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詳細

下川房男 (シモカワ　フサオ)

    　　　　
    創造工学部　創造工学科　微細構造デバイス統合研究センター　創発科学研究科　創発科学専攻　
  • 教授
Last Updated :2025/04/24

研究者情報

学位

  • 博士(工学)（長岡技術科学大学）

J-Global ID

研究キーワード

  • NEMS   MEMS   

研究分野

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム
  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

経歴

  • 2002年 - 2010年  日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレ－ション研究所, 主幹研究員
  • 2001年 - 2002年  日本電信電話株式会社 NTT通信エネルギ－研究所, 主幹研究員
  • 1999年 - 2001年  日本電信電話株式会社 NTT情報流通基盤総合研究所 兼務, 主幹研究員
  • 1999年  日本電信電話株式会社 NTT通信エネルギ－研究所, 主任研究員
  • 1996年 - 1998年  日本電信電話株式会社 NTT光エレクトロニクス研究所, 主任研究員
  • 1991年 - 1996年  日本電信電話株式会社 NTT境界領域研究所, 主任研究員
  • 1990年 - 1991年  日本電信電話株式会社 NTT電子応用研究所, 主任研究員
  • 1985年 - 1990年  日本電信電話株式会社 武蔵野電気通信研究所, 研究主任
  • 1983年 - 1985年  日本電信電話公社 武蔵野電気通信研究所
  • 1985年  日本電信電話株式会社 武蔵野電気通信研究所

学歴

  •         - 1983年   長岡技術科学大学   工学研究科   電子機器工学専攻
  •         - 1981年   長岡技術科学大学   工学部   電子機器工学課程
  •         - 1979年   長野工業高等専門学校   電気工学科

研究活動情報

論文

書籍

  • 2020版 薄膜作製応用ハンドブック
    (担当:分担執筆範囲:2編 薄膜の作製と加工 第6章 パタ－ン化技術 3節 エッチング 1項 ウエットエッチングとドライエッチング)株式会社 エヌ・ティ－・エス 2020年02月 ISBN: 9784860436315 
    (学術図書) この本は,薄膜材料の特性と特徴(第1編),薄膜の作製と加工(第2編),薄膜・表面・界面の分析・評価(第3編),薄膜技術の応用と展望(第4編)から成り,薄膜形成の最新技術と応用分野に関して集大成されたハンドブックである.
  • 光デバイス精密加工ハンドブック 増補改訂版
    (担当:分担執筆範囲:第1章 除去加工 第5節 ドライエッチング(3) イオンビ－ムエッチング, 第1章 第5節 ドライエッチング(4) 中性ビ－ムエッチトング,第2章・第2節 スパッタ蒸着)オプトロニクス社 2003年07月 ISBN: 4900474983 
    (学術図書) この図書は,光デバイスに関する最先端の加工技術について纏められたハンドブツクであり,加工基礎編とデバイス製作応用編から構成されている.
  • ナノエレクトロニクスを支える材料解析
    下川 房男 (担当:分担執筆範囲:第4章 第4節 イオンを用いたナノ加工)コロナ社 1996年11月 ISBN: 4885521440 
    (学術図書) この図書は,4種類のプロ－ブ(電子線,放射線,イオンビ－ム,STM)に関して,最新の材料解析技術とナノ加工技術に関して,纏められている

講演・口頭発表等

  • Laser-manipulated microtool with enzyme-functionalized surface for on site molecular processing  [通常講演]
    Akihito Masuda; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2017 2020年 
    © 17CBMS-0001. We developed a novel laser-manipulated microtool for processing single biomolecules under an optical microscope. The laser-manipulated microtool has enzymes immobilized on its surface, which act as agents for molecular processing in a confined space. In this paper, we report on enzyme immobilization on the surface of microtool and demonstration of on-site DNA cutting. We fabricated microtools with SU-8 and evaluated several immobilization methods using FITC-labeled IgG. DNA cutting enzymes were immobilized, and the electrophoresis results suggest successful functionalization of tools. We manipulated the tool by optical tweezers and cut a DNA molecule under an optical microscope.
  • Structural Color Based Tactile Sensor for Flexible Endoscopic Surgery to Detect Grab State and Organs Hardness  [通常講演]
    Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2020年01月 
    © 2020 IEEE. Flexible endoscopic surgery has been developed as a minimally invasive surgery. The surgeon has been facing problems with insufficient information on grab state of forceps and organs hardness during the surgery. This paper reports a unique tactile sensor based on structural color changes to solve the problem. It can detect three-axis forces with very simple structure to provide structural color information. Since the force detection principle uses only the existing endoscope's camera to get hue (structural color) change on the device surface, additional signal transmission elements such as electrical wires, optical fibers, and battery are not required for the tactile sensor drive. The fabricated devices demonstrated wireless three-axis force sensing and hardness discrimination for the first time, and it makes it possible to apply tactile sensing to flexible endoscopic surgery.
  • Mems-Based 'Touch Feeling Scanner' for Quantitative Evaluation of Fingertip Sensation  [通常講演]
    Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Kazutami Arimoto; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2020年01月 
    © 2020 IEEE. This paper reports a very high-performance tactile sensor system (Touch Feeling Scanner) that can easily and precisely measure the fine surface textures of various kinds of samples. Since human's fingertip can discriminate surface texture below 100 μm range easily, it is considered that spatial resolution higher than 100 μm is required for the sensors to reproduce the sense of touch on our fingertips. Since such precise measurement usually requires precisely driven stage, there are limitations on the sample shape, the size, and the measurement location of the samples. In order to realize both high special resolution and high adaptability to many applications, MEMS high resolution tactile sensor that we had developed is integrated in the 'Touch Feeling Scanner' with novel measurement mechanics in this study. Attitude stabilization mechanism, crawler-type distance detector, and signal processing units for acquiring output signals from the tactile sensor are combined for precise measurement on samples. The completed system of touch feeling scanner showed significant performance reproducing the original performances of high-resolution tactile sensor evaluated with a motorized precise stage.
  • Highly Sensitive Silicon Slip Sensing Imager for Forceps Grippers Used under Low Friction Condition  [通常講演]
    K. Ando; T. Yamamoto; Y. Maeda; K. Terao; F. Shimokawa; M. Fujiwara; H. Takao
    Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 2019年12月 
    © 2019 IEEE. We are reporting the first silicon electron device for the realization of detection in slip of grasping by laparoscopic forceps under very low friction condition. Even under "zero-level" friction, slip of grasping object is detectable with the original algorithm inspired from our finger's sense of slip. At present, the surgeons of laparoscopic surgery or robotic surgery can able to get through monitor visual information only. It is one of the essential reasons why endoscopic surgeries requires much higher skills than conventional open surgery. Since organ surface is very slippery by blood and body fluid, very low friction around the organs is an essential issue especially in the case of laparoscopic surgery. Fabricated silicon slip sensing imager can visualize the grasping force distribution on the slippery organ surface, and the slippage of the organ is digitized by calculation of the center of load distribution. This is the first demonstration of slip detection at sub-mm spatial resolution under a very low friction condition on the tip of laparoscopic forceps, which is not only applicable to the medical treatment but also industrial robotics applications.
  • A highly sensitive MEMS silicon-hair device reproducing the function of hair follicle  [通常講演]
    Koki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Electronics and Communications in Japan 2019年10月 
    © 2019 The Authors. Electronics and Communications in Japan published by Wiley Periodicals, Inc. This paper reports a highly sensitive MEMS silicon-hair device with novel functions of hair follicle. Human hairy skin has peculiar receptor called hair follicle. Therefore, a highly sensitive sensor reproducing the function of hair follicle is demanded in order to quantify peculiar sense in hairy skin such as wind, static electricity, and perception of the liquid surface. The developed device in this study has fine silicon-hair with 10 µm width and 5 mm length. Moreover, it detects two-axis force and one-axis moment applied to silicon-hair by piezoresistors. The MEMS silicon-hair device has realized resolutions of 5 µN axial force, 1 µN shear force, and 3nN·m moment. Also, the device in this study precisely acquired surface tension close to the physical property of water and ethanol water solution. In addition, the MEMS silicon-hair device was successful in detecting 0.1 µN electrostatic attraction. Resolutions of shear force and moment have been improved by 10-fold using the resonance-drive of silicon-hair.
  • Parylene-C Coating on High Resolution MEMS Tactile Sensor for Protection of Measurement Surface  [通常講演]
    Yuki Sakakihara; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of IEEE Sensors 2019年10月 
    © 2019 IEEE. In this paper, we report the effect of parylene-C coating on a high resolution 2-axis MEMS tactile sensor for protection of the contact surface of measured samples. Thin parylene-C layer was coated on overall device chip surface, and the improvement effect was evaluated to use it as a coating material suitable for protection of the measurement surface. The effect of parylene-C layer coating to mechanical characteristic of the tactile sensor was within 5%, even though 3μm-thick parylene-C is deposited on the suspension springs. Protection effect of the parylene-C layer was also evaluated with measured samples of color paint on a metal. As a result, the depth of scratches made by sensor sweeping motion was much reduced by 60%, and the sensitivity and the spatial resolution was almost not affected. Parylene-C is an effective material for coating of high resolution tactile sensor surface.
  • Microsensor Device for Simultaneously Measuring Moisture Nutrient Substance Dynamics in Plants  [通常講演]
    Kazuma Ishida; Hiroki Shikata; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2019年10月 
    © 2019 IEEE. To increase the productivity of crops, growth methods based on direct monitoring of physiological information in plants is required. In this study, we proposed a novel micro sensor device for simultaneously measuring moisture and nutrient substance dynamics in plant xylems. A nutrient substance dynamics sensor comprises an electrical conductivity (EC) sensor for measuring nutrient substance concentration and a resistance temperature detector (RTD) for temperature compensation of the EC value. To obtain a high-performance EC sensor, we fabricated a three-dimensional (3D) electrode on a needle-shaped Si probe based on micro-electromechanical system technology. We succeeded in fabricating an EC sensor equipped with a 3D electrode (cell constant of approximately 1200 m-1) and an RTD and demonstrated the feasibility of measuring the nutrient substance dynamics in plants.
  • New Phloem Sap Extraction and Storage Microdevice and Photosynthetic Products Analysis  [通常講演]
    Hiroki Shikata; Kazuma Ishida; Akihito Ono; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2019年10月 
    © 2019 IEEE. In this study, in order to monitor plant biological information, we proposed a phloem sap extraction-storage device based on microelectromechanical systems technology and an extraction-collection module. The proposed phloem sap extraction-storage device has an electric conductivity microprobe sensor for distinguishing the location of phloem and xylem vascular bundles within the plant, as well as a phloem sap extraction structure on the same microprobe. A reservoir structure for storing phloem sap is connected to this microprobe. A prototype of this device-equipped module was fabricated. Furthermore, we confirmed the utility of the proposed device and module through liquid chromatographic component analysis of the main photosynthetic products (sucrose, glucose, and fructose), thus demonstrating the utility of the proposed module.
  • Simultaneous Measurement of Surface Texture and Elasticity Using Tactile Sensor with Differently Protruded Contactor Array  [通常講演]
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 2019年06月 
    © 2019 IEEE. In this study, a novel design of array type tactile sensor with differently protruded contactors and a new detection principle were developed for simultaneous measurement of high-resolution surface texture and the elasticity (or softness) of the touching object. Six bi-axial detectors for micro surface roughness and local slip friction are integrated with different protrusion lengths of three levels from the chip edge of sensor. Since indentation depth of the three contactor pairs depends on softness of object, it is possible to calculate the elasticity of the object only by one-time sweeping using the relative relationship between indentation depth. Also, the principle of this sensor cancel out the effect of contact angle to the target surface. In the experiments, surface shape and slip friction of the samples having elasticity from 0.57 to 2.6MPa were successfully measured, and simultaneous measurement of their elasticities has been demonstrated for the first time.
  • A 0.1µM-Resoution Silicon Tactile Sensor with Precisely Designed Piezoresitve Sensing Structure  [通常講演]
    中島翼; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦; Tsubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Transducers 2019 and EUROSENSORS XXXIII 2019年06月 
    © 2019 IEEE. In this paper, a newly developed ultra-high resolution tactile sensor with a spatial resolution of 0.1μm and a force resolution of 60μN is reported for the first time. The ultrahigh resolution tactile sensor is required for quality control of finished metal surface and painted surface of automobiles that are not replaced by 'non-contact' optical measurements. A 0.1μm spatial resolution is realized by a needle-like contactor-tip precisely formed by deep-RIE. A 60μN force resolution is realized by partly narrowed silicon spring. Also, piezoresistors were arranged to maximize the stress sensitivity considering the crystal orientation dependency on piezoresistive effect. The fabricated new device in this study has realized 6 times higher performance in vertical displacement and 40 times higher performance in frictional force resolution than the tactile sensor device that we reported in 2018 [1]. Measured surface shape corresponded well to the actual surface shape in deep sub-micron region.
  • Highly Sensitive Detection of Fine Electrostatic Attraction by Resonance-Driven Silicon-Hair  [通常講演]
    Kohki Hamamoto; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 2019年06月 
    © 2019 IEEE. This paper reports highly sensitive detection of fine electrostatic attraction using resonance-driven silicon-hair device. The device in this study is reproducing highly sensitive hair follicle to acquire peculiar sense in hairy skin of human. The device has a fine silicon-hair with 10 μm width and 5 mm length, and it independently detects 2-axis force and 1-axis moment applied to itself. The fine silicon-hair is vibrated at its resonant frequency by an external piezoelectric driver. Electrostatic attraction works to the fine silicon-hair, and the resonance frequency of vibration is affected and detected using the highly sensitive 1-axis moment detector. The 2-axis force detectors are used to monitor the operation condition of device. In the experiments, the minimum sensitivity of electrostatic attraction have reached to 0.1μN range. Resolution of force and moment detectors have been improved by tenfold using the resonance-drive of silicon-hair.
  • A Highly Sensitive Planer Silicon-Hair Device Reproducing the Function of Human Hair Follicle  [通常講演]
    Koki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2019年01月 
    © 2019 IEEE. This is the first report of a novel silicon-hair device with the function of highly sensitive hair follicle to realize peculiar sense in hairy skin of human. The target sensitivities of our device are 10\mu \mathrm{N} in force and 10nN·m in moment, since they are considered as the sensitivities of human hair follicle. A fine silicon-hair with 10\mu \mathrm{m}-width and 5mm-length is monolithically integrated, and 2-axis forces and 1-axis moment applied to the silicon-hair are detected independently by tri-axis sensing structure. The fabricated device was evaluated, and the minimum detectable input was 5\mu \mathrm{N} in axial force, 1\mu \mathrm{N} in shear force, and 3nN·m in moment. These sensitivities are advantageous to human's hair follicle, and it is very promising to apply the device to novel measurement applications. As the first application, surface tension of liquid was precisely acquired. Absolute value of surface tensions were successfully measured at small absolute error using the highly sensitive silicon-hair device.
  • A Monolithic Fingerprint-Like Tactile Sensor Array Realizaing High Resolution Imaging of Spatially Distributed Tactile Information  [通常講演]
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2019年01月 
    © 2019 IEEE. In this study, a novel 'array type' monolithic fingerprint-like tactile sensor has been developed for acquiring high resolution images of tactile information of surface. Six high resolution tactile sensors are arrayed in line at a pitch of 500\mu \mathrm{m}, which is equivalent to typical pitch of human's fingerprint. Each tactile sensor can detect biaxial motion of contactor for detection of 'micro surface roughness' and 'local slip friction', even if it is a very soft material like clothes. As an important result obtained with the array of tactile sensors, 'non-linear deformation characteristic of soft fabrics' has been acquired successfully. Moreover, distributed tactile information on 'shape' and 'slip friction' has been 3D visualized on a soft cloth surface at a 100\mu \mathrm{m} spatial resolution for the first time.
  • Microscale sap dynamic sensor using heat pulse method  [通常講演]
    Naoki Hara; Yuki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018) 2018年11月
  • 余剰受容体の直接定量解析に向けた単一細胞薬剤刺激デバイスの開発  [通常講演]
    松井 祐樹; MuhammadThaqifIqbalBinMokhtar; 平野 勝也; 高尾 英邦; 下川 房男; 石塚 裕己; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 超高分解能触覚センサによるサブミクロン領域の手触り感判別  [通常講演]
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • ツールストック型トラップデバイスを利用したDNA1分子加工システムの開発  [通常講演]
    増田 晃士; 石塚 裕己; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 高精細な触覚情報の空間分布計測を可能にするアレイ型MEMS指紋触覚センサ  [通常講演]
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2018年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • THz Microcavity Made of Wire Grid Structure Containing Electrical Split Ring Resonator Metamaterials  [通常講演]
    Nguyen Thi Dieu Thanh; Kyosuke Okabe; Shota Inoue; Fusao Shimokawa; Shunsuke Nakanishi; Noriaki Tsurumachi
    International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2018年10月 
    © 2018 IEEE. We proposed a THz microcavity structure containing metamaterial as a candidate for a novel THz active device. According to the FDTD simulation, splitting of the transmission peak due to the mode coupling was observed when the electric split ring resonator (eSRR) having the same resonance frequency was placed at the center of the microcavity made of the wire grid structure as the mirror.
  • Microscale xylem sap flow sensor facilitating the simultaneous measurement of flow velocity and direction  [通常講演]
    Yuki Hara; Naoki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa
    Proceedings of the EUROSENSORS 2018 conference (EUROSENSORS 2018) 2018年09月
  • Measurement of Touch Feeling on Hair Surface Using High Resolution Two-Axis MEMS Tactile Sensor  [通常講演]
    Kota Nakamitsu; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018) 2018年06月
  • Extraction of “Real Friction Coefficient” Depending on Micro Surface Roughness Using High Resolution MEMS Tactile Sensor  [通常講演]
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018) 2018年06月
  • Fabrication of Xylem Sap Flow Sensor Microneedles for Extending its Applications  [通常講演]
    T. Takahash; Y. Hara; A. Ono; H. Ishizuka; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa
    Proceedings of the 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2018) 2018年04月
  • Spatial dissection of biosamples using Si blade array device  [通常講演]
    Taro Shiomi; Mamoru Hirafuji; Hiroki Ishiduka; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao
    22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018 2018年 
    Copyright © (2018) by Chemical and Biological Microsystems Society. All rights reserved. We developed a Si-blade-array device that realizes space-resolved microdiessection of biosamples for the purpose of connecting omics analysis to spatial information. In this paper, we report fluorescent staining and cell sampling experiments for single cells compartmentalized by the Si-blade-array device. The fluorescent staining experiment shows the successful compartmentalization without leakage, allowing us to handle each compartment as an isolated reaction chamber. Taking this advantage, we sampled single cells in limited area on a culture dish while keeping their spatial information. Transcription analysis of the cells sampled by this technique was demonstrated by real-time PCR.
  • マイクロ流体デバイスによる敗血症に伴う腎微小環境変化の解析  [通常講演]
    田尾 祐一; 高尾 英邦; 下川 房男; 中野 大介; 寺尾 京平
    生命科学系学会合同年次大会 2017年12月 生命科学系学会合同年次大会運営事務局
  • 酵素機能を融合した光駆動分子加工ツールの開発  [通常講演]
    増田 晃士; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 自己組織化DNAナノワイヤの直径と配列の制御に向けたプロセス検討  [通常講演]
    神谷 昌吾; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 指紋・指腹の表面質感検知能を集積したマルチスケール型MEMS触覚センサ  [通常講演]
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 臓器解析の実現に向けた貫通孔型Siブレードアレイデバイスの開発  [通常講演]
    塩見 太朗; 香川 大地; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2017年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • Development of a multi-electrode electrovibration tactile display with 1 mm resolution  [通常講演]
    H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; H. Kajimoto
    2017 IEEE World Haptics Conference, WHC 2017 2017年07月 
    © 2017 IEEE. In this study, we demonstrate the characteristics of an electrovibration tactile display with a 1 mm resolution. Electrovibration is one of the promising stimulus methods for mobile tactile devices because of its simplicity in terms of structure of the tactile display and principle. While several groups have developed electrovibration tactile displays, the resolution of the displays have not been discussed. Resolution is an important feature to emulate the surface textures of real objects that deform the skin with a 1 mm resolution. To achieve electrovibration stimulus with high resolution, we fabricated an electrovibration tactile display consisting of an array of electrodes with a width of 1 mm. We also evaluated the characteristics of the fabricated tactile display. We asked the test subjects if they could perceive the electrovibration stimulus. From the results, we determined that while the amplitude and the frequency of the applied sinusoidal voltage affected the size of the perceived stimulus, the area of the electrovibration did not affect this perception. We also found that the insulator of the tactile display was broken down. The proposed tactile display was able to present a spatial electrovibration stimulus and required optimization of the applied voltage.
  • Development of high resolution electrostatic tactile display  [通常講演]
    H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa
    2017 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2017 2017年06月 
    © 2017 Japan Institute of Electronics Packaging. In this study, we demonstrate an electrovibration tactile display with an array of electrodes. Electovibration is a promising stimulus method for tactile feedback in mobile devices. The electrovibration tactile displays have been developed for the last several decades. However, these studies focused on application of the tactile display. The resolution of the tactile display, which is important for tactile sensation, is not investigated. In this study, we developed a electrovibration tactile display with high resolution. The tactile display consists of an array of electrodes with the width of 0.95 mm. The electrodes are arranged with the interval of 0.05 mm. The resulting resolution is 1 mm. We established the fabrication process of the tactile display and evaluated the fundamental characteristics. The results indicated that the perception was determined by the amplitude of the applied voltage. And also, the perception was not related to the contacting area and applied voltage. The proposed tactile display was able to present a spatial electrovibration stimulus and required optimization of the applied voltage.
  • Microscale phloem sap extraction sensor device for measuring biological information in plant branches  [通常講演]
    Akihito Ono; Akihito Yoneda; Yuichi Tao; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Ryuji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa
    Proceedings of IEEE Sensors 2017年01月 IEEE
     
    © 2016 IEEE. In this study, a microscale phloem sap extraction sensor device based on MEMS technology is proposed to artificially extract phloem sap and monitor biological information in plant branches. The device consists of electrical resistance sensors to distinguish the positions of vascular bundles (xylem/phloem) and hollow-structured cantilevers with reservoirs for fluid extraction. A prototype of the proposed sensor device was fabricated. Furthermore, the performance of the position-distinction sensor was evaluated, and the feasibility of the fluid-extraction structure was validated.
  • グラニエ式小型センサによる草本種茎内道管流測定  [通常講演]
    日本生態学会第64回全国大会 2017年 ポスター発表
  • Microscale phloem sap dynamics measurement sensor device for monitoring the transport of nutritive substances in plants  [通常講演]
    小野瑛人; 矢野裕也; 寺尾京平; 高尾英邦; 市橋隆自; 小林剛; 片岡郁雄; 下川房男(Akihito Ono; Yuya Yano; K. Terao; H. Takao; Riji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; F. Shimokaw
    29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016) 2016年11月
  • 微細領域の質感取得を目指した高分解能2軸MEMS触覚センサ (第8回 集積化MEMSシンポジウム)  [通常講演]
    綿谷 一輝; 香西 亮吾; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2016年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • 大面積電極の垂直実装による高感度MEMS静電気センサの実現  [通常講演]
    飯間 敦矢; 岡 勇作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦
    「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 2016年10月 Institute of Electrical Engineers of Japan
  • E-2-4 神経細胞ネットワーク解析に向けた局所光刺激・多点電位計測デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)  [通常講演]
    上野 秀貴; 駒井 章治; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016年03月 一般社団法人日本機械学会
     
    In brain science and psychology, one of the most important purposes of recent studies about neural network, biological circuit in brain, is to establish a method of treatment for the central nervous system disease, such as Alzheimer. Neurons in a neural network is stimulated and controlled by visible lights by Optogenetics methods. In thie paper, we propose a microchip integrated micro electrodes, micro lenses, and pinholes. The proposed microchip is capable of stimulating a neural network with two focused lights which have different affection to the neuron, and measuring the electrical reaction of the neural network.
  • E-2-3 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)  [通常講演]
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 秋光 和也; 鈴木 孝明
    IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016年03月 一般社団法人日本機械学会
     
    In recent years, the various studies of trapping and operating single cells by using a microfluidic have been proceeded. Many conventional methods requires a fluid operating unit outside the device. Therefore, it is difficult to carry the device during operation. In this study, We integrate a small cell trapping device with miniature peristaltic pumps and a chip made by multidirectional photolithography method. The cells on the highly portable device are easily stored in an incubator and observed under the microscope.
  • MEMS技術を用いた超小型道管流センサ  [通常講演]
    越智誠; 矢野裕也; 寺尾京平; 鈴木孝明; 高尾英邦; 小林剛; 片岡郁雄; 下川房男
    日本生態学会 2016年 Tohoku University
  • Si/polymer/glassチップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 2015年10月
  • 植物新梢末端の師管流計測を目指した超小型師管流センサ(2) -師管流の抽出・成分測定-  [通常講演]
    日本生態学会第62回全国大会 2015年 ポスター発表
  • 植物新梢末端の師管流計測を目指した超小型師管流センサ(1) -師管流の向き,師管流量の測定-  [通常講演]
    日本生態学会第62回全国大会 2015年 ポスター発表
  • MEMS技術を用いた超小型師管流センサ  [通常講演]
    第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2015年 ポスター発表
  • Dual-axis hybrid-MEMS mirror having Si and polymer hinges for large-area 2D raster scan  [通常講演]
    Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2014年10月 
    © 2014 University of Strathclyde. In this study, we propose a dual-axis hybrid-MEMS mirror for large-area 2D raster scanner composed of fast and slow driving gimbals. For simple fabrication and high driving performance, an outer gimbal for slow and large scanning has polymer SU-8 hinges with low rigidity, and an inner gimbal for fast scanning has Si hinges with high rigidity. The outer gimbal deflected over ±14deg. at non-resonant frequency of 60Hz refresh rate, and the inner one ±1deg. at the resonant frequency 22.9kHz. The 2D raster scanning of the fabricated mirror was demonstrated.
  • 神経細胞ネットワーク解析のための局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014年03月
  • Microscale Phloem Flow Sensor Fabricated Using MEMS Technology For Measuring Biological Information of Plant Branches  [通常講演]
    矢野裕也; 越智誠; 寺尾京平; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄
    NANOSciTech2014 & IC-NET2014 2014年03月
  • Assist-free assembly technique of standing optical devices on soft spring actuator stages  [通常講演]
    Yusaku Oka; Ryosuke Shinozaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2014年 IEEE
     
    In this study, a new assembly technique of separately fabricated MEMS optical devices on fragile MEMS actuator stages has been developed to realize novel functional optical-MEMS devices. This technique realizes the 'assist-free' alignment and fixing of vertically mounted optical devices by combination of 'micro spring slider' and 'trapezoidal alignment slit'. Various kinds of optical devices can be precisely aligned and stably fixed even on movable actuator stages supported by soft spring suspensions. In the experiments, micro mirrors were attached on electrostatic linear actuators and rotational actuators using this assembly technique, and a small average value of relative-angle error around 4/100 ° was successfully obtained. © 2014 IEEE.
  • 電位計測アレイを集積化した細胞組織内局所光刺激デバイスの開発  [通常講演]
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明
    センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 2014年
  • MEMS技術を用いた超小型維管束（道管流・師管流）モニタリングセンサの研究  [通常講演]
    日本生態学会第61全国大会・企画集会 2014年
  • ヒ－タ加熱方式を用いた超小型香り発生デバイスの性能評価  [通常講演]
    平成２６年度電気学会全国大会 2014年
  • Micro Sap Flow Sensor Using MEMS Technology for Application to Biological Information Measurement of Plants  [通常講演]
    越智誠; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄
    Third International Conference on Plant Vascular Biology 2013年07月
  • A post-complementary metal oxide semiconductor formation process of high-adhesiveness su-8 structures for reliable fabrication of integrated microelectromechanical system sensors  [通常講演]
    Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    Japanese Journal of Applied Physics 2013年06月 JAPAN SOC APPLIED PHYSICS
     
    In this study, a post CMOS reliable formation process for high-aspect-ratio SU-8 structures on integrated circuits is newly proposed. Enhancement of SU-8 adhesiveness is realized by forming a thin SU-8 layer (called an adhesive layer) over the surface of the circuit before the SU-8 structures are formed. Improvement of adhesion of thick SU-8 structures is very important to guaranty the reliability of MEMS microsensors. The negative effect of the adhesive SU-8 layer on the mechanical properties of silicon movable structures has been estimated and discussed with simple analytical formulae. Also, the effect of the adhesive layer on the silicon substrate has been demonstrated with test structure patterns. On the basis of the developed technique, a tactile sensor device has been successfully fabricated as an example of the application of this technique. © 2013 The Japan Society of Applied Physics.
  • Patternable atmospheric-pressure plasma jets with gas discharge in microfluidic channel array  [通常講演]
    Hidetaka Yamasaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Hidekuni Takao
    Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2013年 
    Application of "small area" plasma has become important for bio/medical applications. In this study, a novel device to create patternable atmospheric-pressure plasma-jet array is newly proposed, and the evaluation results of the fabricated devices are reported for the first time. The array device is fabricated by bonding a PDMS microchannel layer and a glass wafer. Discharge electrodes for plasma creation are fabricated by Au/Cr layers. Since the discharge starting voltages strongly depends on shapes and the gap of two electrodes, they were designed and selected based on the Paschen's law to lower their discharge starting voltages. Micro plasma jet array are created by multi-channel gas discharges individually in microfluidic channels on a chip, and a 2.54mm spatial resolution of plasma-jet was obtained in the first fabricated device. © 2013 IEEE.
  • マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ［1］ -超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作-  [通常講演]
    伊藤将寛; 武田知也; 鈴木孝明; 高尾英邦; 大平文和; 下川房男
    電気学会論文誌(E) 2013年 
    In order to realize the miniaturization of the optical gas sensors by the passive alignment of optical components, we proposed a micro-optical bench which consists of a guiding groove and a micro-mirror with an ultra-thick resin structure. We fabricated the micro-optical bench with an ultra-thick resin structure of 2 mm height and processing accuracy of within ±10 μm. By using this micro-optical bench, compact optical multi-gas sensors (size: 3 cm×3 cm) by the passive alignment through a guiding groove for a ball lens and a fiber ferrule were realized. © 2013 The Institute of Electrical Engineers of Japan.
  • 多層塗布による高精度厚膜スプレーコート法の開発  [通常講演]
    赤松幹夫; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 鈴木孝明
    電気学会論文誌（E） 2013年 
    In this paper, we propose a high-accuracy spray coating method for obtaining the thick photoresist over 200μm. A multi-layered coating method with thin photoresist layers is applied in order to achieve a thick photoresist. We evaluated the waviness and the reproducibility of the thickness of the photoresist coated on a flat substrate. The multi-layered spray coating method with the edge cover achieves high accuracy thickness of the photoresist with covering wide-range of the target thickness. © 2013 The Institute of Electrical Engineers of Japan.
  • MEMS技術を利用した高速DNAファイバ解析デバイスの開発  [通常講演]
    鈴木孝明; 寺尾京平; 鈴木博之; 新田祐幹; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 平丸大介; 小寺秀俊
    電気学会論文誌（E） 2013年 
    In this study, we propose a simple observation method of the shape and molecular orientation of the chromosomes extracted from cells for a sample-to-analysis system in clinical diagnosis. The proposed technique is composed of total preparation technique such as cell immobilization, chromosomes extraction, stretching, suspension and analysis using a disposable microchip controlled by centrifugal force only. It is experimentally confirmed that the chip having two kinds of microstructures arranged concentrically on a chip immobilizes cells and stretches chromosomes extracted from the immobilized cells. © 2013 The Institute of Electrical Engineers of Japan.
  • マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ［II］ －ラマン散乱型と紫外吸収分光型ガスセンサの特性－  [通常講演]
    朝日一平; 杉本幸代; 二宮英樹; 下川房男; 高尾英邦; 大平文和
    電気学会論文誌(E) 2013年 
    Compact optical gas sensors based on the Raman effect and ultraviolet absorption spectroscopy were developed. These sensors are miniaturized and do not require alignment, because the mirrors and optics are fixed onto a precisely machined micro optical bench made by micromachining technology. The Raman type gas sensor consists of a small DPSS laser (wavelength 532 nm, pulse energy 200 μJ, pulse width 3 ns, repetition frequency 1 kHz), the sensor chip, and the detector, which are connected by optical fibers. The UV absorption type gas sensor is consists of a D2 lamp, the sensor chip and a compact spectrometer, which are connected by optical fibers. The measured signals showed good linearity along with the gas concentrations. The limit of detection using the Raman effect was 1% for hydrogen or 0.2% for methane, and the minimum limit of detection using ultraviolet absorption spectroscopy was 10 ppm for ammonia and sulfur dioxide for an optical path length of 20 mm.
  • Dual-axis polymer-MEMS mirror made of Photosensitive Nanocomposite  [通常講演]
    Junya Suzuki; Takuya Miura; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Takahiro Namazu; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2013年 
    We propose a simple fabrication method for a dual-axis polymer MEMS mirror made of negative photoresist SU-8 containing magnetic nanoparticles as a magnetically driven actuator. The proposed mirror is driven by magnetic attractive force using external magnetic field. So, it doesn't need complex wiring patterns and can simply fabricate by photolithography only. For evaluation of drive characteristics of the proposed mirror, we measured static deflection angle and frequency response of the fabricated mirror by using a laser position sensor. As a result, we obtained optical deflection angle ±15deg. and the second resonant frequency 29.2Hz of torsional oscillation. © 2013 IEEE.
  • Integration of angular rate sensor on large deflection polymer-MEMS mirror  [通常講演]
    Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki
    International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2013年 
    Repeatability of driving characteristics of a polymer-MEMS mirror are transitioned by an environment and time course change. In this study, we propose a method of motion sensing for the purpose of laser scan stable by the active control of a polymer-MEMS mirror. A proposed motion sensor is a coil-type sensor that induces the electric current by an electromagnetic induction and monolithically integrated on the mirror driving by the electromagnetic force. The fabricated mirror made of SU-8 polymer deflects over ±30deg. at low electric current. The measured current induced by the integrated sensor coil is clearly obtained by applying the lock-in detection for signal processing method, and it indicates that the feasibility of amplitude control of the polymer MEMS mirror. © 2013 IEEE.
  • Patternable Atmospheric-Pressure Plasma Jets with Gas Discharge in Microfluidic Channel Array  [通常講演]
    The 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2013) 2013年
  • 材料判別能にむけた複合センサを集積するメッシュ状シリコン触覚イメージセンサ  [通常講演]
    平成25年電気学会全国大会 2013年
  • 可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術  [通常講演]
    平成25年電気学会全国大会 2013年
  • Micro sap flowsensor using MEMS technology for application to biological information measurement of plants  [通常講演]
    Third International Conference on Plant Vascular Biology 2013年
  • 細胞クラスター内における細胞間相互作用の解明に向けた単一細胞薬剤刺激デバイス  [通常講演]
    電気学会 センサ・マイクロマシン部門総合研究会 バイオ・マイクロシステム研究会 2013年
  • マイクロ流体デバイスを用いた膵β細胞クラスター内における細胞間相互作用の計測  [通常講演]
    第３６回日本分子生物学会年会 2013年 ポスター発表
  • Self-Aligned Fabrication Process for Active Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite  [通常講演]
    25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems [MEMS2012] 2012年 ポスター発表
  • 接触面から複数の触覚情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイの設計と製作  [通常講演]
    2012年春期 第59回応用物理学関係連合講演会 2012年
  • 角度センシング機能を有する回転型静電MEMSミラーの設計と製作  [通常講演]
    平成24年 電気学会全国大会 2012年
  • MEMS技術を用いた微細大気圧プラズマアレイデバイスの製作  [通常講演]
    平成24年 電気学会全国大会 2012年
  • Improvement of Coating Uniformity for Thick Photoresist Using a Partial Spray Coat  [通常講演]
    7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [NEMS2012] 2012年 ポスター発表
  • Cell Culture on MEMS Materials in Micro-Environment Limited by a Physical Condition  [通常講演]
    7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [NEMS2012] 2012年
  • Design and Fabrication of Electrostatically Driven In-Plane MEMS Rotational Mirror with Electrostatic Rotary Encoder  [通常講演]
    2012 International Conference on Optical MEMS & Nanophotonics 2012年 ポスター発表
  • Optically-Driven Microstructures for Manipulating Single DNA Molecule under Fluorescence Microscope  [通常講演]
    38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012) 2012年 ポスター発表
  • Fast whole blood testing for detecting biomarkers by size-exclusion SPR sensing  [通常講演]
    The 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2012) 2012年
  • A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure  [通常講演]
    IEEE Sensors2012 Conference 2012年
  • A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device  [通常講演]
    25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012) 2012年
  • 混合噴射機能を持つマルチジェット型ベンチュリ噴霧器と力覚・冷覚複合提示ディスプレイへの応用  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年
  • 微小流路内放電を用いるMEMS大気圧プラズマアレイデバイス  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年
  • 角度センシング機能を有する回転型MEMSミラーの設計・製作  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年
  • 基準面を用いて物体表面から摩擦力および硬さ情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイ  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年
  • Fabrication of micro sap flow sensors by using MEMS technology  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年 ポスター発表
  • High-driven-type micro device ordor generator with MEMS actuator  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年 ポスター発表
  • Compact optical multi-gas sensors using micromachning technology ［I］  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年 ポスター発表
  • Compact optical multi-gas sensors using micromachning technology ［II］  [通常講演]
    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2012年
  • Crystalline Anisotropic Dry Etching for Single Crystal Silicon  [通常講演]
    The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems [MEMS2011] 2011年 ポスター発表
  • Micro Fluidic Circuit Design with “SPICE Simulation  [通常講演]
    The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011) 2011年 ポスター発表
  • Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite  [通常講演]
    6th International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology [MMB2011] 2011年 ポスター発表
  • A Venturi-type Micro Mist Generator fabricated by MEMS Technology and its Application to Local Surface Cooling of Target Objects  [通常講演]
    24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011) 2011年
  • ベンチュリ構造によるマイクロミスト生成機構と冷感集積化複合触覚提示デバイスへの応用  [通常講演]
    第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2011年
  • CMOS 集積化に向けたMEMS デバイスのスケーリング効果  [通常講演]
    第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2011年
  • Measurement of attractive force generated by magnetic photosensitive nanocomposite  [通常講演]
    JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering 2011年 ポスター発表
  • A partial coat for removal of edge bead from thick photoresist using a spray method  [通常講演]
    JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering 2011年 ポスター発表
  • FEM analysis of a polymer MEMS mirror using photosensitive nano composite  [通常講演]
    JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering 2011年 ポスター発表
  • Quantitative evaluation of cell proliferation in an integrated micro cell culture system  [通常講演]
    JSME International Workshop on Micro/Nano-Engineering 2011年 ポスター発表
  • New H-shape soft spring and its micro mirror application  [通常講演]
    The 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems [MEMS2010] 2010年 ポスター発表
  • Sensing Characteristics of Vertical Combo-Drive MEMS Mirror with Sensing Function for Phase-Shift Denices  [通常講演]
    The 27th Sensor Symposium on Sensors, micromachines and Applied Systems 2010年
  • Crystalline Anisotropic Etching for Single Crystal Slicon Using Dry Etching  [通常講演]
    The 27th Sensor Symposium on Sensor, Micromachines and Applied Systems 2010年 ポスター発表
  • Fabrication of Low-Electrical-Interference MEMS Mirror Array Module for Wavelength-Selective Switches  [通常講演]
    The 27th Sensor symposium on Sensor. Micromachines and Applied Systems 2010年
  • Effect of AC drive in control of MEMS mirror tilt angle  [通常講演]
    2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2009) 2009年
  • MEMS-based 1×43 wavelength-selective switch with flat passband  [通常講演]
    35th European Conference on Optical Communication (ECOC 2009) 2009年
  • 128×128 3D-MEMS optical switch module with simultaneous optical paths connection for optical cross-connect systems  [通常講演]
    International Conference on Photonics in Switching 2009 (PS 2009) 2009年
  • Low-crosstalk wavelength-selective switch using MEMS mirror array integrated with a Z-shaped alignment mark  [通常講演]
    15th Microoptics Conference (MOC’09) 2009年
  • 512×512 port 3D MEMS optical switch module with toroidal concave mirror  [通常講演]
    15th Microoptics Conference (MOC’09) 2009年
  • High-aspect-ratio gold electrodes fabricated by thick-multilevel interconnection technology for electrical isolation of MEMS mirrors in wavelength-selective switches  [通常講演]
    The 22nd Annual Meeting of the IEEE Photonics Society 2009年
  • Fast and highly stable peak optical search algorithm based on motion control of MEMS  [通常講演]
    Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009年 ポスター発表

作品等

  • 小型光学式マルチガスセンサの製品化研究
    2012年 -2013年
  • マイクロマシン技術を用いた小型光学マルチガスセンサの開発
    2010年 -2011年

MISC

  • iPS細胞胚様体の局所刺激を目指したマイクロデバイスの開発—Microfluidic Device for Differentiation Induction of iPS Cells-derived Embryoid Bodies with Local Chemical Stimulation
    楠 直人; 小長谷 周平; 西田 光徳; 佐藤 成弘; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 142 (12) 310 -315 2022年12月
  • 血中がん細胞解析に向けた3次元毛細血管狭窄部モデルの開発
    白神 吉洋; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 4p 2020年10月
  • SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発
    原田 雅彦; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 6p 2020年10月
  • 抗体修飾光駆動構造体とマイクロ流体デバイスを用いた1細胞組立プラットフォームの開発
    森 駿太郎; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 4p 2020年10月
  • 医療応用に向けた高解像度MEMS触覚センサの防水・防塵パッケージ技術開発 (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 3p 2020年10月
  • MEMSシリコン毛デバイスを用いたスポット接触による局所触覚情報の取得 (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    植村 周; 濱本 晃輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 3p 2020年10月
  • 対象表面の角度検知が可能な傾斜センサ集積型MEMS触覚アンテナ (第12回 集積化MEMSシンポジウム)
    岡 早秀; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 37 5p 2020年10月
  • Yoshihiro Nishida; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Kazutami Arimoto; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2020-January 984 -987 2020年01月
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2020-January 689 -692 2020年01月
  • Laser-manipulated microtool with enzyme-functionalized surface for on site molecular processing
    Akihito Masuda; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2017 433 -434 2020年
  • K. Ando; T. Yamamoto; Y. Maeda; K. Terao; F. Shimokawa; M. Fujiwara; H. Takao Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 2019-December IEDM19-422 -IEDM19-425 2019年12月
  • 微細凹凸感・摩擦感・硬軟感の同時取得を可能にする指腹曲面型MEMS触覚アレイセンサ
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 繊細な触感の客観的評価を可能とする「手触り感スキャナー」の開発
    西田 吉広; 中光 孝太; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 有本 和民; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 敗血症感染腎微小環境の解析を目指したマイクロ流体デバイスの開発
    小山 哲哉; 中野 大介; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 60μNの摩擦力感度と0.5μmの空間分解能を有するナノ領域触覚センサの制作と評価 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 4p 2019年11月
  • 内視鏡手術における把持状態の無線計測に向けた構造色変化を用いた力覚センサの開発 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)
    前田 祐作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 3p 2019年11月
  • Hiroki Shikata; Kazuma Ishida; Akihito Ono; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Fusao Shimokawa Proceedings of IEEE Sensors 2019-October 2019年10月
  • Kazuma Ishida; Hiroki Shikata; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa Proceedings of IEEE Sensors 2019-October 2019年10月
  • Yuki Sakakihara; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Proceedings of IEEE Sensors 2019-October PAPER ID 1686 2019年10月
  • Koki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Electronics and Communications in Japan 102 (10) 50 -56 2019年10月
  • Kohki Hamamoto; Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 1874 -1877 2019年06月
  • 中島翼; 綿谷一輝; 寺尾京平; 下川房男; 高尾英邦; Tsubasa Nakashima; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Transducers 2019 and EUROSENSORS XXXIII 1807 -1810 2019年06月
  • Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII 454 -457 2019年06月
  • Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2019-January 182 -185 2019年01月
  • Koki Hamamoto; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2019-January 198 -201 2019年01月
  • Microscale sap dynamic sensor using heat pulse method
    Naoki Hara; Yuki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa Proceedings of the 31th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2018) 16P-11 -85 2018年11月 [査読有り]
  • 高精細な触覚情報の空間分布計測を可能にするアレイ型MEMS指紋触覚センサ
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 3p 2018年10月
  • ツールストック型トラップデバイスを利用したDNA1分子加工システムの開発
    増田 晃士; 石塚 裕己; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 6p 2018年10月
  • 超高分解能触覚センサによるサブミクロン領域の手触り感判別
    中島 翼; 綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 4p 2018年10月
  • 余剰受容体の直接定量解析に向けた単一細胞薬剤刺激デバイスの開発
    松井 祐樹; MuhammadThaqifIqbalBinMokhtar; 平野 勝也; 高尾 英邦; 下川 房男; 石塚 裕己; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 5p 2018年10月
  • Nguyen Thi Dieu Thanh; Kyosuke Okabe; Shota Inoue; Fusao Shimokawa; Shunsuke Nakanishi; Noriaki Tsurumachi International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2018-September 2018年10月
  • Microscale xylem sap flow sensor facilitating the simultaneous measurement of flow velocity and direction
    Yuki Hara; Naoki Hara; Hiroki Ishizuka; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa Proceedings of the EUROSENSORS 2018 conference (EUROSENSORS 2018) 141 -ID7169 2018年09月 [査読有り]
  • Extraction of “Real Friction Coefficient” Depending on Micro Surface Roughness Using High Resolution MEMS Tactile Sensor
    Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018) 2pages 2018年06月 [査読有り]
  • Measurement of Touch Feeling on Hair Surface Using High Resolution Two-Axis MEMS Tactile Sensor
    Kota Nakamitsu; Kazuki Watatani; Kyohei Terao; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology(APCOT2018) 2 pages 2018年06月 [査読有り]
  • Fabrication of Xylem Sap Flow Sensor Microneedles for Extending its Applications
    T. Takahash; Y. Hara; A. Ono; H. Ishizuka; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa Proceedings of the 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2018) PS2 -235 2018年04月 [査読有り]
  • 吸引吐出開口アレイを有する積層型マイクロ流体プローブの開発
    神谷昌吾; 石塚裕己; 高尾英邦; 下川房男; 寺尾京平 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 35th 2018年
  • Spatial dissection of biosamples using Si blade array device
    Taro Shiomi; Mamoru Hirafuji; Hiroki Ishiduka; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Kyohei Terao 22nd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2018 3 1335 -1338 2018年
  • マイクロ流体デバイスによる敗血症に伴う腎微小環境変化の解析
    田尾 祐一; 高尾 英邦; 下川 房男; 中野 大介; 寺尾 京平 生命科学系学会合同年次大会 2017年度 [1P -0599] 2017年12月
  • 臓器解析の実現に向けた貫通孔型Siブレードアレイデバイスの開発
    塩見 太朗; 香川 大地; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 4p 2017年10月
  • 指紋・指腹の表面質感検知能を集積したマルチスケール型MEMS触覚センサ
    綿谷 一輝; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1 -4 2017年10月
  • 自己組織化DNAナノワイヤの直径と配列の制御に向けたプロセス検討
    神谷 昌吾; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 5p 2017年10月
  • 酵素機能を融合した光駆動分子加工ツールの開発
    増田 晃士; 高尾 英邦; 下川 房男; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 6p 2017年10月
  • H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; H. Kajimoto 2017 IEEE World Haptics Conference, WHC 2017 659 -664 2017年07月
  • H. Ishizuka; K. Suzuki; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa 2017 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2017 484 -486 2017年06月
  • Akihito Ono; Akihito Yoneda; Yuichi Tao; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Ryuji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; Fusao Shimokawa Proceedings of IEEE Sensors 4pages 2017年01月
  • Microscale phloem sap dynamics measurement sensor device for monitoring the transport of nutritive substances in plants
    小野瑛人; 矢野裕也; 寺尾京平; 高尾英邦; 市橋隆自; 小林剛; 片岡郁雄; 下川房男(Akihito Ono; Yuya Yano; K. Terao; H. Takao; Riji Ichihashi; Tsuyoshi Kobayashi; Ikuo Kataoka; F. Shimokaw 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016) 2016年11月 [査読有り]
  • 大面積電極の垂直実装による高感度MEMS静電気センサの実現
    飯間 敦矢; 岡 勇作; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 -4 2016年10月
  • 微細領域の質感取得を目指した高分解能2軸MEMS触覚センサ (第8回 集積化MEMSシンポジウム)
    綿谷 一輝; 香西 亮吾; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1 -4 2016年10月
  • E-2-3 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 秋光 和也; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016 "E -2-3-1"-"E-2-3-3" 2016年03月
  • E-2-4 神経細胞ネットワーク解析に向けた局所光刺激・多点電位計測デバイスの開発(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    上野 秀貴; 駒井 章治; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2016 "E -2-4-1"-"E-2-4-4" 2016年03月
  • 細胞接着技術を用いた細胞配列マイクロアレイ
    鈴木孝明; 鈴木孝明; 寺村裕治; 北濱若奈; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 上野秀貴 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料 BMS-16 (1-8) 2016年
  • 結晶異方性プラズマエッチング法によるSP共鳴波長変調アクチュエータの作製
    香川 大地; 鏡原 照正; 下川 房男; 高尾 英邦; 寺尾 京平; 山口 堅三; 鈴木 孝明 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 面内変位型触覚センサを用いた手触り感の定量化のための新たな触覚評価方法
    香西 亮吾; 寺尾 京平; 下川 房男; 高尾 英邦 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 植物細胞向けμEPチップにおける印加電圧の最適化
    古谷 尚輝; 島上 卓也; 下川 房男; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 秋光 和也; 鈴木 孝明 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 光駆動微小構造体を用いた巨大DNA分子液中配線技術の提案
    犬飼 亮; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -6 2015年10月
  • 環境負荷を考慮した不活性ガスによるメタルドライエッチング法とその応用
    濱 治慶; 藤原 哲嗣; 下川 房男; 小寺 秀俊; 迚野 泰一; 鈴木 孝明 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -4 2015年10月
  • 界面動電効果を利用したクレッチマン型SPRセンシング法の提案
    近藤 翔平; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明; 寺尾 京平 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1 -5 2015年10月
  • 30am2-PN-24 周波数変調された可動板を用いたマイクロ流体制御技術
    河合 駿; 山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 山田 功; 下川 房男; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2015 (7) "30am2 -PN-24-1"-"30am2-PN-24-2" 2015年10月
  • 30pm1-A-4 回転傾斜露光法とPDMSモールディングを用いたDNAファイバ解析チップの作製
    北野 広大; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2015 (7) "30pm1 -A-4-1"-"30pm1-A-4-2" 2015年10月
  • Si/polymer/glassチップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 32nd ROMBUNNO.30AM2-PS-148 2015年10月
  • MoP-25 DEVELOPMENT OF A LOCAL LIGHT STIMULATION DEVICE INTEGRATED WITH MICRO ELECTRODE ARRAY
    UENO Hidetaka; KOMAI Shoji; TERAO Kyohei; TAKAO Hidekuni; SHIMOKAWA Fusao; KOTERA Hidetoshi; SUZUKI Takaaki Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE 2015 "MoP -25-1"-"MoP-25-3" 2015年06月
  • 21am2-E7 マイクロスリット構造を有したSPRセンサチップによる生体試料分離・検出
    寺尾 京平; 平松 真一; 清水 一範; 宮西 伸光; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2014 (6) "21am2 -E7-1"-"21am2-E7-2" 2014年10月
  • Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 167 -168 2014年10月
  • J2230202 低粘度厚膜フォトレジストを用いた高精度スプレー塗布法の開発([J223-02]マイクロナノメカトロニクス(2),マイクロ・ナノ工学部門一般セッション)
    藤原 清; 赤松 幹夫; 幸田 尚子; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2014 "J2230202 -1"-"J2230202-4" 2014年09月
  • E-2-5 ECRプラズマエッチングに対する真空UVキュアレジストのプラズマ耐性の評価
    濱 治慶; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -2-5-1"-"E-2-5-3" 2014年03月
  • E-1-2 オリフィス構造を有するマイクロ流体デバイスにおける細胞固定効率の改善
    石井 敬洋; 西崎 隼人; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -1-2-1"-"E-1-2-2" 2014年03月
  • E-1-3 遠心力を用いた高速DNAファイバ解析デバイスの染色体伸張特性
    北野 広大; 新田 祐幹; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 "E -1-3-1"-"E-1-3-3" 2014年03月
  • 神経細胞ネットワーク解析のための局所光刺激デバイスの開発
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2014 (CD-ROM) ROMBUNNO.E-2-4 2014年03月
  • Microscale Phloem Flow Sensor Fabricated Using MEMS Technology For Measuring Biological Information of Plant Branches
    矢野裕也; 越智誠; 寺尾京平; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄 NANOSciTech2014 & IC-NET2014 2014年03月 [査読有り]
  • 電位計測アレイを集積化した細胞組織内局所光刺激デバイスの開発
    上野秀貴; 駒井章治; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 小寺秀俊; 鈴木孝明 センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) 31st ROMBUNNO.21PM3-PS116 2014年
  • Yusaku Oka; Ryosuke Shinozaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 433 -436 2014年
  • 5PM1-C-1 回転傾斜露光法により作製した細胞固定デバイスの固定効率の評価(5PM1-C 細胞工学とマイクロ流体デバイス)
    西崎 隼人; 福田 泰佑; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2013 (5) 25 -26 2013年11月
  • J161022 集積化PDMS製マイクロ流体システムにおける位置ズレの低減([J161-02]マイクロナノメカトロニクス(2))
    玉井 秀隆; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161022 -1"-"J161022-4" 2013年09月
  • J161012 真空UVキュア法による保護膜選択比の改善とその応用([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    藤村 仁也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161012 -1"-"J161012-4" 2013年09月
  • J161021 角度センサを集積したポリマーMEMSミラーの駆動評価([J161-02]マイクロナノメカトロニクス(2))
    山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161021 -1"-"J161021-4" 2013年09月
  • J161015 遺伝子解析チップの微細構造による染色体伸張特性に関する評価([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    新田 祐幹; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161015 -1"-"J161015-4" 2013年09月
  • J161011 吸引駆動型ポリマーMEMSミラーの駆動特性に関する有限要素解析([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    鈴木 淳也; 三浦 卓也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 生津 資大; 森角 寿之; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2013 "J161011 -1"-"J161011-4" 2013年09月
  • Micro Sap Flow Sensor Using MEMS Technology for Application to Biological Information Measurement of Plants
    越智誠; 鈴木孝明; 高尾英邦; 下川房男; 小林剛; 片岡郁雄 Third International Conference on Plant Vascular Biology 2013年07月 [査読有り]
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Japanese Journal of Applied Physics 52 (6 PART 2) pp. 06GL18-06GL18-5 2013年06月 [査読有り]
  • E-1-1 感光性ナノコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロポンプの開発(マイクロナノメカトロニクス(1),口頭発表)
    植田 勇作; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 28 -30 2013年03月
  • E-1-2 ソフトリングラフィにおけるPDMSの転写精度評価(マイクロナノメカトロニクス(1),口頭発表)
    玉井 秀隆; 高尾 英邦; 大平 文和; 寺尾 京平; 下川 房男; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 31 -33 2013年03月
  • E-2-4 Polymer-MEMSミラーへのセンサ集積化に関する研究(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    山下 紘史; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2013 52 -54 2013年03月
  • Hirofumi Yamashita; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 69 -70 2013年
  • Junya Suzuki; Takuya Miura; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Takahiro Namazu; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 101 -102 2013年
  • 鈴木孝明; 寺尾京平; 鈴木博之; 新田祐幹; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 平丸大介; 小寺秀俊 電気学会論文誌（E） 133 (5) 3 -146 2013年 [査読有り]
  • 赤松幹夫; 寺尾京平; 高尾英邦; 下川房男; 大平文和; 鈴木孝明 電気学会論文誌（E） 133 (5) 7 -176 2013年 [査読有り]
  • Hidetaka Yamasaki; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 205 -208 2013年
  • A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device
    前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦; Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2012) 2012年10月 [査読有り]
  • J161045 単一マスク傾斜露光法により作製したメッシュ型細胞固定チップの開発
    西崎 隼人; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2012 "J161045 -1"-"J161045-4" 2012年09月
  • J161023 真空UVキュア法によるSi/レジスト保護膜選択比の改善
    藤村 仁也; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2012 "J161023 -1"-"J161023-4" 2012年09月
  • Optically-Driven Microstructures for Manipulating Single DNA Molecule under Fluorescence Microscop
    MASUDA Chihiro; TERAO Kyohei; OANA Hidehiro; WASHIZU Masao; SUZUKI Takaaki; TAKAO Hidekuni; SHIMOKAWA Fusao; OOHIRA Fumikazu Proceedings of 38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2012) P409-355 2012年09月 [査読有り]
  • M. Inoue; A. Okonogi; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Kotera; T. Suzuki MICRO & NANO LETTERS 7 (8) 725 -728 2012年08月 [査読有り]
  • M. Inoue; A. Okonogi; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Kotera; T. Suzuki Micro and Nano Letters 7 (8) 725 -728 2012年08月 [査読有り]
  • 感光性ナノコンポジットを用いたマイクロポンプ用磁気駆動膜の作製
    中原 佐; 細川 祐揮; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 宮川 勇人; 生津 資大; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2012 (8) 45 -48 2012年06月
  • 回転傾斜露光法の加工面積の評価と遺伝子解析チップへの応用
    新田 祐幹; 鈴木 博之; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan 2012 (8) 41 -44 2012年06月
  • A Magnetic-Driven Membrane Made of Photosensitive Nanocomposite without Alignment Process
    T. Nakahara; Y. Hosokawa; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Miyagawa; T. Namazu; H. Kotera; T. Suzuki Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [IEEE NEMS2012] W1B-4 2012年03月 [査読有り]
  • Improvement of Coating Uniformity for Thick Photoresist Using a Partial Spray Coat
    M. Akamatsu; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; T. Suzuki Technical digest of 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems [IEEE NEMS2012] W3P-33 2012年03月 [査読有り]
  • Development of a Universal Integrated Micro Cell Culture System
    Masatoshi Inoue; Atsuhito Okonogi; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki 6TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MOLECULAR MEDICINE AND ENGINEERING (IEEE-NANOMED 2012) 2012年
  • Fast whole blood testing for detecting biomarkers by size-exclusion SPR sensing
    Shin Ichi Hiramatsu; Kyohei Terao; Kazunori Shimizu; Nobumitsu Miyanishi; Takaaki Suzuki; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012 186 -188 2012年
  • Tasuku Nakahara; Yuuki Hosokawa; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takahiro Namazu; Hidetoshi Kotera; Takaaki Suzuki Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 1181 -1184 2012年
  • J. Suzuki; T. Nakahara; Y. Hosokawa; Y. Ueda; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Miyagawa; H. Kotera; T. Suzuki International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 204 -205 2012年
  • Large area 3D microfabrication technique by multidirectional photolithography for a chromosome extension chip
    Yuki Nitta; Hiroyuki Suzuki; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012 1822 -1824 2012年
  • DNA fiber preparation technique on a chip for clinical diagnosis
    Takaaki Suzuki; Kyohei Terao; Hiroyuki Suzuki; Yuki Nitta; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Daisuke Hiramaru; Hidetoshi Kotera Proceedings of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2012 272 -274 2012年
  • Masatoshi Inoue; Kyohei Terao; Hidekuni Takao; Fusao Shimokawa; Fumikazu Oohira; Takaaki Suzuki; Atsuhito Okonogi; Hidetoshi Kotera IEEE International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, NANOMED 70 -73 2012年
  • Masataka Arai; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Simokawa; Fumikazu Oohira; Hidekuni Takao Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 148 -151 2012年
  • R. Shinozaki; F. Oohira; K. Terao; T. Suzuki; F. Simokawa; H. Takao International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 107 -108 2012年
  • Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao Proceedings of IEEE Sensors 40 -43 2012年
  • A Venturi-type Micro Mist Generator fabricated by MEMS Technology and its Application to Local Surface Cooling of Target Objects
    荒井將崇; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 大平文和; 高尾英邦; Masataka Arai; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; F. Oohira; H. Takao 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2011) 2011年10月 [査読有り]
  • MP-48 磁性ナノ粒子含有レジストを用いたマイクロ駆動素子の流路内作製方法(ポスターセッション)
    細川 祐揮; 中原 佐; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2011 (3) 163 -164 2011年09月
  • J161014 マイクロ空間が細胞の増殖性に与える影響([J16101]マイクロナノメカト口ニクス(1))
    井上 雅俊; 小此木 孝仁; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 小寺 秀俊; 鈴木 孝明 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan 2011 "J161014 -1"-"J161014-3" 2011年09月
  • Fabrication of a Magnetically-Driven Microstructure Made of Magnetic Nanoparticles/SU-8 Composite
    Y. Hosokawa; T. Nakahara; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; T. Suzuki Proceedings of the 6th International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology [MMB2011] 74-75 2011年05月 [査読有り]
  • P-1-6 回転傾斜露光法を用いた三次元マイクロ鋳型の製作とエレクトロポレーションデバイスへの応用(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    福田 泰佑; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 171 -174 2011年03月
  • D-2-2 スプレー塗布による厚膜レジストの膜厚制御性に関する研究(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    赤松 幹夫; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 30 -33 2011年03月
  • P-1-8 単一細胞操作デバイスにおける流路幅の影響に関する研究(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    高崎 翔一; 寺尾 京平; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和; 鈴木 孝明 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 181 -183 2011年03月
  • P-1-4 インプリント技術による微細構造形成SPRチップの製作と評価(マイクロナノメカトロニクス,ポスター要旨講演)
    守分 仁成; 渡邉 英応; 清水 一範; 寺尾 京平; 鈴木 孝明; 高尾 英邦; 下川 房男; 大平 文和 IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集 2011 161 -164 2011年03月
  • Fusao Shimokawa Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering 77 (2) 162 -168 2011年02月
  • T. Mishima; K. Terao; H. Takao; F. Shimokawa; F. Oohira; T. Suzuki Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 221 -224 2011年
  • 高尾英邦; M. Sugiura; 石田誠; 寺尾京平; 鈴木孝明; 大平文和; 下川房男; Hidekuni Takao; M. Sugiura; Makoto Ishida; K. Terao; T. Suzuki; F. Oohira; F. Shimokaw The 24th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS2011) 1154 -1157 2011年
  • Fusao Shimokawa Japanese Journal of Applied Physics 49 (11) 116001 2010年11月 [査読有り]
  • Shingo Uchiyama; Makoto Sato; Mitsuo Usui; Tomomi Sakata; Fusao Shimokawa Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 819 -822 2010年
  • M. Mizukami; J. Yamaguchi; N. Nemoto; Y. Kawajiri; H. Hirata; S. Uchiyama; M. Makihara; T. Sakata; N. Shimoyama; H. Ishii; F. Shimokawa 2009 International Conference on Photonics in Switching, PS '09 2009年
  • Mitsuo Usui; Shingo Uchiyama; Etsu Hashimoto; Koichi Hadama; Yuzo Ishii; Nobuaki Matsuura; Tomomi Sakata; Nobuhiro Shimoyama; Yasuhiro Sato; Hiromu Ishii; Tohru Matsuura; Fusao Shimokawa; Yuji Uenishi 2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OPTMEMS 2009 158 -159 2009年
  • Tomomi Sakata; Mitsuo Usui; Shingo Uchiyama; Nobuhiro Shimoyama; Junichi Kodate; Hiromu Ishii; Tohru Matsuura; Fusao Shimokawa; Yasuhiro Sato Conference Proceedings - Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting-LEOS 579 -580 2009年
  • Small-footprint thermocapillary optical switch combined with a heater array on a CMOS IC chip
    Makoto Sato; Mitsuhiro Makfflara; Fusao Shimokawa; Shinsuke Matsui Conference on Optical Fiber Communication, Technical Digest Series 1 612 -614 2004年
  • Improvement of switching time in a thermocapillarity optical switch
    T. Sakata; H. Togo; M. Makihara; F. Shimokawa; K. Kaneko Conference on Optical Fiber Communication, Technical Digest Series 54 (3) 2001年
  • Tomomi Sakata; Mitsuhiro Makihara; Hiroyoshi Togo; Fusao Shimokawa; Kazumasa Kaneko Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 4534 55 -63 2001年
  • Fusao Shimokawa; Makoto Sato; Mitsuhiro Makihara; Shuichiro Inagaki; Yasuhide Nishida Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering 66 (8) 1173 -1176 2000年08月
  • Strictly non-blocking N×N thermo-capillarity optical matrix switch using silica-based waveguide
    Mitsuhiro Makihara; Fusao Shimokawa; Kazumasa Kaneko Conference on Optical Fiber Communication, Technical Digest Series 1 207 -209 2000年
  • Micromechanical intersecting waveguide optical switch based on thermo-capillarity
    Makoto Sato; Fusao Shimokawa; Shuichiro Inagaki; Yasuhide Nishida NTT R and D 48 (1) 9 -14 1999年
  • H. Togo; M. Sato; F. Shimokawa Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 418 -423 1999年
  • Micro-mechanical optical switch
    Fusao Shimokawa; Makoto Sato; Shinji Nagaoka NTT R and D 48 (9) 665 -673 1999年
  • Waveguide optical switch for 8:1 standby system of optical line terminals
    Makoto Sato; Fusao Shimokawa; Shuichiro Inagaki; Yasuhide Nishida Conference on Optical Fiber Communication, Technical Digest Series 1998-January 194 -195 1998年
  • Self-latching waveguide optical switch based on thermo-capillarity
    Makoto Sato; Mitsuhiro Makihara; Fusao Shimokawa; Yasuhide Nishida IEE Conference Publication (448 /2) 73 -76 1997年
  • 高密度プラズマエッチング装置による石英の高速加工
    下川 房男; 西田 安秀 電子情報通信学会総合大会講演論文集 1996 (1) 226 -226 1996年03月
  • 界面張力制御を用いた液体駆動型光導波路スイッチ
    牧原 光宏; 下川 房男; 花岡 頼子; 西田 安秀 電子情報通信学会総合大会講演論文集 1996 (1) 309 -309 1996年03月
  • Self-holding optical waveguide switch controlled by micromechanisms
    Mitsuhiro Makihara; Fusao Shimokawa; Yasuhide Nishida Proceedings - Electronic Components and Technology Conference 418 -422 1995年
  • Fabrication of fluorinated polyimide waveguides on copper-polyimide multilayer substrates for opto-electronic multichip modules
    Fusao Shimokawa; Shinji koike; Tohru Matsuura Proceedings - Electronic Components and Technology Conference 705 -710 1993年
  • Fusao Shimokawa Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering 59 (4) 555 -558 1993年
  • Fast and extremely selective polyimide etching with a magnetically controlled reactive ion etching system
    Fusao Shimokawa; Akinori Furuya; Shinsuke Matsui Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems 192 -197 1991年
  • FAST ATOM BOMBARDMENT SECONDARY NEUTRAL MASS SPECTROMETRY.
    Kazutoshi Nagai; Hiroki Kuwano; Fusao Shimokawa Report of Research Center of Ion Beam Technology, Hosei University. Supplement 151 -154 1986年

受賞

  • 2017年 IEEE Transducers 2017 Outstanding Paper Award Finalist
  • 2016年 IEEE SENSORS 2016 Best Student Paper Finalist
  • 2014年 第70回電気学術振興賞 論文賞
     JPN
  • 2013年 電気学会センサ・マイクロマシン部門 部門大会 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
     JPN
  • 2012年 Finalist of CM HO Best Paper Award in Micro/Nano Fluidics
  • 2012年 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 最優秀技術論文賞
     JPN
  • 2011年 優秀ポスター賞
     JPN

共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 理科室で構築するナノテクプラットフォーム
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2016年04月 -2019年03月 
    代表者 : 長岡 史郎; 堀邊 英夫; 下川 房男; 山本 雅史; 清水 共; JOHNSTON ROBERT; 鹿間 共一; 鹿間 共一
     
    半導体各種デバイスの設計製作評価を理科室のような環境で可能する“ナノテクプラットフォーム“の構築について検討した。大気環境下における熱処理により、リンとボロンを選択的かつ同時に行う方法, 熱酸化膜作製方法及び焼結による電極作製を提案し、制御性よく実現可能なことを実証した。さらにマスクアライメントなしでパタンの位置合わせを正確にできるリソグラフィ方法を考案し実現した。これらの成果をもとに教育効果の有効性を実際に検証した。物理科学分野における初等から先端科学技術教育をシームレスにつなげ、柔軟な発想力の研鑽に貢献できる教育環境構築としてのナノテクプラットフォームを実現できることを実証した。
  • メタマテリアルを含む1次元フォトニック結晶波長可変型超高速THzスイッチの開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2015年04月 -2018年03月 
    代表者 : 鶴町 徳昭; 下川 房男; 舟橋 正浩
     
    メタマテリアルと1DPCの融合による波長可変型超高速THzスイッチに関する研究遂行のために，以下のような要素技術に関する研究を行った．まず，半導体基板上にカットワイヤや電気的分割リング共振器のようなTHz帯メタマテリアルを作製し，光学特性を評価した．次に二色レーザー誘起プラズマ法により空気からの広帯域高強度THz波発生を行った．そしてワイヤーグリッドを利用したファブリーペロー微小共振器の共振特性を解析し，その中にメタマテリアルを導入した場合にモード分裂が起こることを見出した．これによりより簡便な波長可変型THzスイッチが可能となる．
  • 植物内の水分・栄養物質動態をin-situモニタリング可能な超小型維管束センサ
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2015年04月 -2018年03月 
    代表者 : 下川 房男; 高尾 英邦; 小林 剛
     
    本研究では，MEMS技術をベ－スに，水分・栄養物質動態をin-situで観察可能な超小型維管束（道管流／師管流）センサを新規に提案し，擬似植物実験系やモデル植物を用いて，その基本動作検証に成功した．道管流センサでは，（１）微小流速測定，（２）高速応答性，（３）非破壊測定，（４）測定再現性等のセンサ性能に関する知見を取得し，提案したセンサの有用性を実証した．師管流センサでは，流れの向き（師管特有の転流現象に対応）や流速測定の実現性を確認するとともに，維管束（道管／師管）の位置判別機能によって師管位置を特定し，その情報をもとに，高純度な師管液の採取が可能なことを明らかにした．
  • 異種材料を組み合わせた新構成2軸MEMSミラーの開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2014年04月 -2017年03月 
    代表者 : 鈴木 孝明; 大平 文和; 下川 房男; 生津 資大
     
    様々な分野への応用が期待されるラスタスキャン方式MEMSミラーの大偏向角駆動、小型化、低消費電力、高耐衝撃性を目指し、シリコン／ポリマーの異種材料をヒンジに組み合わせた新しいミラー構成を提案、検討した。具体的には、①異種材料を組み合わせたハイブリット構成の新構造ローレンツ駆動型MEMSミラー、②磁気誘導起電力型のセンサコイルを集積化したMEMSミラーについて、試作・評価した。
  • 異方性メタマテリアルによる高強度テラヘルツ光源の開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2012年04月 -2015年03月 
    代表者 : 鶴町 徳昭; 下川 房男
     
    (1)THz帯で負の誘電率を示すメタマテリアルの作製と評価を行った．具体的にはワイヤーグリッド構造をリソグラフィーにより作製し，THz時間領域分光により透過の偏光特性を調べた．THz域での偏光子としての特性が確認できた．(2)LEMKE色素を化学合成し，ポリマーに単分散した後，コロナポーリング法によりポールドポリマーとした．フェムト秒レーザー励起によるTHz波発生を確認した．(3)THz域のものはできなかったが可視域の双曲面分散を示すメタマテリアルを作製し，自然放出レートの増強効果(広帯域パーセル効果)を確認した．
  • グラニエ法をべ－スにした植物生体情報計測用マイクロ水分動態センサに関する研究
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2012年04月 -2015年03月 
    代表者 : 下川 房男; 高尾 英邦; 小林 剛
     
    本研究では，グラニエセンサに着目し,それをベ－スに超小型化(従来比:1/10)・1チップ上への機能集積化(5mm角のSiチップ上に,マイクロプロ－ブ，温度センサ，薄膜ヒ－タ等の主要構成要素を一体形成)した超小型の植物水分動態センサを提案するとともに,MEMS技術を駆使して,センサのプロトタイプの製作に成功した.また,製作したセンサを用いて,微少流量（流速:０～１５０μm/s）の測定が可能なことを明らかにするとともに,実際の植物体としてレタスを用いて,流速の一日の変化を調べ、植物で一般的に観測される蒸散量の日変化の傾向と良く一致する結果が得られる等，センサの実用性を示唆する学術デ－タを取得した．
  • シリコン結晶異方性プラズマエッチング技術の開発
    日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2011年 -2012年 
    代表者 : 鈴木 孝明; 大平 文和; 下川 房男; 高尾 英邦
     
    本論文では、結晶異方性プラズマエッチングを用いた複雑3次元シリコン構造の提案として、カンチレバーと微細針を作製した。提案する方法は、従来法に比べて少ない工数・装置数で簡便に製作でき、カンチレバー製作においては、従来法とほぼ同一の歩留りで、製作時間を5分の1に短縮でき、提案する加工法の有用性を示した。また、単一のドライエッチング装置での複雑3次元シリコン構造製作の可能性を示した。今後、単一装置での新たな3次元シリコン構造の提案を行うと共に、結晶異方性プラズマエッチングのメカニズム解明を進め、より制御性の高い加工技術へと展開をする。
  • ナノ/マイクロデバイスを用いたセンシング技術に関する研究
    科学研究費補助金
    研究期間 : 2010年

委員歴

  • 2017年02月 - 2018年01月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員
  • 2016年02月 - 2017年01月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員
  • 2015年02月 - 2016年01月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第32回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員
  • 2014年02月 - 2015年01月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第31回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員
  • 2012年11月 - 2014年10月   電気学会, 嗅覚インタ－フェイス調査専門委員会, 委員会委員
  • 2013年02月 - 2014年01月   電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第30回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員
  • 2012年04月   - 電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 第29回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 論文委員会, 論文査読委員,座長

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