度の高速応答が実現できた.さらに,可視光に対して,pnフォトダイオードを内蔵するシリコンフィールドエミッタアレイを作製し量子効率70%の光電子放出デバイスの作製に成功し,反射防止膜を設けることにより80%以上の量子効率が得られる見通しを得た. さらにイメージセンサとして用いるにはマイクロサイズの真空パッケージか技術が必要であるとの認識からMEMS技術を用いた真空パッケージに関する検討をおこなった.微小空間にチタンゲッターを配置する事を検討し,実際に蒸発型真空ゲッターと2極型電界放出微小電子源を一体化させたマイクロパッケージの製作に成功し,ブリッジ構造を施したマイクロチタンブリッジの低電圧での蒸発を確認した
  • 600℃の高温と強いγ線照射に耐える流体式情報処理集積回路の研究
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2002年 -2004年 
    代表者 : 高尾 英邦
     
    人類が近づくことのできない過酷な宇宙空間や原子炉内外における作業機械を将来開発するならば、500℃以上の超高温や強烈なγ線など、非常に厳しい環境下で動作する情報処理回路が必要である。本研究は、電子の代わりに流体を信号伝達媒体とし、電気-流体間の相似性を利用した集積回路をマイクロマシン技術で形成して、極限環境おける情報処理を可能とするものである。最終年度となるH16年度は、流体式集積回路の大規模化設計に向けた適用技術と、耐環境応用に重点を置いて研究を実施した。 1.流体式集積回路の大規模化適用設計技術 これまで、要素的な流体式集積回路の実現と動作特性の解明を行うべく、マイクロバルブ単体における小信号等価回路モデルの構築、動作特性の解明を行ってきた。多数のマイクロバルブを集積化する大規模流体集積回路の形成にあたっては、マイクロバルブのみならず、それらを相互に接続するマイクロ流路に関係する寄生パラメータのモデル化が重要となる。本研究では、回路配線にあたる微小流路を抵抗と容量でモデル化し、寄生素子の影響を踏まえた回路レベルの動作解析を行なった。RC遅延モデルで解析した回路特性は実測結果と良い一致を示し、大規模回路の設計で重要な信号伝搬遅延に関する基本的な解析手法を見いだすことに成功した。 2.流体式集積回路の耐環境応用 流体式集積回路は、過酷な環境下において高い特性安定性が期待される。耐環境用途において代表的技術であるSOI-CMOSとの放射線耐性を比較し、流体式集積回路の可能性を検証した。ドーズ量10^<15>cm^<-2>の放射線を照射したSOI-MOSFETにおいては、OFFリーク電流が2桁以上増加し、スイッチング特性が大幅に劣化した。一方で、シリコンの機械特性を利用するマイクロバルブはその影響を殆ど受けず、これまでに確立した技術を用いて高い耐環境性を有する情報処理回路を実現できる可能性が見いだされた。 以上の結果より、大規模化を可能とする流体回路の実現に関する基本技術の実証実験を行うことができた。また、本技術を用いた耐環境情報処理集積回路の実現にむけて、従来技術であるSOI-CMOSとの比較を行うことができた。従来にない高い耐環境性を有する画期的集積回路技術の実現可能性を見いだした。
  • 集積回路上への選択成長極微細シリコンプローブによるスマート・マイクロチップ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2002年 -2004年 
    代表者 : 石田 誠; 澤田 和明; 高尾 英邦
     
    脳科学、生体・生理工学の分野において、多数細胞の電位分布取得による脳・各種神経系の解析が非常に重要視されている。しかし、現在市販されている細胞電位記録用の微小電極アレイデバイスは、電極サイズ、配列間隔共に非常に大きく、細胞集団の解析には適さなかった。一方で、本研究で提案するSi(シリコン)プローブ電極アレイチップは、電極サイズ、間隔が既存技術の1/10を達成し、これまでの電極の問題点を一掃する。更にこのプローブ電極は、同一基板上に信号処理回路(IC)の集積化が可能な利点を有する。本研究期間ではこのような新規の電極デバイスの実現を目指し、以下に示す知見を得た。 1.直径数ミクロン程度の単一細胞と同等の微小Siプローブ電極(直径2μm、長さ〜300μm)の成長条件を確立。 2.生体組織内細胞記録用とし、Siプローブの低抵抗化、プローブ側壁絶縁膜の形成、先端生体適合性金属(Au,Pt,Ir)成膜プロセスを確立。生理溶液中でのプローブ電極の交流特性は細胞電位を記録するのに十分な値を示した。 3.Siプローブ用インターフェース技術とし、Si(111)基板を用いた集積回路(IC)製作技術を確立。実際にSiプローブをIC上に製作し、プロセス互換性の検討、回路特性評価より、Siプローブ電極とICとの一体化の実現性を示した。 4.細胞を用いる生理実験を考慮し、上記の要素技術を基に測定用電極チップの設計、製作した。また、電極チップの実装技術にも焦点を当て、各種生理実験に適用出来る実用レベルでの実装を行った。 5.電極チップの評価として、擬似信号記録試験、ノイズレベル評価を行い、細胞電位記録用としての有用性を示した。 6.細胞電位記録として、網膜(鯉)の光応答試験を行った。実際の網膜を電極デバイス上に設置し、網膜の光刺激を行ったところ、光刺激に対応した細胞電位(ERG:網膜電図)を検出することに成功した。 本電極デバイスは、その新規性とデバイス製作技術の高さで評価される。一方、細胞測定分野からの評価も高い。このような微小電極での細胞電位記録の前例は無く、本電極デバイスは細胞集団の詳細な電位記録が行える唯一の電極技術としての期待されている。このように本研究で得られた成果は多く、また波及効果も他分野にわたり多大である。
  • CMOS/MEMS技術による機能集積型スマート触覚イメージセンサ
    科学研究費補助金
    研究期間 : 2002年
  • 単結晶シリコン選択成長による生体電位計測用スマート極微細多電極チップ形成の研究
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2000年 -2001年 
    代表者 : 石田 誠; 高尾 英邦
     
    本研究では、選択VLS(Vapor-Liquid-Solid)成長技術を用いた挿入型Siプローブ電極と制御回路を集積化したスマート神経電位測定チップを提案し、その実現に必要な基礎技術を確立した。 平成12年度 脳の皮質から神経細胞までの距離は数ミリメートル程度あり、十分に長いSiプローブの成長が課題であった。実験開始当初、2時間で10μm程度の長さのプローブが成長したが、より高い成長圧力に対応した装置構成に変更することで、従来の約10倍の成長速度を得られた。また、成長温度の低温化に関して、最低500℃でのプローブ成長を確認した。よって、集積回路との一体化をより低温・短時間で行うことで、回路へのダメージが少ない成長技術を確立できたと言える。また、VLS成長時には成長の核としてAuドットを用いるが、デバイス特性変動などの悪影響を引き起こす懸念があった。そこでVLS成長時のAu拡散によるMOSFET特性への影響を調査した結果、デバイスへの悪影響は全く無視できる程度と確認された。よってプローブの最適形成条件、一体化に適したMOSFET製作工程を確立することができたといえる。 平成13年度 シリコン電極の基礎的電気的特性(絶縁性、抵抗)と成長条件、不純物ドーピング条件との関係を把握し、設計、試作条件を完成させるべく、リンの拡散炉で不純物拡散を行った。1150℃における液体拡散源を用いたリン拡散工程によって、プローブの抵抗率を4桁以上低減できることを確認することができた。抵抗値としては100Ω以下のものが得られており、生体信号を検出するプローブとしては十分低抵抗のものが実現できる見通しを得た。VLS成長によるCMOSの信頼性テストとして、試作したMOSスイッチ回路とワイヤーを、繰り返しパルス信号印加・計測装置を用いて信号測定を行い、トランジスタとワイヤーの劣化を評価した。その結果、繰り返しパルス印加によるワイヤー特性の劣化は見られず、金ドーピングされたシリコンワイヤーの電気的な不安定性については問題ないとの結論を得た。
  • 微小流体デバイスと新機能集積回路の実現
    科学研究費補助金
  • 耐環境型インテリジェントシリコンセンサに関する研究
    科学研究費補助金
  • Integration/Design Technologies on CMOS/MEMS Microsystems
  • Silicon MEMS Integrated Tactile Image Sensors
  • Micromachines and Systems with Integrated CMOS LSI.
  • Integrated Micro Fluidic Devices and Systems
  • Study on Integrated Three-Axis Accelerometers
  • 集積化微細構造デバイス技術による医用マイクロマシンの研究開発
  • Research and Development of Medical Microsystem Devices with Integrated Micro-Nano Structures

委員歴

  • 2024年06月 - 現在   一般社団法人 電気学会   支部担当理事／四国支部長
  • 2024年04月 - 現在   公益財団法人 かがわ産業支援財団   微細構造デバイス研究開発フォーラム 会長
  • 2024年04月 - 現在   公益社団法人 応用物理学会   集積化MEMS技術研究会 委員長
  • 2022年04月 - 現在   一般社団法人 日本機械学会   日本機械学会2022年度情報・知能・精密機器部門運営委員会 委員
  • 2022年04月 - 2024年03月   公益社団法人応用物理学会   集積化MEMS技術研究会委員（副委員長)
  • 2021年05月 - 2023年04月   電気学会   四国支部監事
  • 2019年12月 - 2020年10月   応用物理学会   応用物理学会 第12回集積化MEMSシンポジウム 実行委員長
  • 2017年05月 - 2019年04月   - 電気学会センサマイクロマシン部門, 電気学会 センサマイクロマシン部門役員, 役員（広報担当）
  • 2017年07月 - 2018年02月   IEEE MEMS2018   Technical Program Committee
  • 2016年08月 - 2017年08月   IEEE, IEEE ICMA2017 Technical Program Committee副委員長, Technical Program Committee副委員長
  • 2016年08月 - 2017年02月   IEEE MEMS2017   Technical Program Committee
  • 2016年01月 - 2016年12月   応用物理学会, 2016年国際固体素子・材料コンファレンス(SSDM2016), Technical Progaram Committee Area Chair
  • 2015年07月 - 2016年07月   電気学会, APCOT2016国際会議実行委員, 会場委員長
  • 2015年04月 - 2016年03月   日本機械学会, 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門 編集委員長, 情報・知能・精密機器部門 編集委員長
  • 2015年01月 - 2015年12月   応用物理学会, 2013年国際固体素子・材料コンファレンス(SSDM2015), Technical Progaram Committee Area Vice-Chair
  • 2015年03月 - 2015年11月   IEEE, IEEE Asian Solid-State Circuits Conference 2015 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2014年03月 - 2015年11月   IEEE, IEEE Asian Solid-State Circuits Conference 2014 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2014年04月 - 2015年10月   IEEE, IEEE Sensors2014国際会議 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2014年04月 - 2015年03月   日本機械学会, 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門 編集副委員長, 情報・知能・精密機器部門 編集副委員長
  • 2014年07月 - 2015年02月   応用物理学会, 2013年国際固体素子・材料コンファレンス(SSDM2014), Technical Progaram Committee
  • 2013年04月 - 2014年03月   日本機械学会, 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門 広報委員長, 情報・知能・精密機器部門 広報委員長
  • 2013年07月 - 2014年02月   応用物理学会, 2013年国際固体素子・材料コンファレンス(SSDM2013), Technical Progaram Committee
  • 2013年04月 - 2013年10月   IEEE, IEEE Sensors2013国際会議 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2012年04月 - 2013年09月   応用物理学会, SSDM2012国際会議 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2012年04月 - 2013年03月   日本機械学会, 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門幹事, 情報・知能・精密機器部門幹事
  • 2012年07月 - 2013年02月   IEEE, IEEE MEMS2013 Technical Program Committee, Technical Progaram Committee
  • 2012年08月 - 2013年01月   IEEE MEMS2013   Technical Program Committee
  • 2012年04月 - 2012年10月   応用物理学会, MNC2012 International Conference Technical Program Committee; Section Head, 論文委員会内のセクションヘッド
  • 2012年04月 - 2012年10月   IEEE, IEEE Sensors2012国際会議 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2012年09月   - 応用物理学会集積化MEMS技術研究会, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会運営委員, 運営委委員
  • 2011年04月 - 2012年03月   日本機械学会, 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門 表彰委員会幹事, 情報・知能・精密機器部門 表彰委員会幹事
  • 2011年07月 - 2012年02月   IEEE, IEEE MEMS2012 Technical Program Committee, Technical Progaram Committee
  • 2011年08月 - 2012年01月   IEEE MEMS2012   Technical Program Committee
  • 2011年04月 - 2011年10月   応用物理学会, MNC2011 International Conference Technical Program Committee; Section Head, 論文委員会内のセクションヘッド
  • 2011年04月 - 2011年09月   応用物理学会, SSDM2011国際会議 Technical Program Committee, 論文委員
  • 2011年04月   - 電子情報通信学会, IEICE Electronics Express (ELEX) Associate Editor, Editorial Committee Associate Editor (Micro/Nano Electro Mechanical Systems分野)
  • 2011年04月   Journal of Sensors Editorial Board Member

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